CN206607308U - 一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于辊道本体轴端部上以用于安装辊道本体的轴头、套设在轴头上的绝缘保护套。轴头与辊道本体之间设有绝缘层，轴头上加设的绝缘保护套后能够有效保护绝缘层，使得绝缘层不会被靶材溅射到，完全避免了辊道与轴头导通的可能性，使辊道和轴头之间保持绝缘状态，减少了废品率。同时由于绝缘保护套结构简单、维护成本低廉；清理更换保护套简单便捷，提高磁控溅射镀膜生产线的生产效率。

Description

一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道

技术领域

本实用新型涉及一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道。

背景技术

现有技术中，通常是在真空磁控溅射镀膜生产线上对玻璃产品进行镀膜处理。在该真空磁控溅射镀膜生产线上，腔室内辊道往往是直接设置于腔室内的，辊道右为接地状态，在真空磁控溅射镀膜过程中，辊道和玻璃直接接触，当玻璃表面积累的电荷过多后，玻璃膜面极易与地导通放电，造成膜面损坏，从而产生废品。

为了避免上述情况的发生，目前采用的技术是，在辊道本体和轴头之间添加一层绝缘层，使得辊道本体和轴头之间绝缘不导电，因而玻璃膜面也不会与地导通放电，以此来保护镀膜玻璃。但是由于辊道在真空磁控溅射的环境下长时间使用后，辊道本体、绝缘层、轴头的表面会被溅射到靶材，因为靶材通常为金属导电材料，过段时间就会使得辊道本体和轴头相导通，使得绝缘层失效。因此生产过程中需要定期将辊道拆下打磨，此过程耗时费力，维护成本较高，同时也影响生产效率。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的缺点，提供一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，能够有效避免绝靶材溅射至缘层上，保持轴头与辊道本体相绝缘。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于所述辊道本体轴端部上以用于安装所述辊道本体的轴头，所述辊道本体上开设有沿轴向贯穿的安装孔、位于所述辊道本体轴端部上的限位孔，其中所述限位孔的孔径大于所述安装孔的孔径；

所述轴头沿轴向依次包括安装轴部、限位轴部与连接轴部，其中所述安装轴部与所述限位轴部的外侧周部上均设有绝缘层，所述安装轴部配合地穿设在所述安装孔中，且所述限位轴部配合地设置在所述限位孔中，所述绝缘辊道还包括套设在所述连接轴部上的绝缘保护套，所述绝缘保护套具有与所述限位轴部相固定连接的连接套部、与所述连接轴部相配合套设的安装套部，所述连接套部的外侧周部与所述限位孔的周向孔壁相紧密贴合，且所述安装套部与所述连接轴部之间间隙设置。

优选地，所述辊道本体上，所述安装孔与所述限位孔之间形成环状的限位面，所述限位轴部的一侧端面抵挡在所述限位面上。

进一步地，所述安装轴部的外侧周部与所述安装孔的周向孔壁相紧密贴合。

进一步地，所述连接套部的轴端部紧密地抵挡在所述限位轴部上。

更进一步地，所述连接套部通过绝缘螺栓与所述限位轴部相固定连接。

进一步地，所述安装套部的内侧周壁与所述连接轴部的外侧周壁之间沿径向的间隙为1mm～3mm。

更进一步地，所述的间隙为2mm。

进一步地，所述绝缘保护套上，所述连接套部、所述连接轴部的壁厚相一致。

更进一步地，所述绝缘保护套为聚甲醛树脂保护套。

更进一步地，所述绝缘保护套由两个径向对称设置的两个半保护套沿径向拼接形成。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型提供的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，在辊道本体与轴头之间加设一个绝缘保护套，绝缘保护套将绝缘层遮盖住，使得绝缘层不会被靶材溅射到，从而能够使得辊道本体与轴头之间长期保持绝缘状态。

附图说明

附图1为本实用新型的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道截面示意图；

附图2为半个绝缘保护套的示意图。

其中：1、辊道本体；11、安装孔；12、限位孔；2、绝缘层；3、轴头；31、安装轴部；32、限位轴部；33、接轴部；4、绝缘保护套；41、连接套部；42、安装套部；43、台阶面；44、螺栓孔；5、螺栓；6、限位面。

具体实施方式

下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。

参见图1所示的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道截面示意图，示出了该绝缘辊道一轴端上各部件之间的安装配合结构。

该真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道包括辊道本体1、设于辊道本体1轴端部上以用于安装辊道本体1的轴头3。辊道本体1上开设有沿轴向贯穿的安装孔11、位于辊道本体1轴端部上的限位孔12。其中限位孔12的孔径大于安装孔11的孔径，安装孔11与限位孔12之间形成环状的限位面6。

