CN206580740U - 气浮基台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种气浮基台，属于气浮基台技术领域。本实用新型的气浮基台包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置、第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；第一压力管道与基台主体中的压力管道气路连接；第一真空管道与基台主体中的真空管道连接；其特征在于，第二压力管道与基台主体中的压力管道连接；第二抽气装置与基台主体中的真空管道气路连接；第一压力管道和第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；第一真空管道和第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；第二吹气装置的功率大于第一吹气装置的功率；第二抽气装置的功率大于第一抽气装置的功率。

Description

气浮基台

技术领域

本实用新型属于气浮基台技术领域，具体涉及一种气浮基台。

背景技术

在进行FTE封装过程中，为了防止因基台表面不平整，在进行有机层涂布之后出现Mura不良，因此采用气浮基台(Floating Glass Stage)来对玻璃进行承接与控制，最大限度保证在进行工艺过程中1玻璃表面的平坦度满足要求。

结合图1和2所示，在气浮基台表面有很多小的气孔，这些气孔按照要求与下方的基台主体10中的真空管道12或是压力管道11相连接，使得基板在进行工艺时能够稳定地悬浮在基台表面。在进行工艺过程中，若是有机涂层溶液滴落到基台表面，会被与连接真空管道12的小孔吸入到真空管道中，同时也可能会堵塞连接压力管道11的小孔，因此可能会出现以下问题：当气浮基台表面的小孔被堵塞，会使正在进行工艺的玻璃基板受力不平衡，无法保证其表面的平坦度，在完成工艺之后容易出现Mura不良；若是有机溶液被连接真空管道12的小孔吸入到抽气装置内部，会对装置内部管路造成腐蚀，引起设备故障。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种气浮基台，用以解决现有技术中气浮基台被有机溶液堵塞后影响工艺的问题和有机溶液进入设备内部后对设备的影响问题，以及现有技术判断气孔堵塞效率低下的问题。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，

所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；

所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；

所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；

所述第二吹气装置的功率大于所述第一吹气装置的功率；所述第二抽气装置的功率大于所述第一抽气装置的功率。

优选的是，所述气浮基台还包括第一连接件、第二连接件、第一控制阀和第二控制阀；其中，

所述第一连接件的第一端与所述基台主体中的压力管道气路连接，第二端与所述第一控制阀的第三端连接；所述第一控制阀的第一端连接所述第一压力管道，第二端连接所述第二压力管道；

所述第二连接件的第一端与所述基台主体中的真空管道气路连接，第二端与所述第二控制阀的第三端连接；所述第二控制阀的第一端连接所述第一真空管道，第二端连接所述第二真空管道。

进一步优选的是，所述第一控制阀和第二控制阀均为三通电磁阀。

进一步优选的是，所述气浮基台还包括基台管路连接单元，其中，

所述基台管路连接单元一端与所述第一连接件和所述第二连接件连接，另一端气路连接所述基台主体中的压力管道和真空管道，所述基台管路连接单元用于将所述第一连接件与所述压力管道气路连接，以及将所述第二连接件与所述真空管道气路连接。

优选的是，所述气浮基台还包括用于阻挡液体的第一阻隔物和第二阻隔物，其中，

所述第一阻隔物设置在所述第一真空管道中；

所述第二阻隔物设置在所述第二真空管道中。

进一步优选的是，所述气浮基台还包括水槽；其中，

所述水槽设置在第二真空管道中，所述第二阻隔物设置在所述水槽与所述第二抽气装置之间。

优选的是，所述第一压力检测器件设置在所述第二压力管道中。

优选的是，所述第二压力检测器件设置在所述第二真空管道中。

优选的是，所述第一吹气装置和所述第二吹气装置均包括压力气体源。

优选的是，所述第一抽气装置和所述第二抽气装置均包括真空泵。

本实用新型具有如下有益效果：

由于本实用新型的气浮基台增加了第二压力管道和第二真空管道，以及与第二压力管道连接的第二吹气装置和与第二真空管道连接的第二抽气装置，当在第二压力管道设置有第一压力检测器件，在第二真空管道中设置有第二压力检测器件时，可以在气浮基台承载基板之前，通过第一吹气装置给第一压力管道鼓气，并通过第一压力检测装置检测此时第二压力管道中的压力，若此时的压力值大于正常的压力值，则说明基台主体中的压力管道堵塞，否则正常，而由于第二吹气装置的功率大于第一吹气装置的功率，此时可以通过第二吹气装置吹气至第二压力管道，再将气体吹至基台主体中的压力管道将该压力管道中的堵塞物吹出；同理，通过第二压力检测器件检测第二抽气单元抽气时第二真空压力管道中的压力，当该压力值大于正常值时，则说明基台主体中的真空管道堵塞，否则正常，而由于第二抽气装置的功率大于第一抽气装置的功率，此时可以通过第二抽气装置对基台主体中的真空管道吸气，将其中的堵塞物吸出。

