CN206637655U - 适用于扩散炉的一体式外点火装置 - Google Patents
适用于扩散炉的一体式外点火装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206637655U CN206637655U CN201720287050.1U CN201720287050U CN206637655U CN 206637655 U CN206637655 U CN 206637655U CN 201720287050 U CN201720287050 U CN 201720287050U CN 206637655 U CN206637655 U CN 206637655U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bulb
- quartz
- straight tube
- quartz bulb
- injector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，它包括石英泡、小炉体和注入器，所述石英泡的一侧设置有与石英管相连的S弯管，所述石英泡的腔体外围设有防爆罩，在所述防爆罩上开设有冷却水进水口、冷却水回水口和火焰传感器，所述S弯管的一端与石英泡之间设计成一体式结构，在石英泡的另一侧设置有直管，所述直管的一端穿过小炉体，所述注入器的一端插入直管并与石英泡的腔体贯通，所述直管的端部通过设置石英球头与注入器上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈。本实用新型有效的减少了工艺过程中气体泄露，增加了参数稳定性，提高了产品质量，适合工业化生产使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种适用于改善半导体扩散炉外点火装置与炉管之间的密封的装置，属于集成电路或分立器件圆片制造技术领域。
背景技术
半导体晶圆制造过程中，普遍采用高温扩散工艺。随着产品质量要求的提高，气体流量的稳定性直接影响整个扩散系统的气氛，而掺杂稳定性、氧化膜厚稳定性等造成的细微影响，都会影响到晶圆的成品质量。扩散系统是在高温环境中将需要的杂质向硅片内部推进，在这种情况下有益杂质和有害杂质同时扩散，所以对扩散系统洁净度及气体稳定性都有非常高的要求，而扩散炉外点火小炉体与炉管之间连接的密封性的优劣，一方面可能导致外界的空气通过文丘里效应引入到扩散炉系统导致扩散炉系统沾污，造成管芯漏电、击穿低等失效；另一方面可能导致进入扩散炉管的气体泄漏，造成扩散炉内气氛不饱和，或引起多种工艺气体的固定比例失控，引起掺杂、氧化层膜厚异常，最终影响管芯成品率。
在本实用新型作出以前，常用的适用于外点火装置与炉管之间的连接装置主要存在的不足之处在于：
1、注入器与石英泡、石英泡和S弯接头之间通过石英球头和球碗磨砂接触，通过磨砂面密封，密封稳定性得不到保障；
2、石英泡与注入器、石英泡与S型转接头之间各有一个连接点，连接点越多泄露的可能性越大；
3、石英泡与注入器、石英泡与S型转接头之间各有一个连接点，各有两个球头和球碗，增加石英制品的加工难度，增加了制作成本。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种既能降低制作难度与成本又能保证连接之间的密封性的外点火连接装置。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，它包括石英泡、小炉体和注入器，所述石英泡的一侧设置有与石英管相连的S弯管，所述石英泡的腔体外围设有防爆罩，在所述防爆罩上开设有冷却水进水口、冷却水回水口和火焰传感器，所述S弯管的一端与石英泡之间设计成一体式结构，在石英泡的另一侧设置有直管，所述直管的一端穿过小炉体，所述注入器的一端插入直管并与石英泡的腔体贯通，所述直管的端部通过设置石英球头与注入器上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
本实用新型通过改进石英与石英之间的连接方式，通过增加O型圈、生料带起到密封的作用，并且将石英泡和S弯这种分体结构集成为一体结构，有效的减少了工艺过程中气体泄露，增加了参数稳定性，提高了产品质量，适合工业化生产使用。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图。
图中：
石英泡1、小炉体2、注入器3、石英管4、 S弯管5、直管6、防爆罩7、冷却水进水口8、冷却水回水口9、火焰传感器10。
具体实施方式
以下结合实施例对本实用新型作进一步详细描述。
参见图1，本实用新型涉及一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，包括石英泡1、小炉体2和注入器3，所述石英泡1的一侧设置有与石英管4相连的S弯管5，由于石英泡与S弯转接头的连接处温度很高，处于点火状态时该处最高温度可达400℃以上，不具备安装O型圈的可能性，将所述S弯管5的一端与石英泡1之间设计成一体式结构，在石英泡1的另一侧设置有直管6，所述直管6的一端穿过小炉体2，所述注入器3的一端插入直管6并与石英泡1的腔体贯通，所述直管6的端部通过设置石英球头与注入器3上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈，增加密封性，所述石英泡1的腔体外围设有防爆罩7，在所述防爆罩7上开设有冷却水进水口8、冷却水回水口9和火焰传感器10。
除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，它包括石英泡（1）、小炉体（2）和注入器（3），所述石英泡（1）的一侧设置有与石英管（4）相连的S弯管（5），所述石英泡（1）的腔体外围设有防爆罩（7），在所述防爆罩（7）上开设有冷却水进水口（8）、冷却水回水口（9）和火焰传感器（10），其特征在于：所述S弯管（5）的一端与石英泡（1）之间设计成一体式结构，在石英泡（1）的另一侧设置有直管（6），所述直管（6）的一端穿过小炉体（2），所述注入器（3）的一端插入直管（6）并与石英泡（1）的腔体贯通，所述直管（6）的端部通过设置石英球头与注入器（3）上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720287050.1U CN206637655U (zh) | 2017-03-23 | 2017-03-23 | 适用于扩散炉的一体式外点火装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201720287050.1U CN206637655U (zh) | 2017-03-23 | 2017-03-23 | 适用于扩散炉的一体式外点火装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206637655U true CN206637655U (zh) | 2017-11-14 |
