CN107655788B - 一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统、正压进气测量装置和负压抽气测量装置。所述气浮系统由底板、节流板以及面板装贴合在一起组合而成。所述节流板上设置有若干对正压进气节流通道和负压出气节流通道，所述正压进气测量装置和负压抽气测量装置分别对正压进气节流通道和负压出气节流通道进行检测。本发明通过正压进气测量装置和负压抽气测量装置准确测量出节流板的节流参数，筛选出合格的节流板，提高玻璃基板检测的良品率；本发明对气浮系统的使用以及节流板的制造都有一定的指导意义。
Description
技术领域
本发明属于玻璃基板技术领域，具体地说，它涉及一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置。
背景技术
气浮系统是玻璃基板检测线上的的传送装置，气浮系统上的工作台用于放置玻璃基板，所述工作台包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层和出气层，所述进气层和出气层使得工作台与玻璃基板之间形成稳定的气膜，所述气膜支撑玻璃基板，避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触，从而防止造成划伤和污染，进而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。
所述气浮系统的工作台主要由底板、节流板和面板组成。所述节流板的节流参数对气浮系统承载性能的影响程度直接决定着整个工作台的精密程度，而漏气性是考察节流参数的重要指标之一，它与节流板节流程度息息相关。由于同一批生产的节流板会存在节流参数参差不齐的现象，这就使得在同一个气浮系统中不同的节流孔流速有很大差异，进而影响玻璃基板检测的良品率。
发明内容
为了准确测量出节流板的节流参数，提高玻璃基板检测的良品率，本发明提出了一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置。
一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统1和玻璃基板14，所述气浮系统1设有节流板11、底板12和面板13，所述节流板11为水平布置的长方形板，节流板11上方贴合面板13，节流板11下方贴合底板12。所述节流板11设有孔距为20～30mm相间排列的若干对正压进气节流通道111和负压出气节流通道112。所述底板12设有正压进气口121和负压抽气口122，且正压进气口121与正压进气节流通道 111相对应，负压抽气口122与通道112相对应。所述面板13设有分别对应与正压进气节流通道111和负压出气节流通道112的正压出气孔131、负压进气孔132。
所述气浮系统1工作时，玻璃基板14水平放置于面板13的上方，正压进气口121接通压缩空气，负压抽气口122连接负压吸气装置，玻璃基板14与面板13之间形成气膜，所述气膜将玻璃基板14悬浮在面板13的上方。
所述正压出气孔131上连接正压进气测量装置2，负压进气孔132上连接负压抽气测量装置3。所述正压进气测量装置2设有正压浮子装置28，所述正压浮子装置28包括正压锥孔管281和正压浮子282。所述负压抽气测量装置3设有负压浮子装置35，所述负压浮子装置35包括负压锥孔管351和负压浮子352。
对测节流板11检测时，正压进气口121接通压缩空气，负压抽气口122连接负压吸气装置，观察正压浮子282在正压锥孔管281中的悬浮位置，观察负压浮子352在负压锥孔管351中的悬浮位置，可以分别判定正压进气节流通道111和负压出气节流通道112 是否存在漏气，根据检测出的漏气通道数量计算出漏气通道数量占通道总数的比值，并通过所述比值判定被测节流板11的节流参数是否在合格状态。
进一步限定的技术方案如下：
所述正压进气测量装置2包括正压进气管和流量计支架，所述正压进气管包括正压孔接头21、正压导气管22和正压管接头23，所述正压导气管22的两端分别连接正压孔接头21和正压管接头23。所述流量计支架设有平行布置的固定板24和支撑板27，固定板24位于支撑板27的上方，固定板24与支撑板27由两根双头螺杆26连接，并分别用螺母25锁紧。所述固定板24中心设有台阶孔，所述台阶孔的上侧连接正压管接头23，台阶孔的下侧与正压锥孔管281的大孔端连接，所述正压孔接头21与正压出气孔131 连接。