同理，当第一压力检测器件设置在第一压力管道中，第二压力检测器件设置在第一真空管道中。此时按照上述的方法检测第一压力管道中的压力和第一真空管道中的压力，以判断基台主体中的压力管道和真空管道是否存在堵塞的问题，若存在，由于第二吹气装置的功率大于第一吹气装置的功率；第二抽气装置的功率大于第一抽气装置的功率，故可以通过第二吹气装置将基台主体中的压力管道中的堵塞物吹出，通过第二抽气装置将基台主体中的真空管道中的堵塞物抽出。

附图说明

图1为现有的气浮基台的侧视图；

图2为现有的气浮基台的剖视图；

图3为本实用新型的实施例1的气浮基台的结构示意图。

其中附图标记为：10、基台主体；11、基台主体中的压力管道；12、基台主体中的真空管道；21、第一吹气装置；22、第二吹气装置；23、第一压力管道；24、第二压力管道；31、第一抽气装置；32、第二抽气装置；33、第一真空管道；34、第二真空管道；41、第一压力检测器件；42、第二压力检测器件；51、第一连接件；52、第二连接件；61、第一控制阀；62、第二控制阀；71、第一阻隔物；72、第二阻隔物；73、水槽；80、基台管路连接单元。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1：

如图3所示，本实施例提供一种气浮基台，包括基台主体10、第一真空管道33、第一压力管道23、第一吹气装置21、第一抽气装置31、第二真空管道34、第二压力管道24、第二吹气装置22、第二抽气装置32；其中，第一吹气装置21通过第一压力管道23与基台主体中的压力管道11气路连接；第一抽气装置31通过第一真空管道33与基台主体中的真空管道12气路连接；第二吹气装置22通过第二压力管道24与基台主体压力管道11气路连接；第二抽气装置32通过第二抽气装置32与基台主体上的真空管道12气路连接；第一压力管道23和第二压力管道24中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件41；第一真空管道33和第二真空管道34中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件42；第二吹气装置22的功率大于第一吹气装置21的功率；第二抽气装置32的功率大于第一抽气装置31的功率。

在此需要说明的是，上述的基台主体中的真空管道12和压力管道11是与基台主体10上的气孔连通的，其中每一个真空管道12对应基台主体10上的多个气孔，每一个压力管道11同样对应基台主体10上的多个气孔，且真空管道12和压力管道11交替设置。此时，压力管道11则通过与其连接第一压力管道23和第二压力管道24向基台主体10上的气孔吹气；真空管道12则通过与其连接管道气路连接第一真空管道33和第二真空管道34对基台主体10上的气孔进行抽气。

在本实施例的第一压力管道23和第二压力管道24的至少一者中设置第一压力检测器件41，在第一真空管道33和第二真空管道34中的至少一者中设置第二压力检测器件42，由于第二抽气装置32和第二吹起装置的功率较大，为了便于压力值的检测，优选的将第一压力检测器件41设置在第二压力管道24中，第二压力检测器件42设置在第二真空管道34中。

以下以第一压力检测器件41设置在第二压力管道24中，第二压力检测器件42设置在第二真空管道34中为例对本实施例的气浮基台进行说明。

本实施例中的气浮基台，由于增加了第二压力管道24和第二真空管道34，以及与第二压力管道24连接的第二吹气装置22和与第二真空管道34连接的第二抽气装置32，且在第二压力管道24设置有第一压力检测器件41，在第二真空管道34中设置有第二压力检测器件42，因此，可以在气浮基台承载基板之前，通过第一吹气装置21给第一压力管道23鼓气，并通过第一压力检测装置检测此时第二压力管道24中的压力，若此时的压力值大于正常的压力值(也即第一吹气装置21在基台主体中的压力管道11不堵塞的情况下，第二压力管道24中的压力值)，则说明基台主体中的压力管道11堵塞，否则正常，而由于第二吹气装置22的功率大于第一吹气装置21的功率，此时可以通过第二吹气装置22吹气至第二压力管道24，再将气体吹至基台主体中的压力管道11将该压力管道11中的堵塞物吹出；同理，通过第二压力检测器件42检测第二抽气单元抽气时第二真空压力管道中的压力，当该压力值大于正常值(也即第一抽气装置31在基台主体中的真空管道12不堵塞的情况下，第二真空管道34中的压力值)时，则说明基台主体中的真空管道12堵塞，否则正常，而由于第二抽气装置32的功率大于第一抽气装置31的功率，此时可以通过第二抽气装置32对基台主体中的真空管道12吸气，将其中的堵塞物吸出。

当然，第一压力检测器件41是可以设置在第一压力管道23中，第二压力检测器件42设置在第一真空管道33中。此时按照上述的方法检测第一压力管道23中的压力和第一真空管道33中的压力，以判断基台主体中的压力管道11和真空管道12是否存在堵塞的问题，若存在，由于第二吹气装置22的功率大于第一吹气装置21的功率；第二抽气装置32的功率大于第一抽气装置31的功率，故可以通过第二吹气装置22将基台主体中的压力管道11中的堵塞物吹出，通过第二抽气装置32将基台主体中的真空管道12中的堵塞物抽出。

同理，可以在第一压力管道21和第二压力管道22中均设置第一压力检测器件41；在第一真空管道31和第二真空管道32中均设置第二压力检测器件42。检测方法与上述方法相同，在此不再详细描述。

