CN206814884U - 一种多晶硅铸锭炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括炉体；炉体包括上炉体和下炉体；下炉体外绕有螺旋盘管式加热电极；螺旋盘管式加热电极外套有筒体；炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料；下炉体内还设有2个以上的升降装置，升降装置上设有支撑板，支撑板上设有坩埚；真空装置设于筒体。在本实用新型中下炉体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果，使得下炉体内温度均匀，节省下炉体内的空间，提高空间利用率；升降装置的设置便于坩埚上升、下降，使得在下炉体内完成长晶、退火阶段后，进入上炉体，再进行冷却，从而得到多晶硅铸锭。

Description

一种多晶硅铸锭炉

技术领域

本实用新型涉及多晶硅领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉。

背景技术

目前，多晶硅铸锭炉主要用于以铸锭方式生产硅半导体材料，传统的多晶硅铸锭炉由炉体和炉盖组成，通常炉盖位于炉体上端，加热装置分布在炉膛的坩埚周围，存在温度分布不均，装卸料不方便的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉，该多晶硅铸锭炉解决了炉体内温度分布不均，装卸料不方便的技术问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种多晶硅铸锭炉，包括：

炉体；

所述炉体包括上炉体和下炉体；

所述下炉体外绕有螺旋盘管式加热电极；所述螺旋盘管式加热电极外套有筒体；所述下炉体与所述螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料；

所述下炉体内还设有2个以上的所述升降装置，所述升降装置上设有所述支撑板，所述支撑板上设有若干个坩埚；

所述真空装置设于所述筒体上。

优选地，所述坩埚包括坩埚体，所述坩埚体的内部设置有容纳槽；所述容纳槽的下方、所述坩埚体的底部设置有冷却腔，所述冷却腔内设置有冷却流道。

优选地，所述冷却流道为费马螺线流道。

优选地，所述保温材料为耐火保温纤维。

优选地，所述螺旋盘管式加热电极为石墨电极。

优选地，所述下炉体内设置有5～50个升降装置。

优选地，所述上炉体上设置有顶盖，所述顶盖上设置有保护气进口。

优选地，所述上炉体和所述下炉体之间连接有密封盖。

优选地，还包括控制机构，所述控制机构与所述密封盖连接。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉，下炉体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果，使得下炉体内温度均匀，节省下炉体内的空间，提高空间利用率；升降装置的设置便于坩埚上升、下降，使得在下炉体内完成长晶、退火阶段后，进入上炉体，再进行冷却，从而得到多晶硅铸锭。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型多晶硅铸锭炉的结构示意图；

图2为图1中坩埚的结构示意图；

图3为图1中冷却流道的结构示意图。

图中：

1、上炉体；2、下炉体；3、升降装置；4、支撑板；5、坩埚；6、螺旋盘管式加热电极；7、密封盖；8、保温材料；9、顶盖；10、筒体；11、坩埚体；12、容纳槽；13、冷却腔；14、冷却流道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供的一种多晶硅铸锭炉，包括：

炉体；

炉体包括上炉体1和下炉体2；

下炉体2外绕有螺旋盘管式加热电极6；螺旋盘管式加热电极6外套有筒体10；下炉体2与螺旋盘管式加热电极6之间填充有保温材料8；

下炉体2内还设有2个以上的升降装置3，升降装置3上设有支撑板4，支撑板4上设有若干个坩埚5；

真空装置设于筒体10上。

上述技术方案中，下炉体2及其外围的螺旋盘管式加热电极6能够提高加热效果，使得下炉体2内温度均匀，节省下炉体2内的空间，提高空间利用率；升降装置3的设置便于坩埚5上升、下降，使得在下炉体2内完成长晶、退火阶段后，进入上炉体1，再进行冷却，从而得到多晶硅铸锭。

炉体包括上炉体11和下炉体22，上炉体11用于对多晶硅铸锭进行冷却；在本实施方式中，为了实现退火阶段，坩埚5包括坩埚体11，坩埚体11的内部设置有容纳槽12；容纳槽12的下方、坩埚体11的底部设置有冷却腔13，冷却腔13内设置有冷却流道14，具体参见附图2；当坩埚5升到上炉体1，向冷却流道14进口通入冷却介质，从出口流出。

在本实施方式中，参见附图3，冷却流道14为费马螺线流道，能够提高优化多晶硅的品质。

保温材料8用来减少炉内热量流失，从而保证提纯炉的保温性能。在本实施方式中，保温材料8为耐火保温纤维，该材料能够保证铸锭炉的保温性能。

在本实施方式中，螺旋盘管式加热电极6为石墨电极。

下炉体2内还设有2个以上升降装置3，升降装置3上设有支撑板4，支撑板4上设有坩埚5，坩埚5用于盛放金属硅；支撑板4用于支撑坩埚5及其金属硅，保证坩埚5的稳定性；升降装置3便于坩埚5上升、下降，使得金属硅在下炉体2内完成长晶、退火后，进入上炉体1，再进行冷却，从而得到多晶硅铸锭。另外升降装置3的设置方便放入或取出坩埚5，具体实施时，所述下炉体2内设置有5～50个升降装置3。

在本实施方式中，上炉体1上设置有顶盖9，顶盖9上设置有保护气进口，利于在保护气体的进入，在具体制备多晶硅铸锭过程中，长晶、退火及冷却阶段，保证保护气进口关闭，最大限度的减少保护气及热量的损失。

在本实施方式中，上炉体1和下炉体2之间连接有密封盖7，本实用新型中密封盖7的设置将炉体分为上炉体1和下炉体2，并且在制备多晶硅铸锭的过程中，避免了上炉体1、下炉体2的热量交换，从而导致上炉体1、下炉体2内温度分布不均，优选密封盖7与控制机构连接，便于密封盖7的自动开启。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：

炉体；

所述炉体包括上炉体(1)和下炉体(2)；

所述下炉体(2)外绕有螺旋盘管式加热电极(6)；所述螺旋盘管式加热电极(6)外套有筒体(10)；所述下炉体(2)与所述螺旋盘管式加热电极(6)之间填充有保温材料(8)；

所述下炉体(2)内还设有2个以上的所述升降装置(3)，所述升降装置(3)上设有所述支撑板(4)，所述支撑板(4)上设有若干个坩埚(5)；

所述真空装置设于所述筒体(10)上。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述坩埚(5)包括坩埚体(11)，所述坩埚体(11)的内部设置有容纳槽(12)；所述容纳槽(12)的下方、所述坩埚体(11)的底部设置有冷却腔(13)，所述冷却腔(13)内设置有冷却流道(14)。

3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述冷却流道(14)为费马螺线流道。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述保温材料(8)为耐火保温纤维。

5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述螺旋盘管式加热电极(6)为石墨电极。

6.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述下炉体(2)内设置有5～50个升降装置(3)。

7.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述上炉体(1)上设置有顶盖(9)，所述顶盖(9)上设置有保护气进口。

8.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，所述上炉体(1)和所述下炉体(2)之间连接有密封盖(7)。

9.如权利要求8所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于，还包括控制机构，所述控制机构与所述密封盖(7)连接。