所述负压抽气测量装置3包括负压进气管和底座34，所述负压进气管包括负压孔接头 31、负压导气管32和负压管接头33，所述负压导气管32的两端分别连接负压孔接头31和负压管接头33。所述底座34中心设有竖直盲孔与水平孔相贯通的连通孔341，所述竖直盲孔上侧与负压锥孔管351的小孔端连接，所述水平孔的外侧与负压管接头33 连接，所述负压孔接头31与负压进气孔132连接。
所述正压锥孔管281为透明玻璃材料制作，正压锥孔管281轴向中心为圆锥体孔，正压锥孔管281的外圆设设有正压刻度尺283，安装时，圆锥体孔的小孔端位于下侧，正压浮子282为圆锥体，正压浮子282的大头向上放置于正压锥孔管281的圆锥体孔中，正压浮子282的悬浮位置从正压刻度尺283上读出。
所述负压锥孔管351为透明玻璃材料制作，负压锥孔管351轴向中心为圆锥体孔，负压锥孔管351的外圆设设有负压刻度尺353，安装时，圆锥体孔的小孔端位于下侧，负压浮子352为圆锥体，负压浮子352的大头向上放置于负压锥孔管351的圆锥体孔中，负压浮子352的悬浮位置从负压刻度尺353上读出。
所述节流板11上的正压进气节流通道111不漏气时，正压浮子282悬浮在特定位置上，当正压浮子282向下偏离特定位置，且偏离值<50mm时，判定正压进气节流通道111为不漏气合格通道，偏离值>50mm时，判定正压进气节流通道111为漏气不合格通道。所述节流板11上的负压出气节流通道112不漏气时，负压浮子352悬浮在特定位置上，当负压浮子352向下偏离特定位置，且偏离值<50mm时，判定负压出气节流通道112为不漏气合格通道，偏离值>50mm时，判定负压出气节流通道112为漏气不合格通道。所述正压进气节流通道111和负压出气节流通道112被检测出漏气不合格通道的数量占总数量的比值<20％时，判定节流板11的节流参数为合格状态，被检测出漏气不合格通道的数量占总数量的比值>20％时，判定节流板11的节流参数为不合格状态。
本发明的有益技术效果是：
(1)本发明通过正压进气测量装置和负压抽气测量装置准确测量出节流板的节流参数，筛选出合格的节流板，提高玻璃基板检测的良品率。
(2)通过本发明的检测方式，对气浮系统的使用以及节流板的制造都有一定的指导意义。
(3)本发明结构简单，成本低，易于操作和推广应用。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明气浮系统的原理示意图。
图3为本发明正压进气测量装置结构示意图。
图4为本发明正压浮子装置结构示意图。
图5为本发明负压抽气测量装置结构示意图。
图6为本发明负压浮子装置结构示意图。
上图中序号：气浮系统1、节流板11、正压进气节流通道111、负压出气节流通道112、底板12、正压进气口121、负压抽气口122、面板13、正压出气孔131、负压进气孔 132、玻璃基板14；
正压进气测量装置2、正压孔接头21、正压导气管22、正压管接头23、固定板24、螺母25、双头螺杆26、支撑板27、正压浮子装置28、正压锥孔管281、正压浮子282、正压刻度尺283；
负压抽气测量装置3、负压孔接头31、负压导气管32、负压管接头33、底座34、连通孔341、负压浮子装置35、负压锥孔管351、负压浮子352、负压刻度尺353。
具体实施方法
下面结合附图，通过实施例对本发明作进一步说明。
实施例
参见图1
参见图1，一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统1、正压进气测量装置2和负压抽气测量装置3。正压进气测量装置2位于气浮系统1的左侧，负压抽气测量装置3位于气浮系统1的右侧。
参见图2，所述气浮系统1设有节流板11、底板12和面板13，所述节流板11为水平布置的长方形板，节流板11上方贴合面板13，节流板11下方贴合底板12。所述节流板 11设有孔距为25mm相间排列的若干对正压进气节流通道111和负压出气节流通道112。所述底板12设有正压进气口121和负压抽气口122，且正压进气口121与正压进气节流通道111相对应，负压抽气口122与通道112相对应。所述面板13设有分别对应与正压进气节流通道111和负压出气节流通道112的正压出气孔131、负压进气孔132。
所述气浮系统1工作时，玻璃基板14水平放置于面板13的上方，正压进气口121接通压缩空气，负压抽气口122连接负压吸气装置，玻璃基板14与面板13之间形成气膜，所述气膜将玻璃基板14悬浮在面板13的上方。