其中，本实施例中的气浮基台还包括第一连接件51、第二连接件52、第一控制阀61和第二控制阀62；其中，第一连接件51的第一端与基台主体中的各个压力管道11气路连接，第二端与第一控制阀61的第三端连接；第一控制阀61的第一端连接第一压力管道23，第二端连接第二压力管道24；第二连接件52的第一端与基台主体中的各个真空管道12气路连接，第二端与第二控制阀62的第三端连接；第二控制阀62的第一端连接第一真空管道33，第二端连接第二真空管道34。

由于第一控制阀61和第二控制阀62的设置，因此可以在第一压力检测器件41检测出基台主体上压力管道11堵塞时，通过第一控制阀61控制第二压力管道24与第一连接件51连通，以使得第二吹气装置22所吹出的气体将压力管道11中的堵塞物吹出，之后第一控制阀61控制第一压力管道23与第一连接件51连通，以使第一吹气装置21工作后，将基台主体上的基板吹起；同理，可以在第二压力检测器件42检测出基台主体中的真空管道12堵塞时，通过第二控制阀62控制第二真空管道34与第二连接件52连通，以使得第二抽气装置32对真空管道12抽气将其中的堵塞物抽出，之后第二控制阀62控制第一真空管道33与第二连接件52连通，以使第一抽气装置31工作后，将基台主体上的基板乡下吸，以使基板保持平衡。

优选的，第一控制阀61和第二控制阀62均为三通电磁阀。当然，只要是三通阀门即可。

进一步的，本实施例中的气浮基台还可以包括基台管路连接单元80，其中，基台管路连接单元80一端与第一连接件51和第二连接件52连接，另一端气路连接基台主体中的压力管道11和真空管道12，基台管路连接单元用于将第一连接件51与压力管道11气路连接，以及将第二连接件52与真空管道12气路连接。

其中，本实施例中的气浮基台还可以包括还用于阻挡液体的第一阻隔物71和第二阻隔物72，其中，第一阻隔物71设置在第一真空管道33中；第二阻隔物72设置在第二真空管道34中。

之所以设置第一阻隔物71和第二阻隔物72是因为，通过气浮基台是用于有机溶液的涂覆过程中的，因此基台主体中的真空管道12在被抽气的过程中，很容易导有机溶液被抽入其中，直至进入第一真空管道33和第二真空管中，若不设置第一阻隔物71和第二阻隔物72则会导致有机溶液进入第一抽气装置31和第二抽气装置32中，造成设备的损坏，而本实施例由于设置了第一阻隔物71和第二阻隔，从而可以避免上述问题的发生。

进一步的，在第二真空管道34中还设置有水槽73，第二阻隔物72设置在水槽73与所述第二抽气装置32之间。此时，基台主体中的真空管道12在被抽气的过程中，有机溶液被抽入其中的液体，此时可以流入至水槽73中，而该水槽73与第二真空管道34采用可拆卸连接的方式，故可以随时将水槽73中的液体倒出。

其中，上述的第一吹气装置21和第二吹气装置22均包括压力气体源。上述的第一抽气装置31和所述第二抽气装置32均包括真空泵。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；其特征在于，所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，

所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；

所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；

所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；

所述第二吹气装置的功率大于所述第一吹气装置的功率；所述第二抽气装置的功率大于所述第一抽气装置的功率。

2.根据权利要求1所述的气浮基台，其特征在于，还包括第一连接件、第二连接件、第一控制阀和第二控制阀；其中，

所述第一连接件的第一端与所述基台主体中的压力管道气路连接，第二端与所述第一控制阀的第三端连接；所述第一控制阀的第一端连接所述第一压力管道，第二端连接所述第二压力管道；

所述第二连接件的第一端与所述基台主体中的真空管道气路连接，第二端与所述第二控制阀的第三端连接；所述第二控制阀的第一端连接所述第一真空管道，第二端连接所述第二真空管道。

3.根据权利要求2所述的气浮基台，其特征在于，所述第一控制阀和第二控制阀均为三通电磁阀。

4.根据权利要求2所述的气浮基台，其特征在于，还包括基台管路连接单元，其中，

所述基台管路连接单元一端与所述第一连接件和所述第二连接件连接，另一端气路连接所述基台主体中的压力管道和真空管道，所述基台管路连接单元用于将所述第一连接件与所述压力管道气路连接，以及将所述第二连接件与所述真空管道气路连接。

5.根据权利要求1所述的气浮基台，其特征在于，还包括用于阻挡液体的第一阻隔物和第二阻隔物，其中，

所述第一阻隔物设置在所述第一真空管道中；

所述第二阻隔物设置在所述第二真空管道中。

6.根据权利要求5所述的气浮基台，其特征在于，还包括水槽；其中，

所述水槽设置在第二真空管道中，所述第二阻隔物设置在所述水槽与所述第二抽气装置之间。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第一压力检测器件设置在所述第二压力管道中。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第二压力检测器件设置在所述第二真空管道中。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第一吹气装置和所述第二吹气装置均包括压力气体源。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第一抽气装置和所述第二抽气装置均包括真空泵。