CN206887225U - 一种用于离子镀膜机的高真空机组 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜加工设备技术领域，具体提供了一种用于离子镀膜机的高真空机组，包括：真空室；通过真空管道与真空室连接的冷阱；安装在真空管道上的气动挡板阀；安装在冷阱下方且与冷阱通过管道连通的扩散泵；通过连接管道与扩散泵连接的前级泵；安装在真空室上的电离规；安装在扩散泵与前级泵连接管道上的热偶规。本用于离子镀膜机的高真空机组通过前级泵和扩散泵的组合抽吸，可以提高对离子镀膜机内真空室抽真空的速率，而且通过设置冷阱，不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室内高真空状态的稳定性。

Description

一种用于离子镀膜机的高真空机组

技术领域

本实用新型涉及镀膜加工设备技术领域，具体涉及一种用于离子镀膜机的高真空机组。

背景技术

真空镀膜机的真空镀膜室内在高真空环境时所残留气体主要是水蒸气或者其它高沸点蒸汽，若采用油扩散泵作为主泵，则残留气体中还含有油蒸汽，抽气系统抽除这些残留气体的能力低、需时间长，而且镀膜过程中，这些残留气体还会污染工件，从而使产品的产量和质量受影响。

现有的用于真空镀膜机的真空抽气系统一般都把制冷盘管安装在真空镀膜室的中央或侧壁上，运作过程是这样：在抽气阶段当真空镀膜室内气压达到指定气压时，即启动制冷装置， 3～5分钟就制冷到-120℃或更低温，低温盘管快速吸附水汽、油蒸汽；镀膜完成后，在开炉门之前，必须让制冷盘管切换至热气除霜，约2分钟则迅速回温恢复至常温。

上述抽气系统的不足之处在于：1.在镀前抽气阶段也是对工件加热阶段，一般由真空镀膜室内的发热管辐射热实施，而附近制冷盘管却强制深冷，必然要额外加大制冷功率，浪费能源； 2.完成镀膜后己被制冷盘管吸附了水汽、油汽、杂气，又必须回温解吸，再次释放回真空镀膜室，又被真空镀膜室壁、夹件和工件吸附而受污染，经多次镀膜作业真空镀膜室被反复解吸的杂气污染，污染物会不断积累，真空镀膜室的洁净度会不断下降；3、抽气能力有限，抽真空时间长，真空系统不稳定。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于离子镀膜机的高真空机组，本高真空机组可以使得镀膜机内的真空室快速达到高真空状态，并且可以提高真空室内高真空状态的稳定性。

为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种用于离子镀膜机的高真空机组，包括：真空室；通过真空管道与真空室连接的冷阱；安装在真空管道上的气动挡板阀；安装在冷阱下方且与冷阱通过管道连通的扩散泵；通过连接管道与扩散泵连接的前级泵；安装在真空室上的电离规；安装在扩散泵与前级泵连接管道上的热偶规。

在上述技术方案中，选用扩散泵作为抽真空的主泵，并且在真空管道上安装气动的高真空挡板阀，可以实现加速镀膜机内真空室内的抽真空速率，并且在高真空的状态下通过气动的高真空挡板阀可以有效防止出现管道负压反抽的情况出现。为了防止返油的情况出现，特在扩散泵与气动挡板阀之间安装冷阱，冷阱不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室内高真空状态的稳定性。为了提高扩散泵的抽吸能力，特在扩散泵前端安装前级泵，前级泵直接提升了扩散泵的抽气速率，从而减少了抽气时间，提高了抽真空系统的工作效率。通过电离规和热偶规可以在线检测真空系统内的真空状态，以便更好的反馈给操作人员。

