CN206538471U - 一种一体化真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种一体化真空镀膜机，包括真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵以及电气柜，其特征在于：包括四方形框架，该方形框架包括底架及顶架，底架上从左至右顺序安装有真空室体、扩散泵、机械泵以及电气柜，所述真空室体通过真空阀门连接扩散泵，所述顶架上焊有垂直于顶架的侧架，所述侧架上安装有罗茨泵，且罗茨泵位于机械泵上方，且所述罗茨泵的排气口与机械泵的入气口正对并通过竖直的金属管连接，所述罗茨泵的进气管与真空阀门和扩散泵的排气管连接，所述真空室体的半圆球形门位于框架的左外侧。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空设备，特别是一种一体化真空镀膜机。
背景技术
利用真空蒸发技术在工件表面镀保护膜的技术，已经成熟应用于工业生产。现有的真空镀膜机在安装运输时，均是把镀膜机拆成很多个部分，打包运输，到现场后又全部拆开，再连接起来，各个部件不仅分散而且管道弯曲行程长，不仅耗时耗力，大大增加了人力的消耗及影响了工作的连续性，而且占用场地大，导致工作效率降低、综合成本高。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种一体化真空镀膜机。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种一体化真空镀膜机，包括真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵以及电气柜，其特征在于：包括四方形框架，该方形框架包括底架及顶架，底架上从左至右顺序安装有真空室体、扩散泵、机械泵以及电气柜，所述真空室体通过真空阀门连接扩散泵，所述顶架上焊有垂直于顶架的侧架，所述侧架上安装有罗茨泵，且罗茨泵位于机械泵上方，且所述罗茨泵的排气口与机械泵的入气口正对并通过竖直的金属管连接，所述罗茨泵的进气管与真空阀门和扩散泵的排气管连接，所述真空室体的半圆球形门位于框架的左外侧。
所述电气柜内设有报警指示灯和紧急停止开关。
所述扩散泵、罗茨泵、机械泵均通过螺钉安装于焊于方形框架上的安装板上。
所述进气管平行于顶架上方设置，所述排气管位于扩散泵与罗茨泵间且垂直于进气管。
本实用新型的有益效果是：该真空镀膜机采用方形框架结构，使得设备内零散的结构成为一个立体的整体，如此，不仅解决了运输时的不便，并且在机器要搬离及挪动时，免去了繁重的拆装工作，大大提高了工作效率，而且占用空间小，真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵间的连接管道能够实现最短化，从而也大大节约了成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的正视图；
图2是本实用新型的侧视图。
具体实施方式
参照图1、图2，本实用新型公开了一种一体化真空镀膜机，包括真空室体1、扩散泵2、罗茨泵3、机械泵4以及电气柜5，包括四方形框架6，该方形框架6包括底架61及顶架62，底架61上从左至右顺序安装有真空室体1、扩散泵2、机械泵4以及电气柜5，所述真空室体1通过真空阀门(图中未显示出)连接扩散泵2，所述顶架62上焊有垂直于顶架62的侧架63，所述侧架63上安装有罗茨泵3，且罗茨泵3位于机械泵4上方，且所述罗茨泵3的排气口与机械泵4的入气口正对并通过竖直的金属管连接，所述罗茨泵3的进气管与真空阀门和扩散泵2的排气管连接，所述真空室体1的半圆球形门位于框架6的左外侧，所述进气管平行于顶架62上方设置，所述排气管位于扩散泵2与罗茨泵3间且垂直于进气管，上述结构的设计均是为了实现立体式一体化结构，这样不仅在搬离及挪动时方便，而且占用空间最小，且管道间能够实现规范排布，不仅美观而且距离最短，节约成本。
所述真空室体1与罗茨泵3和扩散泵2间的通断均通过该真空阀门控制，通过上述结构能够实现低真空和高真空要求间的切换，当真空阀门切断扩散泵2与真空室体1间的连通时，而导通真空室体1与罗茨泵3间的连通时，扩散泵2不工作，本设备为低真空要求状态；真空室体1通过罗茨泵3和机械泵4顺序抽气；当所述真空阀门开启时，本设备为高真空要求状态，真空室体1通过罗茨泵3、机械泵4及扩散泵2抽气。
所述电气柜5内设有报警指示灯和紧急停止开关。
所述扩散泵2、罗茨泵3、机械泵4均通过螺钉安装于焊于方形框架6上的安装板上，便于上述泵体的安装。且真空阀门、扩散泵2、罗茨泵3、机械泵4均为现有技术制造，因而具体结构不详述。
以上对本实用新型实施例所提供的一种一体化真空镀膜机，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (4)
1.一种一体化真空镀膜机，包括真空室体、扩散泵、罗茨泵、机械泵以及电气柜，其特征在于：包括四方形框架，该方形框架包括底架及顶架，底架上从左至右顺序安装有真空室体、扩散泵、机械泵以及电气柜，所述真空室体通过真空阀门连接扩散泵，所述顶架上焊有垂直于顶架的侧架，所述侧架上安装有罗茨泵，且罗茨泵位于机械泵上方，且所述罗茨泵的排气口与机械泵的入气口正对并通过竖直的金属管连接，所述罗茨泵的进气管与真空阀门和扩散泵的排气管连接，所述真空室体的半圆球形门位于框架的左外侧。
2.根据权利要求1所述的一种一体化真空镀膜机，其特征在于：所述电气柜内设有报警指示灯和紧急停止开关。
3.根据权利要求1所述的一种一体化真空镀膜机，其特征在于：所述扩散泵、罗茨泵、机械泵均通过螺钉安装于焊于方形框架上的安装板上。
4.根据权利要求1所述的一种一体化真空镀膜机，其特征在于：所述进气管平行于顶架上方设置，所述排气管位于扩散泵与罗茨泵间且垂直于进气管。
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| CN109930128A (zh) * | 2019-03-11 | 2019-06-25 | 赵晓莉 | 一种真空镀膜机 |
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Cited By (2)
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| CN109930128B (zh) * | 2019-03-11 | 2020-12-22 | 南阳清水科技有限公司 | 一种真空镀膜机 |
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