CN206622765U - 一种靶材焊接结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种靶材焊接结构，包括靶坯和背板，在靶坯或背板的焊接面的边缘周圈设有凸台，形成定位部，背板或靶坯能够刚好嵌入所述定位部之间，能够实现靶坯与背板的便捷、快速定位。进一步地，在靶坯或背板的焊接面上，沿所述定位部内侧的周圈设有凸台，形成边缘支撑部，且所述边缘支撑部低于所述定位部。边缘支撑部内侧的凹槽为焊料容纳区，能够在不垫丝的情况下保证焊料厚度。再进一步地，在靶坯或背板的焊接面的中部，还可以设有中心支撑部加强支撑。边缘支撑部和中心支撑部能够加强支撑，特别适用于材料较软的靶材。

Description

一种靶材焊接结构

技术领域

本实用新型属于溅射靶材加工技术领域，特别涉及一种靶材焊接结构。

背景技术

现有技术的靶材焊接不便于定位，定位差导致容易出现外观尺寸不合格、靶材后续加工中容易崩边等问题。

如果采用工装进行焊接定位，则操作不便、且费时。在靶材焊接过程中，从靶坯与背板结合至完成焊接的时间较短，使用工装容易出现靶坯未定位而焊料局部凝固的问题，从而造成焊接缺陷。

因此，需要一种焊接时方便定位的焊接结构。

此外，现有的焊接结构采用垫丝和不垫丝两种工艺。

不垫丝的工艺无法保证焊料厚度，无法起到缓冲的作用，容易导致掉靶等严重问题。

垫丝的工艺通常使用0.15mm和0.2mm的铜丝，用于起到支撑靶坯并保证焊料厚度的作用。但是，容易在焊缝边缘留下孔洞或焊缝不连续的问题。这种孔洞和焊缝不连续会在后续的机加工和清洗等工序中引入切削液或水等液体，难以去除，从而在靶材使用过程中会发生焊缝出水的现象，严重影响溅射镀膜的质量。

因此，需要一种不垫丝但能够保证焊料厚度，同时能够实现定位的靶材焊接结构，尤其是适用于较软的靶材的焊接结构。

实用新型内容

针对现有技术不足，本实用新型提供了一种靶材焊接结构。

一种靶材焊接结构，包括靶坯和背板，在靶坯或背板的焊接面的边缘周圈设有凸台，形成定位部12，背板或靶坯能够刚好嵌入所述定位部12之间。

所述定位部12为连续或不连续的凸台。

所述定位部12不低于0.5mm，以其所在的焊接面所在的平面为基准。

在靶坯或背板的焊接面上，沿所述定位部12内侧的周圈设有凸台，形成边缘支撑部14，所述边缘支撑部14与所述定位部12紧邻或相间隔，且所述边缘支撑部14低于所述定位部12。

所述边缘支撑部14为连续或不连续的凸台。

所述边缘支撑部14较所述定位部12低0.5～3mm。

在靶坯或背板的焊接面的中部，设有中心支撑部18。

所述中心支撑部18与边缘支撑部14等高。

所述边缘支撑部14内侧的凹槽16为焊料容纳区，在其中填充焊料。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的定位部能够实现靶坯与背板的便捷、快速定位。

本实用新型的凹槽在不垫丝的情况下能够保证焊料厚度。

本实用新型的边缘支撑部和中心支撑部能够加强支撑，特别适用于材料较软的靶材。

附图说明

图1为实施例中所述靶坯或背板的剖视图。

图2为实施例中所述一种靶材焊接结构的剖视图。

标号说明：10-靶坯，12-定位部，14-边缘支撑部，16-凹槽，18-中心支撑部，20-背板，30-焊料。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。应该强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本实用新型的范围及其应用。

本实施例提供了一种靶材焊接结构，如图2所示，靶坯10通过焊料30焊接在背板20上。

如图1所示，在靶坯10的焊接面上设有：

定位部12，其是在靶坯10的焊接面的边缘周圈，与焊接面垂直的法向上的凸台。定位部12可以是沿焊接面的边缘周圈的连续或不连续的凸台，定位部12的高度优选地不低于0.5mm。背板20能够刚好嵌合在定位部12之间，从而方便快捷地完成定位。