轴头3沿轴向依次包括安装轴部31、限位轴部32与连接轴部33。安装轴部31配合地穿设在安装孔11中，优选地，安装轴部31的外侧周部与安装孔11的周向孔壁相紧密贴合；限位轴部32配合地设置在限位孔12中，限位轴部32的一侧端面抵挡在限位面6上，限位轴部32的外侧周部与限位孔12的周向孔壁相紧密贴合。同时，安装轴部31与限位轴部32的外侧周部上均设有绝缘层2，优选地，安装轴部31与安装孔11相接触的外侧轴部、限位轴部22与限位孔12相接触的外侧轴部、以及限位轴部32的两侧端面上均设有绝缘层2。

为了使绝缘层2不被靶材溅射到，绝缘辊道还包括套设在连接轴部33上的绝缘保护套4。绝缘保护套4具有与限位轴部32相固定连接的连接套部41、与连接轴部33相配合套设的安装套部42。其中，连接套部41的外侧周部与限位孔12的周向孔壁之间相紧密贴合，连接套部41的轴端部紧密地抵挡在限位轴部32上，此处，该连接套部41通过多个绝缘螺栓5固定在限位轴部32上；具体地，绝缘保护套4上，连接套部41与安装套部42之间形成台阶面43，该台阶面43上开设有多个螺栓孔44，通过螺栓5将连接套部41固定于限位轴部32上。

安装套部42的内侧周壁与连接轴部33的外侧周壁之间沿径向留有间隙，该间隙的开口背离辊道本体1，因而在磁控溅射的过程中不会被溅射物覆盖。上述的间隙值范围为1mm～3mm，优选地，当间隙距离为2mm时，效果最佳。

绝缘保护套4由绝缘材料制成，优选的材料为聚甲醛树脂，成形的该绝缘保护套4的各部分壁厚均是相一致的；而螺栓5此处则由绝缘材料之塑料制成。

具体设置时，绝缘保护套4可设置为一个整体套设于轴头3上，然后通过螺栓5固定于轴头3上。但为了便于绝缘保护套4安装与拆卸更换，也可将其设置为多个部分。如附图2所示，本实施例中，将绝缘保护套4设置为两个径向对称的半保护套，每个半保护套上均设有螺孔44。两个半保护套沿其径向可拼接成一个完整的绝缘保护套4，然后通过螺栓5固定于轴头3上。

综上，本实用新型提供的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其结构简单，在轴头3上加设绝缘保护套4后能够有效保护绝缘层，使得绝缘层不会被靶材溅射到，完全避免了辊道本体1与轴头3之间导通的可能性，使辊道本体1和轴头3之间保持绝缘状态，减少了废品率。同时由于绝缘保护套结构简单、维护成本低廉；清理更换保护套简单便捷，提高磁控溅射镀膜生产线的生产效率。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，包括辊道本体、设于所述辊道本体轴端部上以用于安装所述辊道本体的轴头，其特征在于：所述辊道本体上开设有沿轴向贯穿的安装孔、位于所述辊道本体轴端部上的限位孔，其中所述限位孔的孔径大于所述安装孔的孔径；

所述轴头沿轴向依次包括安装轴部、限位轴部与连接轴部，其中所述安装轴部与所述限位轴部的外侧周部上均设有绝缘层，所述安装轴部配合地穿设在所述安装孔中，且所述限位轴部配合地设置在所述限位孔中，所述绝缘辊道还包括套设在所述连接轴部上的绝缘保护套，所述绝缘保护套具有与所述限位轴部相固定连接的连接套部、与所述连接轴部相配合套设的安装套部，所述连接套部的外侧周部与所述限位孔的周向孔壁相紧密贴合，且所述安装套部与所述连接轴部之间间隙设置。

2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述辊道本体上，所述安装孔与所述限位孔之间形成环状的限位面，所述限位轴部的一侧端面抵挡在所述限位面上。

3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述安装轴部的外侧周部与所述安装孔的周向孔壁相紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述连接套部的轴端部紧密地抵挡在所述限位轴部上。

5.根据权利要求4所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述连接套部通过绝缘螺栓与所述限位轴部相固定连接。

6.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述安装套部的内侧周壁与所述连接轴部的外侧周壁之间沿径向的间隙为1mm～3mm。

7.根据权利要求6所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述的间隙为2mm。

8.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述绝缘保护套上，所述连接套部、所述连接轴部的壁厚相一致。

9.根据权利要求8所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述绝缘保护套为聚甲醛树脂保护套。

10.根据权利要求1至9任一所述的真空磁控溅射镀膜生产线中的绝缘辊道，其特征在于：所述绝缘保护套由两个径向对称设置的两个半保护套沿径向拼接形成。