CN206508660U - 电镀系统药水在线净化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电镀系统药水在线净化装置,其包括:电镀池,计量泵,加热器,一级过滤器,二级过滤器,三级过滤器,以及对三级过滤器过滤的药水进行冷却处理的冷凝器。计量泵的进液口与电镀池的出液口连通,计量泵的出液口与加热器的进液口连通;加热器的出液口与一级过滤器的进液口连通,一级过滤器的出液口与二级过滤器的进液口连通;二级过滤器的出液口与三级过滤器的进液口连通,三级过滤器的出液口经冷凝器与电镀池的进液口连通;一级过滤器的出液口、二级过滤器的出液口、三级过滤器的出液口均与蒸汽或氮气输出装置的输出口连通;一级过滤器、二级过滤器及三级过滤器均设有排污口。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀技术领域,尤其涉及一种电镀系统药水在线净化装置。
背景技术
在PCB板的制备过程中,电镀是在电镀槽通过电镀药水在基板的表面、孔壁上形成所需厚度的金属层,使经过钻孔的电路板实现孔金属化,而在此过程中会产生细小的金属颗粒,同时化工药液在使用过程中发生的副反应会产生有机杂质和污染物,导致电镀药液中有机碳含量持续升高,会极大影响电路板的良率和镀层的性能。因此,电镀过程中对药液的净化处理尤为重要。目前采用的净化过滤装置有以下不足:1)过滤级数少,滤芯材料单一,净化效果不理想;2)现有过滤装置,对有机杂质吸附量小,不具有在线反冲洗功能,滤芯失效即需更换,操作繁琐,成本高。
目前,专利号为201110268215.8的中国专利“镀铜缸有机污染净化装置及其净化方法”和专利号为201620123814.3的中国专利“一种沉铜线过滤装置”通过增加一个过滤器减少有机污染,其未考虑固体颗粒杂质的影响,净化和使用周期有限。专利号为201520972289.3的中国专利“一种药水循环装置及具有该装置的沉铜系统、电镀系统”将过滤级数增加到两级,净化效果有所提高,但是该方法需要两个储液槽,操作过程中药水需求量大,设备占地面积大。专利号为201320494893.0的中国专利“一种PCB化学铜整槽过滤及反应一体设备”,该装置由三组反应和过滤装置并联组成,需要将药水不断在三个槽中切换,操作复杂,占地规模大。
实用新型内容
本实用新型主要的目的在于:提供一种高精度、在线反冲洗回液,节省空间,使用寿命长,结构简单,拆装方便的电镀系统药水在线净化装置。
为实现上述目的,本实用新型提供一种电镀系统药水在线净化装置,该电镀系统药水在线净化装置包括:装有电镀药水的电镀池,根据电镀池内药水的洁净度定量抽取药水的计量泵,对所述计量泵抽出的药水进行加热处理的加热器,对经过所述加热器加热的药水进行杂质过滤的一级过滤器,对经过所述一级过滤器过滤的药水进行二次杂质过滤的二级过滤器,以及对经过所述二级过滤器过滤的药水进行微小固体颗粒去除的三级过滤器;其中,所述计量泵的进液口与所述电镀池的出液口连通,所述计量泵的出液口与所述加热器的进液口连通;所述加热器的出液口与所述一级过滤器的进液口连通,所述一级过滤器的出液口与所述二级过滤器的进液口连通;所述二级过滤器的出液口与所述三级过滤器的进液口连通,所述三级过滤器的出液口也所述电镀池的进液口连通;所述一级过滤器的出液口、二级过滤器的出液口、三级过滤器的出液口均与蒸汽或氮气输出装置的输出口连通;所述一级过滤器、二级过滤器及三级过滤器均设有排污口。
优选地,所述计量泵的过流元件采用不锈钢内衬聚四氟乙烯材质。
优选地,所述加热器的材质采用聚四氟乙烯,且所述加热器的出液口输出的药水温度控制在40~60℃。
优选地,所述一级过滤器外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯,所述的一级过滤器内置包括活性炭颗粒和硅藻土的复合滤芯,该复合滤芯由PP滤膜框架固载活性炭,且该复合滤芯可更换。
优选地,所述二级过滤器外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯,所述二级过滤器的内置滤芯包括活性炭纤维毡或活性炭纤维纸,且该内置滤芯可更换。
优选地,所述二级过滤器的内置滤芯中活性炭纤维毡或活性炭纤维纸卷制或打褶制成。
优选地,所述三级过滤器外壳的材质为聚四氟乙烯,所述三级过滤器内置精度为0.5-1micron的PTFE膜,且该PTFE膜可更换。
优选地,所述的冷凝器的材质为聚四氟乙烯,且所述冷凝器出液口的温度为20~30℃。
优选地,所述电镀池的出液口包括:开设在电镀池底部的第一出液口和第二出液口,开设在电镀池侧壁上部的第三出液口。