参见图3和图4，所述正压进气测量装置2包括正压进气管、流量计支架和正压浮子装置28。所述正压浮子装置28包括正压锥孔管281、正压浮子282和正压刻度尺283。所述正压进气管包括正压孔接头21、正压导气管22和正压管接头23，所述正压导气管22 的两端分别连接正压孔接头21和正压管接头23。所述流量计支架设有平行布置的固定板24和支撑板27，固定板24位于支撑板27的上方，固定板24与支撑板27由两根双头螺杆26连接，并分别用螺母25锁紧。所述固定板24中心设有台阶孔，所述台阶孔的上侧连接正压管接头23，台阶孔的下侧与正压锥孔管281的大孔端连接，所述正压孔接头21与正压出气孔131连接。所述正压锥孔管281为透明玻璃材料制作，正压锥孔管281轴向中心为圆锥体孔，正压锥孔管281的外圆设设有正压刻度尺283，安装时，圆锥体孔的小孔端位于下侧，正压浮子282为圆锥体，正压浮子282的大头向上放置于正压锥孔管281的圆锥体孔中，正压浮子282的悬浮位置从正压刻度尺283上读出。参见图5和图6，所述负压抽气测量装置3包括负压进气管和底座34和负压浮子装置35。所述负压浮子装置35包括负压锥孔管351和负压浮子352和负压刻度尺353。所述负压进气管包括负压孔接头31、负压导气管32和负压管接头33，所述负压导气管32 的两端分别连接负压孔接头31和负压管接头33。所述底座34中心设有竖直盲孔与水平孔相贯通的连通孔341，所述竖直盲孔上侧与负压锥孔管351的小孔端连接，所述水平孔的外侧与负压管接头33连接，所述负压孔接头31与负压进气孔132连接。所述负压锥孔管351为透明玻璃材料制作，负压锥孔管351轴向中心为圆锥体孔，负压锥孔管351 的外圆设设有负压刻度尺353，安装时，圆锥体孔的小孔端位于下侧，负压浮子352为圆锥体，负压浮子352的大头向上放置于负压锥孔管351的圆锥体孔中，负压浮子352 的悬浮位置从负压刻度尺353上读出。
对测节流板11检测时，正压进气口121接通压缩空气，负压抽气口122连接负压吸气装置时，观察正压浮子282在正压锥孔管281中的悬浮位置，观察负压浮子352在负压锥孔管351中的悬浮位置。所述节流板11上的正压进气节流通道111不漏气时，正压浮子282悬浮在特定位置上，当正压浮子282向下偏离特定位置，且偏离值<50mm时，判定正压进气节流通道111为不漏气合格通道，偏离值>50mm时，判定正压进气节流通道111为漏气不合格通道。所述节流板11上的负压出气节流通道112不漏气时，负压浮子352悬浮在特定位置上，当负压浮子352向下偏离特定位置，且偏离值<50mm时，判定负压出气节流通道112为不漏气合格通道，偏离值>50mm时，判定负压出气节流通道112为漏气不合格通道。
所述正压进气节流通道111和负压出气节流通道112被检测出漏气不合格通道的数量占总数量的比值<20％时，判定节流板11的节流参数为合格状态，被检测出漏气不合格通道的数量占总数量的比值>20％时，判定节流板11的节流参数为不合格状态。
以上内容并非对本发明的结构、形状作任何形式上的限制。凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (8)
1.一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统(1)和玻璃基板(14)，所述气浮系统(1)设有节流板(11)、底板(12)和面板(13)，所述节流板(11)为水平布置的长方形板，节流板(11)上方贴合面板(13)，节流板(11)下方贴合底板(12)；所述节流板(11)设有孔距为20～30mm相间排列的若干对正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)；所述底板(12)设有正压进气口(121)和负压抽气口(122)，且正压进气口(121)与正压进气节流通道(111)相对应，负压抽气口(122)与负压出气节流通道(112)相对应；所述面板(13)设有分别对应与正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)的正压出气孔(131)、负压进气孔(132)；
所述气浮系统(1)工作时，玻璃基板(14)水平放置于面板(13)的上方，正压进气口(121)接通压缩空气，负压抽气口(122)连接负压吸气装置，玻璃基板(14)与面板(13)之间形成气膜，所述气膜将玻璃基板(14)悬浮在面板(13)的上方；
