CN206799730U - 一种镀膜机自动转架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及镀膜加工设备技术领域，具体提供了一种镀膜机自动转架，包括：第一电机；安装在第一电机顶部的主动轮；安装在主动轮一侧且与主动轮啮合的从动轮；安装在从动轮正上方的升降轮，所述升降轮与从动轮之间通过传动销连接；固定在升降轮上的工件夹具，镀膜工件固定在工件夹具上；并排固定在升降轮上的第一支撑轮和第四支撑轮；安装在升降轮正下方的升降底座，安装在从动轮下方的传动轮；安装在传动轮一侧的第三支撑轮，第三支撑轮的下端通过连接柱与升降底座连接。本镀膜机自动转架，采用多支点多平台自转加升降的结构设计，不仅使支撑面积大大减少，而且可以确保镀膜的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜加工设备技术领域，具体涉及一种镀膜机自动转架。
背景技术
磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
现大部分的磁控溅射离子镀膜机为较大型的工件镀膜所提供，镀膜机占地面积较大，对于小批量生产的镀膜工件所采用的镀膜技术往往是传统的手工镀膜，而减少镀膜机占地面积的最关键因素是要在减少工件转架体积的同时保证镀膜的均匀性，目前市面上还没有针对镀膜工件的镀膜转架出现。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种镀膜机自动转架，采用多支点多平台自转加升降的结构设计，不仅使支撑面积大大减少，而且可以确保镀膜的均匀性。
为实现上述技术方案，本实用新型提供了一种镀膜机自动转架，包括：竖直向上设置的第一电机；安装在第一电机顶部的主动轮；安装在主动轮一侧且与主动轮啮合的从动轮；安装在从动轮正上方的升降轮，所述升降轮与从动轮之间通过传动销连接；固定在升降轮上的工件夹具，镀膜工件固定在工件夹具上；并排固定在升降轮上的第一支撑轮和第四支撑轮；安装在升降轮正下方的升降底座，所述第一支撑轮和第四支撑轮分别通过升降导柱和第二连接柱与升降底座连接；安装在从动轮下方的传动轮；安装在传动轮侧端的第二支撑轮，所述第二支撑轮与传动轮啮合，所述第二支撑轮的下端通过丝杠与第二电机连接；安装在传动轮一侧的第三支撑轮，所述第三支撑轮与传动轮啮合，所述第三支撑轮的下端通过连接柱与升降底座连接。
在上述技术方案中，第一电机带动自转主动轮旋转，通过齿轮啮合，自转主动轮带动自转从动轮旋转，从而带动升降轮自转，进而带动固定在工件夹具上的半球型或半球壳型的小型镀膜工件自转。同时第二电机通过带动升降丝杠的转动，安装在丝杠顶端的第二支撑轮带动传动轮转动进而带动升降底座进行升降移动，升降底座通过升降导柱以及第一支撑轮带动升降轮进行升降移动，从而带动固定在升降轮上的半球型或半球壳型镀膜工件进行升降移动。
优选的，所述工件夹具由四个呈正方形分布且带弹簧的抓爪组成，以方便半球型或半球壳型的镀膜工件的快速夹紧和卸料。
优选的，所述第一电机和第二电机均为伺服电机，以方便自转速度及升降速度的精准调控。
相对于现有技术，本实用新型提供的一种镀膜机自动转架的有益效果在于：本镀膜机自动转架采用多支点多平台自转加升降的结构设计，不仅减少了转架的体积，而且通过两组电机的分别控制，可以同时实现镀膜工件的旋转和两组支点的升降换位，提高了镀膜的均匀性。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：1、第一电机；2、第二电机；3、主动轮；4、从动轮；5、升降轮；6、传动销；7、工件夹具；8、第一支撑轮；9、升降导柱；10、升降底座；11、丝杠；12、第二支撑轮；13、传动轮；14、第三支撑轮；15、连接柱；16、固定底座；17、第四支撑轮；18、第二连接柱；19、镀膜工件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型的保护范围。
实施例：一种镀膜机自动转架。
参照图1所示，一种镀膜机自动转架，包括：竖直向上设置的第一电机1；安装在第一电机1顶部的主动轮3；安装在主动轮3一侧且与主动轮3啮合的从动轮4；安装在从动轮4正上方的升降轮5，所述升降轮5与从动轮4之间通过传动销6连接；固定在升降轮5上的工件夹具7，镀膜工件19固定在工件夹具7上；并排固定在升降轮5上的第一支撑轮8和第四支撑轮17；安装在升降轮5正下方的升降底座10，所述第一支撑轮8和第四支撑轮17分别通过升降导柱9和第二连接柱18与升降底座10连接；安装在从动轮4下方的传动轮13；安装在传动轮13侧端的第二支撑轮12，所述第二支撑轮12与传动轮13啮合，所述第二支撑轮12的下端通过丝杠11与第二电机2连接；安装在传动轮13一侧的第三支撑轮14，所述第三支撑轮14与传动轮13啮合，所述第三支撑轮14的下端通过连接柱15与升降底座10连接；以及安装在升降底座10下方的固定底座16。
