CN206806311U - 集成电路缓冲吸嘴 - Google Patents

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CN206806311U CN201720376703.3U CN201720376703U CN206806311U CN 206806311 U CN206806311 U CN 206806311U CN 201720376703 U CN201720376703 U CN 201720376703U CN 206806311 U CN206806311 U CN 206806311U
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翁水才
谢周阳
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Abstract

本实用新型涉及集成电路制造领域,目的是提供一种集成电路缓冲吸嘴。一种集成电路缓冲吸嘴,包括:设有中孔的吸杆,设于吸杆下端的吸嘴,下端设有内挡圈的外套管,设于外套管内侧围上部且的上导向套,设于外套管内侧围下部的下导向套,设有进气孔且与外套管上端连接的进气块,压簧;吸杆穿设于上导向套和下导向套中;吸杆中部设有位于上导向套和下导向套之间的凸环;上导向套侧围设有防转竖槽;吸杆侧围设有一端伸入防转竖槽中的防转块;压簧的一端压住上导向套下端,压簧的另一端压住凸环上端。该集成电路缓冲吸嘴用于集成电路转道吸取集成电路时,由于压簧阻力的缓冲作用,冲击力较小,不会造成集成电路损伤。

Description

集成电路缓冲吸嘴
技术领域
本实用新型涉及集成电路制造领域,尤其是一种集成电路缓冲吸嘴。
背景技术
集成电路制造过程中常需要用带有吸嘴的真空吸附装置进行转道;中国专利公告号为CN200720070096.4的实用新型提供了一种真空吸附装置,包括直接吸附被吸附件的吸嘴、与该吸嘴相连接且用于提供真空吸附力的驱动模块以及设置在吸嘴与驱动模块间的空气过滤器。传统的吸嘴用于集成电路转道吸取集成电路时存在冲击力较大,易造成集成电路损伤的不足;因此,设计一种吸取集成电路时冲击力较小,不会造成集成电路损伤的集成电路缓冲吸嘴,成为亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服目前的吸嘴用于集成电路转道吸取集成电路时存在冲击力较大,易造成集成电路损伤的不足,提供一种吸取集成电路时冲击力较小,不会造成集成电路损伤的集成电路缓冲吸嘴。
本实用新型的具体技术方案是:
一种集成电路缓冲吸嘴,包括:设有中孔的吸杆,设于吸杆下端且与中孔连通的吸嘴;所述的集成电路缓冲吸嘴还包括:下端设有内挡圈的外套管,设于外套管内侧围上部且与外套管连接的上导向套,设于外套管内侧围下部的下导向套,设有进气孔且与外套管上端连接的进气块,压簧;吸杆穿设于上导向套和下导向套中;吸杆中部设有位于上导向套和下导向套之间的凸环;上导向套侧围设有防转竖槽;吸杆侧围设有一端伸入防转竖槽中的防转块;压簧的一端压住上导向套下端,压簧的另一端压住凸环上端。该集成电路缓冲吸嘴用于集成电路转道吸取集成电路时,由于压簧阻力的缓冲作用,冲击力较小,不会造成集成电路损伤;上导向套侧围设有的防转竖槽与吸杆侧围设有的防转块配合能防止吸杆转动,利于集成电路转道完成正确入位。
作为优选,所述的集成电路缓冲吸嘴还包括:锁紧螺钉;所述的外套管上端设有调整螺纹段,上导向套设有与调整螺纹段螺纹连接的外螺纹;锁紧螺钉的螺杆与外套管侧围螺纹连接且锁紧螺钉的螺杆的前端入防转竖槽上端中。外套管上端设有调整螺纹段,上导向套设有与调整螺纹段螺纹连接的外螺纹,利于缓冲力调整。
作为优选,所述的进气块下端与外套管上端之间设有密封圈。提高密封性。
作为优选,所述的集成电路缓冲吸嘴还包括:与进气孔连通且与进气块上端连接的进气接头。方便与政客装置连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该集成电路缓冲吸嘴用于集成电路转道吸取集成电路时,由于压簧阻力的缓冲作用,冲击力较小,不会造成集成电路损伤;上导向套侧围设有的防转竖槽与吸杆侧围设有的防转块配合能防止吸杆转动,利于集成电路转道完成正确入位。外套管上端设有调整螺纹段,上导向套设有与调整螺纹段螺纹连接的外螺纹,利于缓冲力调整。进气块下端与外套管上端之间设有密封圈,提高密封性。与进气孔连通且与进气块上端连接的进气接头,方便与政客装置连接。
附图说明
图1是本实用新型的一种结构示意图。
图中:中孔1、吸杆2、吸嘴3、内挡圈4、外套管5、上导向套6、下导向套7、进气孔8、进气块9、压簧10、进气接头11、凸环12、防转竖槽13、防转块14、锁紧螺钉15、调整螺纹段16、外螺纹17、密封圈18。
具体实施方式
下面结合附图所示对本实用新型进行进一步描述。
如附图1所示:一种集成电路缓冲吸嘴,包括:设有中孔1的吸杆2,设于吸杆2下端且与中孔1连通的吸嘴3,下端设有内挡圈4的外套管5,设于外套管5内侧围上部且与外套管5连接的上导向套6,设于外套管5内侧围下部的下导向套7,设有进气孔8且与外套管5上端螺钉连接的进气块9,压簧10,与进气孔8连通且与进气块9上端螺纹连接的进气接头11;吸杆2穿设于上导向套6和下导向套7中;吸杆2中部设有位于上导向套6和下导向套7之间的凸环12;上导向套6侧围设有防转竖槽13;吸杆2侧围设有一端伸入防转竖槽13中的防转块14;防转块14的宽度与防转竖槽13的宽度间隙配合;压簧10的一端压住上导向套6下端,压簧10的另一端压住凸环12上端。吸嘴3的材料为橡胶。
本实施例中,所述的集成电路缓冲吸嘴3还包括:锁紧螺钉15;所述的外套管5上端设有调整螺纹段16,上导向套6设有与调整螺纹段16螺纹连接的外螺纹17;锁紧螺钉15的螺杆与外套管5侧围螺纹连接且锁紧螺钉15的螺杆的前端入防转竖槽13上端中。
所述的进气块9下端与外套管5上端之间设有密封圈18。
本实用新型的有益效果是:该集成电路缓冲吸嘴用于集成电路转道吸取集成电路时,由于压簧阻力的缓冲作用,冲击力较小,不会造成集成电路损伤;上导向套侧围设有的防转竖槽与吸杆侧围设有的防转块配合能防止吸杆转动,利于集成电路转道完成正确入位。外套管上端设有调整螺纹段,上导向套设有与调整螺纹段螺纹连接的外螺纹,利于缓冲力调整。进气块下端与外套管上端之间设有密封圈,提高密封性。与进气孔连通且与进气块上端连接的进气接头,方便与政客装置连接。
本实用新型可改变为多种方式对本领域的技术人员是显而易见的,这样的改变不认为脱离本实用新型的范围。所有这样的对所述领域的技术人员显而易见的修改,将包括在本权利要求的范围之内。