Family
ID=60250556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201720287050.1U Active CN206637655U (zh) | 2017-03-23 | 2017-03-23 | 适用于扩散炉的一体式外点火装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206637655U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110553237A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-12-10 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 点火装置及半导体处理设备 |
| CN112082728A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-15 | 辽宁工程技术大学 | 一种粉尘爆炸对矿井通风状态扰动的试验装置 |
-
2017
- 2017-03-23 CN CN201720287050.1U patent/CN206637655U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110553237A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-12-10 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 点火装置及半导体处理设备 |
| CN112082728A (zh) * | 2020-09-14 | 2020-12-15 | 辽宁工程技术大学 | 一种粉尘爆炸对矿井通风状态扰动的试验装置 |
| CN112082728B (zh) * | 2020-09-14 | 2022-07-22 | 辽宁工程技术大学 | 一种粉尘爆炸对矿井通风状态扰动的试验装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206637655U (zh) | 适用于扩散炉的一体式外点火装置 | |
| CN103165497B (zh) | 一种氧化反应炉及利用该反应炉进行氧化反应的方法 | |
| CN105543955A (zh) | 多晶硅制备之立式炉管及其制备方法 | |
| CN209199965U (zh) | 一种晶硅太阳能电池生产用负压湿氧扩散装置 | |
| CN109244010A (zh) | 一种高温热氧化机台结构 | |
| WO2020220666A1 (zh) | 一种浅沟槽的电极同侧二极管芯片的制造工艺 | |
| CN103903971B (zh) | 一种提高栅氧化层质量的方法 | |
| CN103715300B (zh) | 一种扩散后低方阻硅片返工的方法 | |
| CN108981982A (zh) | 一种mems压力传感器及其制作方法 | |
| CN102592975A (zh) | 降低p型涂敷源工艺的p/n结电容和漏电的方法 | |
| CN106929923A (zh) | 一种石英炉管 | |
| CN207016893U (zh) | 一种炉管组件及其扩散炉 | |
| US4149915A (en) | Process for producing defect-free semiconductor devices having overlapping high conductivity impurity regions | |
| CN109554685A (zh) | 气体注入装置及高温炉管 | |
| CN214830785U (zh) | 一种气管结构 | |
| CN213845292U (zh) | 一种双层反应腔体结构 | |
| CN214250565U (zh) | 一种扩散炉用水冷法兰 | |
| CN205764337U (zh) | 一种水冷盘钎焊结构 | |
| CN208282972U (zh) | 一种mems压力传感器 | |
| CN205313665U (zh) | 一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱 | |
| CN207904321U (zh) | 一种退火系统 | |
| CN103715067A (zh) | 一种提高成膜均匀性的方法 | |
| CN206553653U (zh) | 一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构 | |
| CN218146928U (zh) | 低压化学气相沉积的进气结构及气相沉积设备 | |
| CN105070783A (zh) | 一种用于高温扩散炉的喷淋管及其应用 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 214434 Chengjiang East Road, Binjiang Development Zone, Jiangyin City, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Xinshun Microelectronics Co.,Ltd. Address before: 214434 Chengjiang East Road, Binjiang Development Zone, Jiangyin City, Wuxi City, Jiangsu Province Patentee before: XINSUN Co.,Ltd. |