本实用新型的工作原理为：第一电机1带动自转主动轮3旋转，通过齿轮啮合，自转主动轮3带动自转从动轮4旋转，从而带动升降轮5自转，进而带动固定在工件夹具7上的半球型或半球壳型的小型镀膜工件19自转。同时第二电机2通过带动升降丝杠11的转动，安装在丝杠11顶端的第二支撑轮12带动传动轮13转动进而带动升降底座10进行升降移动，升降底座10通过升降导柱9以及第一支撑轮8带动升降轮5进行升降移动，从而带动固定在升降轮5上的半球型或半球壳型镀膜工件19进行升降移动。本镀膜机自动转架采用多支点多平台自转加升降的结构设计，不仅减少了转架的体积，而且通过两组电机的分别控制，可以同时实现镀膜工件19的旋转和两组支点的升降换位，提高了镀膜的均匀性。
参照图1所示，所述工件夹具7由四个呈正方形分布且带弹簧的抓爪组成，以方便半球型或半球壳型的镀膜工件19的快速夹紧和卸料。
本实施例中，所述第一电机1和第二电机2均为伺服电机，以方便自转速度及升降速度的精准调控。
以上所述为本实用新型的较佳实施例而已，但本实用新型不应局限于该实施例和附图所公开的内容，所以凡是不脱离本实用新型所公开的精神下完成的等效或修改，都落入本实用新型保护的范围。
Claims (3)
1.一种镀膜机自动转架，其特征在于包括：
竖直向上设置的第一电机(1)；
安装在第一电机(1)顶部的主动轮(3)；
安装在主动轮(3)一侧且与主动轮(3)啮合的从动轮(4)；
安装在从动轮(4)正上方的升降轮(5)，所述升降轮(5)与从动轮(4)之间通过传动销(6)连接；
固定在升降轮(5)上的工件夹具(7)，镀膜工件(19)固定在工件夹具(7)上；
并排固定在升降轮(5)上的第一支撑轮(8)和第四支撑轮(17)；
安装在升降轮(5)正下方的升降底座(10)，所述第一支撑轮(8)和第四支撑轮(17)分别通过升降导柱(9)和第二连接柱(18)与升降底座(10)连接；
安装在从动轮(4)下方的传动轮(13)；
安装在传动轮(13)侧端的第二支撑轮(12)，所述第二支撑轮(12)与传动轮(13)啮合，所述第二支撑轮(12)的下端通过丝杠(11)与第二电机(2)连接；
安装在传动轮(13)一侧的第三支撑轮(14)，所述第三支撑轮(14)与传动轮(13)啮合，所述第三支撑轮(14)的下端通过连接柱(15)与升降底座(10)连接。
2.如权利要求1所述的镀膜机自动转架，其特征在于：所述工件夹具(7)由四个呈正方形分布且带弹簧的抓爪组成。
3.如权利要求1所述的镀膜机自动转架，其特征在于：所述第一电机(1)和第二电机(2)均为伺服电机。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201720628077.2U CN206799730U (zh) | 2017-06-01 | 2017-06-01 | 一种镀膜机自动转架 |
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| CN206799730U true CN206799730U (zh) | 2017-12-26 |
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| CN (1) | CN206799730U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109576653A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-04-05 | 东莞市汇成真空科技有限公司 | 用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机 |
| CN112359337A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-02-12 | 昆山英利悦电子有限公司 | 一种具有调节功能的移动式镀膜机载物架 |
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2017
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