优选的，所述冷阱包括：冷阱壳体；设置于冷阱壳体内的低温挡板；设置于所述冷阱壳体内、以使冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化的第一加热件；设置于所述冷阱壳体内的底部、以使从所述低温挡板上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件；与所述冷阱壳体底部连通、以将冷凝在所述低温挡板表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路；设置于所述冷阱壳体底部与所述排液管路连通位置的过滤器；以及设置于所述排液管路上开关阀。冷阱壳体与真空管道连通，因真空管道和冷阱壳体存在较大的温差，使得真空管道内的蒸汽会朝向冷阱壳体中低温挡板流动，当蒸汽与低温挡板接触后会冷凝成固体；当上述冷阱使用一段时间后，冷阱吸附蒸汽的能力达到饱和，此时，需要对冷阱进行再生，具体通过第一加热件对冷凝在低温挡板的固体进行加热，以使所述固体融化成液体流到冷阱壳体的底部，但当固体的体积较大时，小部分融化后脱离了加热板所辐射的加热区，掉到冷阱壳体的底部，即未完全融化的固体从低温挡板上脱落到冷阱壳体的底部，此时，通过第二加热件对对未完全融化的固体进行加热，使其完全融化或融化成可通过过滤器的微小颗粒，以便于从排液管路中排出。

优选的，所述冷阱壳体的底部设置有容纳从所述低温挡板上掉落的液体和固体的容纳槽，所述第二加热件设置于所述容纳槽内，所述排液管路与所述容纳槽连通。

优选的，所述第一加热件的正对面还设置有热反射板。热反射板的反射面朝向真空管道，当冷阱正常工作时真空管道发射到热反射板上的热量，会被热反射板反射回真空管道，以免因这些热量而使冷凝在低温挡板冰块融化，从而影响真空管道的真空度。

相对于现有技术，本实用新型提供的一种用于离子镀膜机的高真空机组的有益效果在于：本用于离子镀膜机的高真空机组通过前级泵和扩散泵的组合抽吸，可以提高对离子镀膜机内真空室抽真空的速率，而且通过设置冷阱，不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室内高真空状态的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中的冷阱的结构示意图。

图中：1、真空室；2、电离规；3、真空管道；4、气动挡板阀；5、冷阱；50、冰块；51、冷阱壳体；52、低温挡板；53、第一加热件；54、热反射板；55、容纳槽；56、第二加热件； 57、排液管路；58、过滤器；59、开关阀；6、扩散泵；7、前级泵；8、连接管道；9、热偶规。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型的保护范围。

实施例：一种用于离子镀膜机的高真空机组。

参照图1和图2所示，一种用于离子镀膜机的高真空机组，包括：真空室1；通过真空管道3与真空室1连接的冷阱5；安装在真空管道3上的气动挡板阀4；安装在冷阱5下方且与冷阱5通过管道连通的扩散泵6；通过连接管道8与扩散泵6连接的前级泵7；安装在真空室 1上的电离规2；安装在扩散泵6与前级泵7连接管道8上的热偶规9。

本实用新型的工作原理为：选用扩散泵6作为抽真空的主泵，并且在真空管道3上安装高真空气动挡板阀4，可以实现加速镀膜机内真空室1内的抽真空速率，并且在高真空的状态下通过高真空气动挡板阀4可以有效防止管道负压反抽的情况出现。为了防止返油的情况出现，特在扩散泵6与气动挡板阀4之间安装冷阱5，冷阱5不但可以有效减少油蒸汽返流，还可以吸附部分的可凝性蒸汽，可以提高真空室1内高真空状态的稳定性。为了提高扩散泵6的抽吸能力，特在扩散泵6前端安装前级泵7，前级泵7直接提升了扩散泵6的抽气速率，从而减少了抽气时间，提高了抽真空系统的工作效率。通过电离规2和热偶规9可以在线检测真空系统内的真空状态，以便更好的反馈给操作人员。