本实用新型提供的电镀系统药水在线净化装置,该装置通过在药水净化处理后端增加三个级联的过滤器,以对药水进行三次过滤处理,从而提高了药水的净化精度。本实用新型还提供蒸汽/氮气对三个过滤器进行反冲洗,以及时方便地去除每一级过滤器中的污垢,对活性炭和PTEE膜滤芯进行再生,使得过滤器能够重复实用,从而延长过滤器的使用周期。此外,本实用新型的电镀池涉及一个,因而节省了净化装置的占用空间。
附图说明
图1为本实用新型电镀系统药水在线净化装置的结构示意图。
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
本实用新型提供一种电镀系统药水在线净化装置。
参考图1,图1为本实用新型电镀系统药水在线净化装置的结构示意图。本实施例提供的一种电镀系统药水在线净化装置。该电镀系统药水在线净化装置包括:电镀池1、计量泵2、加热器3,一级过滤器4、二级过滤器5、三级过滤器6及冷凝器7。其中,计量泵2的进液口与电镀池1的出液口连通,计量泵2的出液口与加热器3的进液口连通。加热器3的出液口与一级过滤器4的进液口连通,一级过滤器4的出液口与二级过滤器5的进液口连通。二级过滤器5的出液口与三级过滤器6的进液口连通,三级过滤器6的出液口经冷凝器7与电镀池1的进液口连通。一级过滤器4的出液口、二级过滤器5的出液口、三级过滤器6的出液口均与蒸汽或氮气输出装置8的输出口连通。一级过滤器4、二级过滤器5及三级过滤器6均设有排污口。
电镀池1装有电镀药水。该电镀池1包括进液口和出液口。需要净化的药水从出液口流出至一级过滤器4、二级过滤器5及三级过滤器6进行杂质及微小固体颗粒去除。经过三级过滤后的药水经进液口返回至电镀池1中。为了避免电镀池1内的杂质在局部富集,进一步地,电镀池1内分设有多个出液口。在本实施例中,电镀池1的出液口包括:开设在电镀池1底部的第一出液口11和第二出液口12,以及开设在电镀池1侧壁上部的第三出液口13。需要净化的药水能够及时从第一出液口11、第二出液口12及第三出液口13排出,从而避免药水中的杂质在局部富集。
计量泵2用于从电镀池1内抽取药水至三级过滤装置中进行过滤。在本实施例中,计量泵2能够根据电镀池1内药水的洁净度定量抽取药水。一般地,电镀池1内药水的洁净度越高,计量泵2则减小药水抽取的流量。电镀池1内药水的洁净度越低,计量泵2则增大药水抽取的流量。具体地,计量泵2的过流元件采用不锈钢内衬聚四氟乙烯材质。
加热器3对计量泵2抽出的药水进行加热处理,以提高吸附质的吸附性能,从而加快吸附速度。具体地,加热器3的材质采用聚四氟乙烯,且加热器3的出液口输出的药水温度控制在40~60℃。
一级过滤器4对经过加热器3加热的药水进行杂质过滤,以对药水进行一次杂质滤除。具体地,一级过滤器4外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯。该一级过滤器4内置包括活性炭颗粒和硅藻土的复合滤芯,该复合滤芯由PP滤膜框架固载活性炭,且该复合滤芯可更换。该一级过滤器4具有吸附量大的优点,能有效提高过滤器的使用周期。此外,一级过滤器4还开设有排污口,该排污口优选开设在一级过滤器4的下方。一级过滤器4的出液口还与蒸汽或氮气输出装置8的输出口连通。当需要对一级过滤器4进行反冲洗时,截断一级过滤器4出液口与二级过滤器5进液口之间的通路,并打开一级过滤器4出液口与蒸汽或氮气输出装置8的通路。通过蒸汽或者氮气进行反冲洗和反吹,以对活性炭和PTFE膜滤芯进行再生,使得过滤器能重复使用,从而延长一级过滤器4的使用周期。应当说明的是,通路的连通及阶段通过开关阀9来实现(下同)。
二级过滤器5对经过一级过滤器4过滤的药水进行二次杂质过滤,以对药水进行一次杂质滤除。具体地,二级过滤器5外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯,二级过滤器5的内置滤芯包括活性炭纤维毡或活性炭纤维纸,且该内置滤芯可更换。该二级过滤器5具有吸收速度快的优点,可以进一步除去一级滤芯未能吸附的杂质,提高吸附精度。此外,二级过滤器5还开设有排污口,该排污口优选开设在二级过滤器5的下方。二级过滤器5的出液口还与蒸汽或氮气输出装置8的输出口连通。当需要对二级过滤器5进行反冲洗时,截断二级过滤器5出液口与三级过滤器6进液口之间的通路,并打开二级过滤器5出液口与蒸汽或氮气输出装置8的通路。通过蒸汽或者氮气进行反冲洗和反吹,以对活性炭和PTFE膜滤芯进行再生,使得过滤器能重复使用,从而延长二级过滤器5的使用周期。进一步地,为了优化杂质的去除效果,二级过滤器5的内置滤芯中活性炭纤维毡或活性炭纤维纸卷制或打褶制成。
三级过滤器6对经过二级过滤器5过滤的药水进行微小固体颗粒去除。具体地,三级过滤器6外壳的材质为聚四氟乙烯,三级过滤器6内置精度为0.5-1micron的PTFE膜,且该PTFE膜可更换。此外,三级过滤器6还开设有排污口,该排污口优选开设在三级过滤器6的下方。三级过滤器6的出液口还与蒸汽或氮气输出装置8的输出口连通。当需要对三级过滤器6进行反冲洗时,打开三级过滤器6出液口与蒸汽或氮气输出装置8的通路。通过蒸汽或者氮气进行反冲洗和反吹,以对活性炭和PTFE膜滤芯进行再生,使得过滤器能重复使用,从而延长三级过滤器6的使用周期。
