CN206706201U - 光学监控系统多片式膜厚修正装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。该光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板。本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2‑3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。
背景技术
常规的镀膜材料只能对应一片膜厚修正板，只能采用单光路光学监控形式，镀膜过程中难以做到实时修正，监控精度比较低；而且最多可以实现三种材料镀膜过程的膜厚修正，市场现有技术方案为三片式结构，每一种镀膜材料对应一片膜厚修正板，不能够满足现代社会对高性能膜厚修正装置的需求。
本发明设计了光学监控系统多片式膜厚修正装置，该装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2-3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。
实用新型内容
为了克服背景技术中存在的缺陷，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板，所述膜厚修正板通过螺钉和定位销钉固定在膜厚修正板支架上，所述膜厚修正板的个数为8个，所述膜厚修正板均匀分布在膜厚修正板支架上，所述基板的直径大于膜厚修正板支架的直径。
优选的所述基板的中心到膜厚修正板支架的中心之间的距离大于基板和膜厚修正板支架的半径和。
优选的所述膜厚修正板由金属或塑料材质制备而成。
本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置，该装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2-3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型光学监控系统多片式膜厚修正装置的结构示意图；
其中:1、膜厚修正板支架；2、膜厚修正板；3、螺钉；4、定位销钉；5、基板。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
具体实施例，请参阅图1，光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架1、膜厚修正板2和基板5，所述膜厚修正板2通过螺钉3和定位销钉4固定在膜厚修正板支架1上，所述膜厚修正板2的个数为8个，所述膜厚修正板2均匀分布在膜厚修正板支架1上，所述基板5的直径大于膜厚修正板支架1的直径，所述基板5的中心到膜厚修正板支架1的中心之间的距离大于基板5和膜厚修正板支架1的半径和，所述膜厚修正板2由金属或塑料材质制备而成。
本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置，该装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2-3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (3)
1.光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架（1）、膜厚修正板（2）和基板（5），其特征在于：所述膜厚修正板（2）通过螺钉（3）和定位销钉（4）固定在膜厚修正板支架（1）上，所述膜厚修正板（2）的个数为8个，所述膜厚修正板（2）均匀分布在膜厚修正板支架（1）上，所述基板（5）的直径大于膜厚修正板支架（1）的直径。
2.根据权利要求1所述的光学监控系统多片式膜厚修正装置，其特征在于，所述基板（5）的中心到膜厚修正板支架（1）的中心之间的距离大于基板（5）和膜厚修正板支架（1）的半径和。
3.根据权利要求1所述的光学监控系统多片式膜厚修正装置，其特征在于，所述膜厚修正板（2）由金属或塑料材质制备而成。
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| CN201720334791.0U CN206706201U (zh) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | 光学监控系统多片式膜厚修正装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109188683A (zh) * | 2018-09-27 | 2019-01-11 | 联合光科技（北京）有限公司 | 大孔径合束镜的模系均匀性修正方法及装置 |
| CN115011943A (zh) * | 2022-06-22 | 2022-09-06 | 中科光智(西安)科技有限公司 | 一种可切换的均匀性修正板组结构及其真空镀膜机 |
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2017
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