其特征在于：所述正压出气孔(131)上连接正压进气测量装置(2)，负压进气孔(132)上连接负压抽气测量装置(3)；所述正压进气测量装置(2)设有正压浮子装置(28)，所述正压浮子装置(28)包括正压锥孔管(281)和正压浮子(282)；所述负压抽气测量装置(3)设有负压浮子装置(35)，所述负压浮子装置(35)包括负压锥孔管(351)和负压浮子(352)；对节流板(11)检测时，正压进气口(121)接通压缩空气，负压抽气口(122)连接负压吸气装置，观察正压浮子(282)在正压锥孔管(281)中的悬浮位置，观察负压浮子(352)在负压锥孔管(351)中的悬浮位置，可以分别判定正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)是否存在漏气，根据检测出的漏气通道数量计算出漏气通道数量占通道总数的比值，并通过所述比值判定被测节流板(11)的节流参数是否在合格状态。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述正压进气测量装置(2)包括正压进气管和流量计支架，所述正压进气管包括正压孔接头(21)、正压导气管(22)和正压管接头(23)，所述正压导气管(22)的两端分别连接正压孔接头(21)和正压管接头(23)；所述流量计支架设有平行布置的固定板(24)和支撑板(27)，固定板(24)位于支撑板(27)的上方，固定板(24)与支撑板(27)由两根双头螺杆(26)连接，并分别用螺母(25)锁紧；所述固定板(24)中心设有台阶孔，所述台阶孔的上侧连接正压管接头(23)，台阶孔的下侧与正压锥孔管(281)的大孔端连接，所述正压孔接头(21)与正压出气孔(131)连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述负压抽气测量装置(3)包括负压进气管和底座(34)，所述负压进气管包括负压孔接头(31)、负压导气管(32)和负压管接头(33)，所述负压导气管(32)的两端分别连接负压孔接头(31)和负压管接头(33)；所述底座(34)中心设有竖直盲孔与水平孔相贯通的连通孔(341)，所述竖直盲孔上侧与负压锥孔管(351)的小孔端连接，所述水平孔的外侧与负压管接头(33)连接，所述负压孔接头(31)与负压进气孔(132)连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述正压锥孔管(281)为透明玻璃材料制作，正压锥孔管(281)轴向中心为圆锥体孔，正压锥孔管(281)的外圆设有正压刻度尺(283)，安装时，圆锥体孔的小孔端位于下侧，正压浮子(282)为圆锥体，正压浮子(282)的大头向上放置于正压锥孔管(281)的圆锥体孔中，正压浮子(282)的悬浮位置从正压刻度尺(283)上读出。
5.根据权利要求1所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述负压锥孔管(351)为透明玻璃材料制作，负压锥孔管(351)轴向中心为圆锥体孔，负压锥孔管(351)的外圆设有负压刻度尺(353)，安装时，圆锥体孔的小孔端位于下侧，负压浮子(352)为圆锥体，负压浮子(352)的大头向上放置于负压锥孔管(351)的圆锥体孔中，负压浮子(352)的悬浮位置从负压刻度尺(353)上读出。
6.根据权利要求4所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述节流板(11)上的正压进气节流通道(111)不漏气时，正压浮子(282)悬浮在特定位置上，当正压浮子(282)向下偏离特定位置，且偏离值<50mm时，判定正压进气节流通道(111)为不漏气合格通道，偏离值>50mm时，判定正压进气节流通道(111)为漏气不合格通道。
7.根据权利要求5所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述节流板(11)上的负压出气节流通道(112)不漏气时，负压浮子(352)悬浮在特定位置上，当负压浮子(352)向下偏离特定位置，且偏离值<50mm时，判定负压出气节流通道(112)为不漏气合格通道，偏离值>50mm时，判定负压出气节流通道(112)为漏气不合格通道。
8.根据权利要求1所述的一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，其特征在于：所述正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)被检测出漏气不合格通道的数量占总数量的比值<20％时，判定节流板(11)的节流参数为合格状态，被检测出漏气不合格通道的数量占总数量的比值>20％时，判定节流板(11)的节流参数为不合格状态。
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2017
- 2017-11-16 CN CN201711139097.4A patent/CN107655788B/zh active Active
Patent Citations (4)
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