冷凝器7用于对经过三级过滤后的药水进行冷却处理,并将冷却后的药水回流至电镀池1内。具体地,冷凝器7的材质为聚四氟乙烯,且所述冷凝器7出液口的温度为20~30℃。
本实用新型提供的电镀系统药水在线净化装置,该装置通过在药水净化处理后端增加三个级联的过滤器,以对药水进行三次过滤处理,及时除去电镀池1底部、顶部药水中的杂质以及上段工序以及电镀过程中产生的细小固体杂质,使得药水一直处于澄清状态,提高了电镀质量。本实用新型还提供蒸汽/氮气对三个过滤器进行反冲洗,以及时方便地去除每一级过滤器4中的污垢,对活性炭和PTEE膜滤芯进行再生,使得过滤器能够重复实用,从而延长过滤器的使用周期。此外,本实用新型的电镀池1涉及一个,因而节省了净化装置的占用空间。
以上仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,包括:装有电镀药水的电镀池,根据电镀池内药水的洁净度定量抽取药水的计量泵,对所述计量泵抽出的药水进行加热处理的加热器,对经过所述加热器加热的药水进行杂质过滤的一级过滤器,对经过所述一级过滤器过滤的药水进行二次杂质过滤的二级过滤器,对经过所述二级过滤器过滤的药水进行微小固体颗粒去除的三级过滤器,以及对三级过滤器过滤的药水进行冷却处理的冷凝器;其中,所述计量泵的进液口与所述电镀池的出液口连通,所述计量泵的出液口与所述加热器的进液口连通;所述加热器的出液口与所述一级过滤器的进液口连通,所述一级过滤器的出液口与所述二级过滤器的进液口连通;所述二级过滤器的出液口与所述三级过滤器的进液口连通,所述三级过滤器的出液口经所述冷凝器与所述电镀池的进液口连通;所述一级过滤器的出液口、二级过滤器的出液口、三级过滤器的出液口均与蒸汽或氮气输出装置的输出口连通;所述一级过滤器、二级过滤器及三级过滤器均设有排污口。
2.如权利要求1所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述计量泵的过流元件采用不锈钢内衬聚四氟乙烯材质。
3.如权利要求1所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述加热器的材质采用聚四氟乙烯,且所述加热器的出液口输出的药水温度控制在40~60℃。
4.如权利要求1所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述一级过滤器外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯,所述的一级过滤器内置包括活性炭颗粒和硅藻土的复合滤芯,该复合滤芯由PP滤膜框架固载活性炭,且该复合滤芯可更换。
5.如权利要求1所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述二级过滤器外壳的材质为不锈钢内衬聚四氟乙烯,所述二级过滤器的内置滤芯包括活性炭纤维毡或活性炭纤维纸,且该内置滤芯可更换。
6.如权利要求5所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述二级过滤器的内置滤芯中活性炭纤维毡或活性炭纤维纸卷制或打褶制成。
7.如权利要求1所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述三级过滤器外壳的材质为聚四氟乙烯,所述三级过滤器内置精度为0.5-1micron的PTFE膜,且该PTFE膜可更换。
8.如权利要求1所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述的冷凝器的材质为聚四氟乙烯,且所述冷凝器出液口的温度为20~30℃。
9.如权利要求1~8任一项所述的电镀系统药水在线净化装置,其特征在于,所述电镀池的出液口包括:开设在电镀池底部的第一出液口和第二出液口,开设在电镀池侧壁上部的第三出液口。
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CN109761387A (zh) * | 2019-03-24 | 2019-05-17 | 宏俐(汕头)电子科技有限公司 | 电镀液净化装置及电镀液净化方法 |
CN113713464A (zh) * | 2021-08-06 | 2021-11-30 | 安捷利美维电子(厦门)有限责任公司 | 减少pcb槽体药水杂物的过滤装置及过滤方法 |
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