CN206874452U - 一种低温盘管捕集器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种低温盘管捕集器，真空室和若干盘管，所述若干盘管设置在所述真空室内，且相间平行设置，所述若干盘管的一端通过第一气路转接头与进气管连接，所述盘管的另一端通过第二气路转接头与出气管连接，所述进气管与所述出气管平行设置，所述进气管与出气管穿过所述真空室的炉壁与超低温设备连接，所述若干盘管与所述进气管和出气管均形成循环管路，结构简单，且能够提高低温捕集器的抽真空的能力。

Description

一种低温盘管捕集器

技术领域

本实用新型涉及低温真空技术领域，尤其涉及一种低温盘管捕集器。

背景技术

在应用真空环境时，通常需要能够快速达到所需真空度，尤其是在真空镀膜设备真空腔室经常开启的场合，由于大气环境中存在水蒸气，而水蒸气是难以通过机械式真空泵抽除的，利用低温捕集器在高真空室安装一组盘管，在 -120℃以下盘管表面快速吸附真空室内的水分子，从而达到高真空的效果，目前现有的低温盘管都是采用单管路循环低温制冷剂，由于单管的截面较大，所产生的有效面积有限。又由于低温设备输出-120℃低温的冷源有限，低温盘管和盘管内的制冷剂从常温降到-120℃以下需要较多的冷量，从而需要损耗较多的冷量，增加成本，降低了低温捕集器的抽空能力。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种低温盘管捕集器，结构简单，且能够提高低温捕集器的抽真空的能力。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种低温盘管捕集器，包括真空室和若干盘管，所述若干盘管设置在所述真空室内，且相间平行设置，所述若干盘管的一端通过第一气路转接头与进气管连接，所述若干盘管的另一端通过第二气路转接头与出气管连接，所述进气管与所述出气管平行设置，所述进气管与出气管穿过所述真空室的炉壁与超低温设备连接，所述若干盘管与所述进气管和出气管均形成循环管路。

进一步地，所述若干盘管均由长直管、短直管、圆弧管相间连接，且所述圆弧管和短直管均设置在所述若干盘管的弯曲处。

进一步地，由于真空室的炉壁很薄，为了防止热传导过快而损耗更多的冷源，在所述进气管与出气管上套设冷桥法兰，所述冷桥法兰穿过所述炉壁。

进一步地，为了防止真空室内进入空气而破坏真空室的真空度，在所述真空室的炉壁内侧设置密封圈，所述密封圈套设在所述冷桥法兰上，且与所述炉壁贴合，保证真空室的真空度。

进一步地，所述炉壁的外侧设有垫片，且套设在所述冷桥法兰上，所述冷桥法兰通过锁紧螺帽与垫片抵接，对冷桥法兰进行固定。

进一步地，所述若干盘管均采用铜管，铜管能够适应极冷和极热的温度环境，能够使用-196℃到250℃的温度范围，所述低温盘管捕集器的超低温达到 -100℃到-150℃，使用铜管是最优选择。

本实用新型提供的一种低温盘管捕集器，将现有的单路低温捕集器盘管设计成管径小一号的多路低温捕集器盘管，同等通径同等管长，增加了低温表面积，相对于单管盘管而言，产生低温的有效面积增大，从而增加了工作效率，抽真空的能力显著提高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的A部的局部放大图；

图3为图1的A部的主视图。

图中：

1-真空室；21-第一盘管；22-第二盘管；31-第一气路转接头；32-第二气路转接头；4-进气管；5-出气管；6-炉壁；71-第一长直管；72-第二长直管；81-第一短直管；82-第二短直管；91-第一圆弧管；92-第二圆弧管；10-密封圈；11-垫片； 12-锁紧螺帽；13-冷桥法兰。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参见附图1、图2和图3所示，本实施例中的一种低温盘管捕集器，包括真空室1、第一盘管21和第二盘管22，第一盘管21和第二盘管22设置在真空室 1内，且平行设置，第一盘管21和第二盘管22的一端均通过第一气路转接头31 与进气管4连接，第一盘管21和第二盘管22的另一端均通过第二气路转接头 32与出气管5连接，进气管4与出气管5平行设置，进气管4与出气管5穿过真空室1的炉壁6与超低温设备连接，第一盘管21与进气管4和出气管5形成第一循环管路，第二盘管22与进气管4和出气管5形成第二循环管路，第一盘管21由若干第一长直管71、若干第一短直管81和若干第一圆弧管91相间连接而成，若干第一长直管71平行设置，若干第一短直管81和若干第一圆弧管91 均设置在第一盘管21的弯曲处，第二盘管22由若干第二长直管72、若干第二短直管82和若干第二圆弧管92相间连接，且若干长直管72相互平行设置，圆弧管92设置在第二盘管22的弯曲处。