Claims (4)

1.一种集成电路缓冲吸嘴,包括:设有中孔的吸杆,设于吸杆下端且与中孔连通的吸嘴;其特征是,所述的集成电路缓冲吸嘴还包括:下端设有内挡圈的外套管,设于外套管内侧围上部且与外套管连接的上导向套,设于外套管内侧围下部的下导向套,设有进气孔且与外套管上端连接的进气块,压簧;吸杆穿设于上导向套和下导向套中;吸杆中部设有位于上导向套和下导向套之间的凸环;上导向套侧围设有防转竖槽;吸杆侧围设有一端伸入防转竖槽中的防转块;压簧的一端压住上导向套下端,压簧的另一端压住凸环上端。
2.根据权利要求1所述的集成电路缓冲吸嘴,其特征是:还包括:锁紧螺钉;所述的外套管上端设有调整螺纹段,上导向套设有与调整螺纹段螺纹连接的外螺纹;锁紧螺钉的螺杆与外套管侧围螺纹连接且锁紧螺钉的螺杆的前端入防转竖槽上端中。
3.根据权利要求1或2所述的集成电路缓冲吸嘴,其特征是:所述的进气块下端与外套管上端之间设有密封圈。
4.根据权利要求1或2所述的集成电路缓冲吸嘴,其特征是:还包括:与进气孔连通且与进气块上端连接的进气接头。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108436899A (zh) * 2018-02-12 2018-08-24 杭州长川科技股份有限公司 除尘吸取装置及除尘吸取方法
CN114408565A (zh) * 2022-01-24 2022-04-29 广州诺顶智能科技有限公司 吸嘴装置和吸嘴固定结构

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