CN206411084U - 抗污染残气分析装置 - Google Patents

Abstract

一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀以及一加热单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间，隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。加热单元于隔离阀开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热。

Description

抗污染残气分析装置

技术领域

本实用新型关于一种抗污染残气分析装置。

背景技术

残余气体分析仪(residual gas analyzer；RGA)通常用于量测真空腔体内的残余气体，例如水气、氧气、氮气等等。常用的残余气体分析仪工作范围通常须小于真空压力10^-4托(torr)以下。若残余气体分析仪暴露于污染气体时，容易造成残余气体分析仪的污染，举例而言，当水气附着在残余气体分析仪的管壁时，会量测到附着的水气而导致不准确的读值。

“现有技术”段落只是用来帮助了解本实用新型内容，因此在“现有技术”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成所属技术领域中具有通常知识者所知道的习知技术。在“现有技术”段落所揭露的内容，不代表该内容或者本实用新型一个或多个实施例所要解决的问题，在本实用新型申请前已被所属技术领域中具有通常知识者所知晓或认知。

实用新型内容

本实用新型提供一种于抗污染残气分析装置。

本实用新型的其他目的和优点可以从本实用新型所揭露的技术特征中得到进一步的了解。

为达到上述之一或部份或全部目的或是其他目的，本实用新型的一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀以及一加热单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间，隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。加热单元于隔离阀开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪于真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测真空腔体内的残余气体的成分。加热单元于残余气体分析仪开启前及开启后均启动以至少对残余气体分析仪加热，且控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一隔离阀、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。隔离阀设于真空腔体与残余气体分析仪之间，隔离阀于真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让真空腔体内的残余气体进入残余气体分析仪。以至少对残余气体分析仪加热，控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，且残余气体分析仪于真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测真空腔体内的残余气体的成分。加热单元至少对残余气体分析仪加热，且控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力，残余气体分析仪于真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测该真空腔体内的残余气体的成分。加热单元用以至少对残余气体分析仪加热，控制单元接收真空腔体内的压力变化信息且控制加热单元，使加热单元于真空腔体内的压力在一预设的压力范围内时作动。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。残余气体分析仪用以量测一真空腔体内的残余气体的成分，加热单元用以至少对残余气体分析仪加热。控制单元接收真空腔体内的至少一残余气体的含量变化信息，且控制加热单元使加热单元于选定的残余气体的含量在一预设范围内时作动。

本实用新型的另一实施例提供一种抗污染残气分析装置，包含一真空计、一残余气体分析仪、一加热单元以及一控制单元。真空计连接一真空腔体以量测真空腔体内的压力，残余气体分析仪用以量测真空腔体内的残余气体的成分。加热单元用以至少对残余气体分析仪加热，控制单元接收残余气体分析仪的残余气体的成分信息及真空计的读值，且控制单元控制加热单元使加热单元于一预定时间内作动。

藉由上述各个实施例的设计，加热单元可具有不同的作动方式，例如可当抗污染残气分析装置一启动时加热单元可跟着开启、加热单元在真空腔体内的压力在一预设的压力范围内时作动、在选定的残余气体的含量在一预设范围内时作动，或在一预定时间内作动等等。因此，加热单元可于抗污染残气分析装置中的不同环境下提供对残余气体分析仪的不同加热模式，使残余气体分析仪的本体或管壁维持在较高温度范围，当残余气体分析仪的本体或管壁维持在较高温度范围，可避免或去除真空腔体内的污染物凝结在残余气体分析仪的本体或管壁，确保残余气体分析仪的抗污染能力及分析能力，避免残余气体分析仪产生误判或不准确量测值的情形。

本实用新型的其他目的和优点可以从本实用新型所揭露的技术特征中得到进一步的了解。为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的抗污染残气分析装置的示意图。

图2为本实用新型另一实施例的抗污染残气分析装置的示意图。

符号说明

10、20 抗污染残气分析装置

11 真空腔体

12 真空计

13 隔离阀

14 加热单元

15 残余气体分析仪

16 控制单元

17 管件

19 阀门

具体实施方式

有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本实用新型。

图1为本实用新型一实施例的抗污染残气分析装置的示意图。如图1所示，抗污染残气分析装置10包含一真空计12、一隔离阀13、一加热单元14、一残余气体分析仪15及一控制单元16。真空计12可连接一真空腔体11以量测真空腔体11内的压力，真空腔体11为一可密闭及开启的腔室，且隔离阀13设于真空腔体11与残余气体分析仪15之间。残余气体分析仪15用以量测于真空腔体11内的残余气体的成分，以提供例如真空系统测漏、工艺气体分析、气体浓度分析等目的。