边缘支撑部14，其是在靶坯10的焊接面上，沿所述定位部12内侧的周圈，与焊接面垂直的法向上的凸台。边缘支撑部14也可以是连续或不连续的凸台，其可以是与定位部12紧邻，也可以是与定位部12相间隔，且边缘支撑部14较定位部12低0.5～3mm。

中心支撑部18，其是在靶坯10的焊接面的中心，与焊接面垂直的法向上的凸台。中心支撑部18可以是圆柱形凸台、棱柱形凸台或是适用于机加工实现的其他任意形状的凸台。优选地，中心支撑部18与边缘支撑部14等高。

背板20嵌入靶坯10的定位部12之间完成定位，背板20的焊接面与靶坯10上的边缘支撑部14和中心支撑部18贴合，在边缘支撑部14和中心支撑部18之间的凹槽16为焊料容纳区，在其中填充焊料30进行焊接，保证了在不垫丝的情况下的焊料厚度。

定位部12及与其对应的一部分靶坯10在焊接之后被去除。然而，本实用新型不限于此，可以根据最终成品靶材的形状来选择是否去除定位部12及与其对应的一部分靶坯10。

定位部12、边缘支撑部14、中心支撑部18上可以设置有倒角、圆弧过渡或曲面，或其组合。

靶坯10和背板20可以是本领域中常见的形状，包括但不限于，方体形、圆柱体形、筒体形。靶坯10和背板20的焊接面可以是本领域中常见的形状，包括但不限于，平面、曲面、波纹状表面。

本实用新型提供的焊接结构还适用于软的靶坯10，所述软的靶坯10包括由银、铝、金、铂、银合金、铝合金、金合金或铂合金制备而成的靶坯。在钎焊过程中，当靶坯10和背板20嵌合之后，通常需要施加压力以挤出多余的焊料，加压的重量通常不低于50kg，而对于较软的靶坯10，由于中心支撑部18能够起到良好的支撑作用，从而使靶坯10和背板20不易于变形。

本领域的技术人员应当理解的是，所述定位部12、边缘支撑部14和中心支撑部18还可以设置在背板20上；或者是，所述定位部12、边缘支撑部14和中心支撑部18分布设置在靶坯10和背板20上。

本领域的技术人员还应当理解的是，可以根据需要来选择在靶坯10或背板20上设置定位部12、边缘支撑部14或中心支撑部18。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型的技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (6)

1.一种靶材焊接结构，包括靶坯和背板，其特征在于，在靶坯或背板的焊接面的边缘周圈设有凸台，形成定位部(12)，背板或靶坯能够刚好嵌入所述定位部(12)之间；

在靶坯或背板的焊接面上，沿所述定位部(12)内侧的周圈设有凸台，形成边缘支撑部(14)，所述边缘支撑部(14)与所述定位部(12)紧邻或相间隔，且所述边缘支撑部(14)低于所述定位部(12)；

在靶坯或背板的焊接面的中部，设有中心支撑部(18)，所述中心支撑部(18)与边缘支撑部(14)等高；

上述焊接结构适用于软的靶坯(10)，所述软的靶坯(10)包括由银、铝、金、铂、银合金、铝合金、金合金或铂合金制备而成的靶坯。

2.根据权利要求1所述一种靶材焊接结构，其特征在于，所述定位部(12)为连续或不连续的凸台。

3.根据权利要求1所述一种靶材焊接结构，其特征在于，所述定位部(12)不低于0.5mm，以其所在的焊接面所在的平面为基准。

4.根据权利要求1所述一种靶材焊接结构，其特征在于，所述边缘支撑部(14)为连续或不连续的凸台。

5.根据权利要求1所述一种靶材焊接结构，其特征在于，所述边缘支撑部(14)较所述定位部(12)低0.5～3mm。

6.根据权利要求1所述一种靶材焊接结构，其特征在于，所述边缘支撑部(14)内侧的凹槽(16)为焊料容纳区，在其中填充焊料。