由于真空室的炉壁很薄，为了防止热传导过快而损耗更多的冷源，在进气管4与出气管5上套设冷桥法兰13，冷桥法兰13穿过炉壁6。

为了防止真空室内进入空气而破坏真空室的真空度，在真空室的炉壁6内侧设置密封圈10，密封圈10套设在冷桥法兰13上，且与炉壁6贴合，保证真空室的真空度。

炉壁6的外侧设有垫片11，且套设在冷桥法兰13上，冷桥法兰13通过锁紧螺帽12与垫片11抵接，对冷桥法兰13进行固定。

第一盘管21和第二盘管22均采用铜管，铜管能够适应极冷和极热的温度环境，能够使用-196℃到250℃的温度范围，低温盘管捕集器的超低温达到-100℃到-150℃，使用铜管是最优选择。

将现有的单管路设计成管径小一号的双路低温低温捕集器盘管，如：从Φ16mm管更改成Φ12mm×2管，那么外径的变化：16mm×3.14＝50.24mm，变成 12mm×3.14×2＝75.36mm，外径增加75.36mm/50.24mm＝1.5倍，也就是该双管并行低温盘管相对于单管而言，在同等的通流截面积、同等的冷量的条件下，双管路并行低温盘管的低温表面是单管盘管的1.5倍。

现有的低温捕集器所配备的冷源是超低温制冷机(称为深冷机)，深冷机单位时间内所提供的冷量是有限的，另外高真空设备对低温捕集器的工作要求是从常温到-100℃以下所需时间越短越好，而低温盘管从常温到-100℃时所需冷量最大，所以有限的深冷机制冷量会延长低温盘管的降温时间(低温盘管温度降到-100℃以下后，属于低温阶段，所需制冷量不大)。双路并行低温捕集器与单路低温捕集器相比在同等的低温表面，所需的冷量只有单路低温捕集器的 65％，而所需同等冷量的单、双路低温盘管，双路低温盘管所提供的低温表面是单路低温盘管的1.5倍。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种低温盘管捕集器，其特征在于：包括真空室(1)和若干盘管，所述若干盘管设置在所述真空室(1)内，且相间平行设置，所述若干盘管的一端通过第一气路转接头(31)与进气管(4)连接，所述若干盘管的另一端通过第二气路转接头(32)与出气管(5)连接，所述进气管(4)与所述出气管(5)平行设置，所述进气管(4)与出气管(5)穿过所述真空室(1)的炉壁(6)与超低温设备连接，所述若干盘管与所述进气管(4)和出气管(5)之间均形成循环管路。

2.根据权利要求1所述的一种低温盘管捕集器，其特征在于：所述若干盘管均由长直管、短直管、圆弧管相间连接，且所述圆弧管和短直管均设置在所述若干盘管的弯曲处。

3.根据权利要求1所述的一种低温盘管捕集器，其特征在于：所述进气管(4)与出气管(5)上套设冷桥法兰(13)，所述冷桥法兰(13)穿过所述炉壁(6)。

4.根据权利要求3所述的一种低温盘管捕集器，其特征在于：所述炉壁(6)的内侧设置密封圈(10)，所述密封圈(10)套设在所述冷桥法兰(13)上，且与所述炉壁(6)贴合。

5.根据权利要求4所述的一种低温盘管捕集器，其特征在于：所述炉壁(6)的外侧设有垫片(11)，且套设在所述冷桥法兰(13)上，所述冷桥法兰(13)通过锁紧螺帽(12)与所述垫片(11)抵接。

6.根据权利要求1所述的一种低温盘管捕集器，其特征在于：所述若干盘管均采用铜管。