于一实施例中，当抗污染残气分析装置10启动时，加热单元14开启并可维持在一固定温度范围，以提供加热残余气体分析仪15的效果，当残余气体分析仪15的温度升高，可消除残余气体分析仪15及周遭管件的水气，或者可避免真空腔体11内的污染物随着残余气体凝结在残余气体分析仪15的本体或管壁，避免残余气体分析仪15误判或产生不准确的量测值。于一实施例中，真空计12可量测真空腔体11内的压力，当真空腔体11内的压力低于一设定值(例如10^-4torr)时，隔离阀13可自动开启让真空腔体11内的残余气体进入残余气体分析仪15，且残余气体分析仪15对应启动以量测腔体内的各种气体成分。控制单元16可收集残余气体分析仪15的残余气体成分信息及真空计12的读值，以计算残余气体中各种气体成分于不同压力下的浓度，且可将各种残余气体成分于不同压力下浓度予以分类并建立指标。再者，若真空计12量测到真空腔体11内压力高于设定值(例如10^-4torr)时，控制单元16可关闭隔离阀13与残余气体分析仪15并停止读取数据与计算，此时加热单元14可持续开启并对残余气体分析仪15加热。当下次隔离阀13再开启且残余气体分析仪15再启动时，加热单元14的预热效果可确保残余气体分析仪15的抗污染能力。

再者，于一实施例中，加热单元14的加热程度可视实际需求于不同的时间区段或压力区段利用控制单元16自动调整或手动调整，例如在某一时间区段可维持在最高的温度范围，在另一时间区段维持在次高的温度范围，藉以获得例如节能或优化温度控制等效果。

于一实施例中，加热单元14可手动开启/关闭，或由控制单元16控制而自动开启/关闭。于一实施例中，控制单元16可于真空腔体11内的压力低于设定值时开启隔离阀13及残余气体分析仪15的至少其中之一，且控制单元16可于真空腔体11内的压力高于设定值时关闭隔离阀13及残余气体分析仪15的至少其中之一。

图2为本实用新型另一实施例的抗污染残气分析装置的示意图。如图2所示，抗污染残气分析装置20的真空计16可另经由一阀门19连接真空腔体11以量测真空腔体11内的压力，且加热单元14的设置位置及方式并不限定，仅需能提供至少对残余气体分析仪15加热的效果即可，加热单元14可如图1所示直接设置于残余气体分析仪15上，或如图2所示设置于残余气体分析仪15周遭与其连接或不连接的一管件17亦可。加热单元14的加热对象及加热方式并不限定，例如残余气体分析仪15、周遭的管件17或装置内其他构件均可为加热单元14的加热对象，当加热对象因加热单元14而升温即能减少或避免污染物随着残余气体凝结在残余气体分析仪15的本体或管壁、或周遭管件上的情形。

于另一实施例中，若真空计12量测到真空腔体11内压力到达一设定值时，控制单元16可开启加热单元14对残余气体分析仪15加热，且真空计12量测到真空腔体11内压力到达另一设定值时，控制单元16可关闭加热单元14，意即控制单元16可接收真空腔体11内的压力变化信息，且控制单元16可控制加热单元14，使加热单元14于真空腔体11内的压力在一预设的压力范围内时作动，利用加热单元14的加热效果可确保残余气体分析仪15的抗污染能力及分析能力。

于另一实施例中，若残余气体分析仪15量测到真空腔体11内的某一选定的残余气体的含量高于一设定值时，控制单元16可开启加热单元14对残余气体分析仪15加热，且残余气体分析仪15量测到真空腔体11内的该残余气体的含量低于另一设定值时，控制单元16可关闭加热单元14，意即控制单元16可接收真空腔体11内的至少一残余气体成分的含量变化信息，且控制单元16可控制加热单元14，使加热单元14于选定的残余气体的含量在一预设范围内时作动，利用加热单元14的加热效果可确保残余气体分析仪15的抗污染能力及分析能力。

于另一实施例中，一控制单元16可接收残余气体分析仪15的残余气体的成分信息及真空计的读值，且控制单元16可控制加热单元14使加热单元14于一预定时间内作动。

藉由上述各个实施例的设计，加热单元可具有不同的作动方式，例如可当抗污染残气分析装置一启动时加热单元可跟着开启、加热单元在真空腔体内的压力在一预设的压力范围内时作动、在选定的残余气体的含量在一预设范围内时作动，或在一预定时间内作动等等。因此，加热单元可于抗污染残气分析装置中的不同环境下提供对残余气体分析仪的不同加热模式，使残余气体分析仪的本体或管壁维持在较高温度范围，当残余气体分析仪的本体或管壁维持在较高温度范围，可避免或去除真空腔体内的污染物凝结在残余气体分析仪的本体或管壁，确保残余气体分析仪的抗污染能力及分析能力，避免残余气体分析仪产生误判或不准确量测值的情形。