参照图2所示，所述冷阱5包括：冷阱壳体51；设置于冷阱壳体51内的低温挡板52；设置于所述冷阱壳体51内、以使冷凝在所述低温挡板52表面上的固体融化的第一加热件53；设置于所述冷阱壳体51内的底部、以使从所述低温挡板52上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件56；与所述冷阱壳体51底部连通、以将冷凝在所述低温挡板52表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路57；设置于所述冷阱壳体51底部与所述排液管路57 连通位置的过滤器58；以及设置于所述排液管路上开关阀59。冷阱壳体51与真空管道3连通，因真空管道3和冷阱壳体51存在较大的温差，使得真空管道3内的蒸汽会朝向冷阱壳体51 中低温挡板52流动，当蒸汽与低温挡板52接触后会冷凝成固体；当上述冷阱5使用一段时间后，冷阱5吸附蒸汽的能力达到饱和，此时，需要对冷阱5进行再生，具体通过第一加热件 53对冷凝在低温挡板52的固体进行加热，以使所述固体融化成液体流到冷阱壳体51的底部，但当固体的体积较大时，小部分融化后脱离了加热板所辐射的加热区，掉到冷阱壳体51的底部，即未完全融化的固体从低温挡板52上脱落到冷阱壳体51的底部，此时，通过第二加热件 56对未完全融化的固体进行加热，使其完全融化或融化成可通过过滤器58的微小颗粒，以便于从排液管路57中排出。

参照图2所示，所述冷阱壳体51的底部设置有容纳从所述低温挡板52上掉落的液体和固体的容纳槽55，所述第二加热件56设置于所述容纳槽55内，所述排液管路57与所述容纳槽55连通。凝结形成的冰块50融化形成的水及未完全融化的冰块会聚集在容纳槽55内，通过第二加热件56对其加热，使冰水混合物融化成水，如此，可以使未完全融化的冰块集中以便于加热融化，此外，还可以防止聚集在冷阱壳体51内的底部的水流入到真空管道3内。

参照图2所示，所述第一加热件53的正对面还设置有热反射板54。热反射板54的反射面朝向真空管道3，当冷阱5正常工作时真空管道3发射到热反射板54上的热量，会被热反射板54反射回真空管道3，以免因这些热量而使冷凝在低温挡板52上冰块50融化，从而影响真空管道3的真空度。

以上所述为本实用新型的较佳实施例而已，但本实用新型不应局限于该实施例和附图所公开的内容，所以凡是不脱离本实用新型所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本实用新型保护的范围。

Claims (4)

1.一种用于离子镀膜机的高真空机组，其特征在于包括：

真空室(1)；

通过真空管道(3)与真空室(1)连接的冷阱(5)；

安装在真空管道(3)上的气动挡板阀(4)；

安装在冷阱(5)下方且与冷阱(5)通过管道连通的扩散泵(6)；

通过连接管道(8)与扩散泵(6)连接的前级泵(7)；

安装在真空室(1)上的电离规(2)；

安装在扩散泵(6)与前级泵(7)连接管道(8)上的热偶规(9)。

2.如权利要求1所述的用于离子镀膜机的高真空机组，其特征在于所述冷阱(5)包括：

冷阱壳体(51)；

设置于冷阱壳体(51)内的低温挡板(52)；

设置于所述冷阱壳体(51)内、以使冷凝在所述低温挡板(52)表面上的固体融化的第一加热件(53)；

设置于所述冷阱壳体(51)内的底部、以使从所述低温挡板(52)上掉落的未完全融化的固体进一步融化的第二加热件(56)；

与所述冷阱壳体(51)底部连通、以将冷凝在所述低温挡板(52)表面上的固体融化所形成的液体排出的排液管路(57)；

设置于所述冷阱壳体(51)底部与所述排液管路(57)连通位置的过滤器(58)；

以及设置于所述排液管路上开关阀(59)。

3.如权利要求2所述的用于离子镀膜机的高真空机组，其特征在于：所述冷阱壳体(51)的底部设置有容纳从所述低温挡板(52)上掉落的液体和固体的容纳槽(55)，所述第二加热件(56)设置于所述容纳槽(55)内，所述排液管路(57)与所述容纳槽(55)连通。

4.如权利要求2所述的用于离子镀膜机的高真空机组，其特征在于：所述第一加热件(53)的正对面还设置有热反射板(54)。