CN206799423U - 一种石英玻璃燃烧器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种石英玻璃燃烧器，属石英玻璃锭生产器械领域。该燃烧器由下料管、氧气储仓、氢气储仓和原料仓构成，氧气储仓上设置有氢气储仓，氧气储仓的顶部设置有原料仓，原料仓的底部设置有多个下料管，下料管的一端与原料仓连通，下料管的另一端穿过氧气储仓延伸至氢气储仓内。该燃烧器生产过程环保无污染，且能够省去尾气处理步骤，大大降低生产成本。解决了现有燃烧器气体的流速分布不均匀；燃烧效率低，直接影响下一步合成石英玻璃的质量，无法满足国防科技需要的问题。该燃烧器可以充分节约利用能源气体，获得高产量、高质量的二氧化硅粉料，供石英玻璃熔制使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英玻璃燃烧器，属石英玻璃锭生产器械领域。
背景技术
化学气相沉积技术(CVD)是一种常见工艺，是石英玻璃生产、试验过程中所采用的重要方法之一。
燃烧器是生产工艺流程中的一个重要部件，通过使用燃烧器火焰分解成二氧化硅微粒，并沉积到绕自身纵向轴旋转的载体靶料面上。燃烧器设计的合理性直接影响沉积面温场分布，决定了二氧化硅粉料的得料率与沉积体的形态和质量，是合成粉料与保障石英玻璃生产的关键装置。目前，石英玻璃均是由四氯化硅等含硅的卤素原料通过化学气相沉积( CVD )、等离子化学气相沉积( PCVD )等直接法和间接法合成。而在传统工艺以四氯化硅为原料合成二氧化硅粉料或石英玻璃的生产工艺中，产生大量的氯化氢或氯气气体，不仅对生产设备造成腐蚀，产生有害气体泄漏威胁环境，还给企业的尾气处理设备带来较大压力，大大提高了生产成本，同时在合成石英玻璃含有相当数量的的氯，从而影响合成石英玻璃在高强紫外激光中的应用。在另一方面，由于现有燃烧器的结构原因，致使其在工作时气体的流速分布不均匀；燃烧效率低，直接影响下一步合成石英玻璃的质量，无法满足国防科技的需要。
发明内容
本实用新型的目的在于：提供一种可有效提高氢氧气燃烧效率和沉积面温度水平，且能保证产品得料率以及粉体质量，进而为石英玻璃的生产提供优质稳定的二氧化硅粉体原料；让石英玻璃产品更好地应用于新型电光源、半导体集成电路、激光技术和航空航天等高科技领域，满足国防科技需要的石英玻璃燃烧器。
本实用新型的技术方案是：
一种石英玻璃燃烧器，它由下料管、氧气储仓、氢气储仓和原料仓构成，其特征在于：氧气储仓上设置有氢气储仓，氧气储仓的顶部设置有原料仓，原料仓的底部设置有多个下料管，下料管的一端与原料仓连通，下料管的另一端穿过氧气储仓延伸至氢气储仓内，下料管外围的氧气储仓底部设置有多个灯芯管，灯芯管与氧气储仓连通，与各灯芯管和下料管端口对应的氢气储仓底部设置有燃烧孔；所述的氧气储仓上设置有氧气管，氢气储仓上设置有氢气管。
所述的下料管数量为4个。
所述的各灯芯管和下料管端口与氢气储仓底部间距为0.5cm。
所述的氢气储仓呈锥形。
本实用新型的有益效果在于：
该石英玻璃燃烧器工作时，高纯有机硅原料由氮气载料经下料管进入燃烧器氢气储仓，并从下料管喷出，多个下料管使得有机硅原料更加分散；进而使有机硅在氢氧气中充分燃烧形成二氧化硅粉体并迅速沉积至靶面。该燃烧器生产过程环保无污染，且能够省去尾气处理步骤，大大降低生产成本。解决了现有燃烧器气体的流速分布不均匀；燃烧效率低，直接影响下一步合成石英玻璃的质量，无法满足国防科技需要的问题。该燃烧器可以充分节约利用能源气体，获得高产量、高质量的二氧化硅粉料，供石英玻璃熔制使用。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的仰视结构示意图。
图中：1、下料管，2、氧气储仓，3、氢气储仓，4、原料仓，5、灯芯管，6、燃烧孔，7、氧气管，8、氢气管。
具体实施方式
该石英玻璃燃烧器由下料管1、氧气储仓2、氢气储仓3和原料仓4构成。氧气储仓2下端设置有氢气储仓3，氧气储仓2的顶部设置有原料仓4，原料仓4的底部设置有4个下料管1，下料管1的一端与原料仓4连通，下料管1的另一端穿过氧气储仓2延伸至氢气储仓3内，下料管1外围的氧气储仓2底部设置有多个灯芯管5，灯芯管5与氧气储仓2连通，各灯芯管5和下料管1端口与氢气储仓3底部间距为0.5cm；与各灯芯管5和下料管1端口对应的氢气储仓3底部设置有燃烧孔6 。