藉由上述各个实施例的设计，可提供抗污染残气分析装置的不同控制流程。首先当系统启动时，加热单元可启动并维持在一固定温度范围(足以让加热对象温度升高的范围)，提供加热残余气体分析仪或周遭管件的效果以防止残余气体分析仪被污染，当真空计量测到腔体内的真空压力低于一设定值时，可开启隔离阀与残余气体分析仪。残余气体分析仪量测腔体内的各气体成分以计算残余气体中各种气体成分于不同压力下的浓度，且可将各种残余气体成分于不同压力下浓度予以分类并建立指标。当真空计量测到腔体内的真空压力高于设定值时，可关闭隔离阀与残余气体分析仪，但加热单元仍维持一固定温度范围，防止残余气体分析仪被污染。于另一实施例中，加热单元14可在一预定的压力范围区间作动、于一预定时间内作动或者于选定的残余气体的含量在一预设范围内时作动。

惟以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即大凡依本实用新型权利要求及实用新型说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型专利涵盖的范围内。另外本实用新型的任一实施例或权利要求不须达成本实用新型所揭露的全部目的或优点或特点。此外，本说明书或权利要求中提及的“第一”、“第二”等用语仅用以命名元件的名称或区别不同实施例或范围，而并非用来限制元件数量上的上限或下限。

Claims (10)

1.一种抗污染残气分析装置，其特征在于，包含：

一真空计，连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力；

一残余气体分析仪，用以量测该真空腔体内的残余气体的成分；

一隔离阀，设于该真空腔体与该残余气体分析仪之间，其中该隔离阀于该真空腔体内的压力低于一设定值开启，以让该真空腔体内的该残余气体进入该残余气体分析仪；以及

一加热单元，于该隔离阀开启前及开启后均启动以至少对该残余气体分析仪加热。

2.如权利要求1所述的抗污染残气分析装置，其特征在于，该加热单元于该抗污染残气分析装置的开启至关闭的过程中均启动并维持在至少一固定温度范围。

3.如权利要求1所述的抗污染残气分析装置，其特征在于，更包含一控制单元，该控制单元于该真空腔体内的压力低于该设定值时开启该隔离阀及该残余气体分析仪的至少其中之一，且该控制单元于该真空腔体内的压力高于该设定值时关闭该隔离阀及该残余气体分析仪的至少其中之一。

4.如权利要求3所述的抗污染残气分析装置，其特征在于，该加热单元设置于该残余气体分析仪上，且该加热单元的开闭由手动控制或由该控制单元控制。

5.一种抗污染残气分析装置，其特征在于，包含：

一真空计，连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力；

一残余气体分析仪，该残余气体分析仪于该真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测该真空腔体内的残余气体的成分；

一加热单元，于该残余气体分析仪开启前及开启后均启动以至少对该残余气体分析仪加热；以及

一控制单元，接收该残余气体分析仪的残余气体的成分信息及该真空计的读值以计算各个残余气体成分于不同压力下的浓度。

6.如权利要求5所述的抗污染残气分析装置，其特征在于，该控制单元于该真空腔体内的压力低于该设定值时开启该残余气体分析仪，且该控制单元于该真空腔体内的压力高于该设定值时关闭该残余气体分析仪。

7.一种抗污染残气分析装置，其特征在于，包含：

一真空计，连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力；

一残余气体分析仪，该残余气体分析仪于该真空腔体内的压力低于一设定值开启以量测该真空腔体内的残余气体的成分；

一加热单元，用以至少对该残余气体分析仪加热；以及

一控制单元，接收该真空腔体内的压力变化信息，且控制该加热单元使该加热单元于该真空腔体内的压力在一预设的压力范围内时作动。

8.一种抗污染残气分析装置，其特征在于，包含：

一残余气体分析仪，用以量测一真空腔体内的残余气体的成分；

一加热单元，用以至少对该残余气体分析仪加热；以及

一控制单元，接收该真空腔体内的至少一残余气体的含量变化信息，且控制该加热单元使该加热单元于选定的一残余气体的含量在一预设范围内时作动。

9.一种抗污染残气分析装置，其特征在于，包含：

一真空计，连接一真空腔体以量测该真空腔体内的压力；

一残余气体分析仪，用以量测该真空腔体内的残余气体的成分；

一加热单元，用以至少对该残余气体分析仪加热；以及

一控制单元，接收该残余气体分析仪的残余气体的成分信息及该真空计的读值，且该控制单元控制该加热单元使该加热单元于一预定时间内作动。

10.如权利要求7-9中任一项所述的抗污染残气分析装置，更包含：

一隔离阀，设于该真空腔体与该残余气体分析仪之间。