该石英玻璃燃烧器的氧气储仓2、氢气储仓3和原料仓4相互独立，氧气储仓2上设置有氧气管7，氢气储仓3上设置有氢气管8。氧气管7与氧气气源连通，氢气管8与氢气气源连通。
工作时，有机硅与氮气的混合气体从通过连通管经由氮气带动进入原料仓4，由于原料仓4的底部设置有4个下料管1，且下料管1的另一端穿过氧气储仓2延伸至氢气储仓3内，进入至原料仓4的有机硅与氮气的混合气体进入4个下料管1，并从其下端口喷出，喷出的有机硅原料在氢气储仓3内与氢、氧气混合燃烧分解生成二氧化硅颗粒，并沉积到靶料沉积面上，最后堆积成可应用于制造石英玻璃的高纯高密度均匀粉体聚集体，由此为石英玻璃的生产提供优质稳定的二氧化硅粉体原料。
该石英玻璃燃烧器的氢气储仓3呈上大下小的锥形，工作过程中上下之间可产生一定的压差，因此可以让有机硅原料在氢氧气中充分燃烧形成二氧化硅粉体并迅速沉积至靶面；生产过程环保无污染，能够省去尾气处理步骤，使得生产成本大大降低。解决了现有燃烧器气体的流速分布不均匀；燃烧效率低，直接影响下一步合成石英玻璃的质量，无法满足国防科技需要的问题。该燃烧器可以充分节约利用能源气体，获得高产量、高质量的二氧化硅粉料，供石英玻璃熔制使用。
Claims (5)
1.一种石英玻璃燃烧器，它由下料管（1）、氧气储仓（2）、氢气储仓（3）和原料仓（4）构成，其特征在于：氧气储仓（2）上设置有氢气储仓（3），氧气储仓（2）的顶部设置有原料仓（4），原料仓（4）的底部设置有多个下料管（1），下料管（1）的一端与原料仓（4）连通，下料管（1）的另一端穿过氧气储仓（2）延伸至氢气储仓（3）内，下料管（1）外围的氧气储仓（2）底部设置有多个灯芯管（5），灯芯管（5）与氧气储仓（2）连通，与各灯芯管（5）和下料管（1）端口对应的氢气储仓（3）底部设置有燃烧孔（6）。
2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃燃烧器，其特征在于：所述的氧气储仓（2）上设置有氧气管（7），氢气储仓（3）上设置有氢气管（8）。
3.根据权利要求1所述的一种石英玻璃燃烧器，其特征在于：所述的下料管（1）数量为4个。
4.根据权利要求1所述的一种石英玻璃燃烧器，其特征在于：所述的各灯芯管（5）和下料管（1）端口与氢气储仓（3）底部间距为0.5cm。
5.根据权利要求1所述的一种石英玻璃燃烧器，其特征在于：所述的氢气储仓（3）呈锥形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720522668.1U CN206799423U (zh) | 2017-05-12 | 2017-05-12 | 一种石英玻璃燃烧器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720522668.1U CN206799423U (zh) | 2017-05-12 | 2017-05-12 | 一种石英玻璃燃烧器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206799423U true CN206799423U (zh) | 2017-12-26 |
Family
ID=60740545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201720522668.1U Active CN206799423U (zh) | 2017-05-12 | 2017-05-12 | 一种石英玻璃燃烧器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206799423U (zh) |
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2017
- 2017-05-12 CN CN201720522668.1U patent/CN206799423U/zh active Active
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