CN206401269U - 基于冷却液循环的腔体零件清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，包括冷却液循环系统和密封板，通过若干密封板密封腔体零件的腔体并且只留有供冷却液通过的进口孔和出口孔，冷却液循环系统的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的腔体构成冷却液循环路径的一部分,冷却液循环系统中设有过滤装置。本实用新型利用经过过滤的冷却液流经腔体,从而避免加工中产生的各种杂质颗粒等进入腔体零件的腔体，进而降低颗粒污染的风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种腔体零件清洁装置,属于半导体零部件机械制造加工技术领域,特别用于防止加工过程中颗粒残留对半导体制程造成污染。
背景技术
当前腔体类工件中,部份零件在完成成品加工前,腔体内已经加工到位,通过焊接或粘接等方式将腔体封住,只留下进出口，因为在继续的加工过程中,加工铁屑或冷却液中细小的颗粒通过零件的进出口进入已密封的腔体内，在最终成品的腔体内会造成PARTICLE(颗粒)的残留，进而导致在客户端半导体制程污染，影响到晶元质量，半导体制程对于零件的加工过程中的残留和清洁要求非常严格,稍有不慎就会造成重大损失。
实用新型内容
本实用新型为了克服现有技术中整体加工环境对密封腔体类零件造成的污染，提供了一种结构简单，成本低，通用性强的腔体零件清洁装置。
本实用新型提供了一种基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，包括冷却液循环系统和密封板，通过若干密封板密封腔体零件的腔体并且只留有供冷却液通过的进口孔和出口孔，冷却液循环系统的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的腔体构成冷却液循环路径的一部分,冷却液循环系统中设有过滤装置。
进一步优选，包括腔体零件固定装置，所述腔体零件固定装置由机台、底板、固定板、压板构成，底板通过螺栓固定在机台上，固定板通过若干连接柱固定在底板上方，固定板上通过螺栓安装若干压板，压板压紧密封板并将腔体零件固定。通过腔体零件固定装置可固定腔体零件，并密封通道，使腔体零件只留有冷却液进口孔和出口孔。
进一步优选，包括一个转接头，转接头固定在气缸的推杆上，转接头的进口连接冷却液输出管，转接头的出口连接腔体零件的进口孔，所述气缸通过气缸固定板固定在固定板下方。
进一步优选，所述冷却液循环系统包括冷却液泵、冷却液储存槽，冷却液泵的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的出口孔下方设有冷却液回收槽，冷却液回收槽通过管路连接冷却液储存槽，冷却液储存槽连接冷却液泵的冷却液输入管。通过该冷却液循环系统使得冷却液可循环利用。
进一步优选，所述冷却液泵的冷却液输出管上安装过滤装置。过滤装置虽然可安装于冷却液循环管路的其他位置，但是只有安装在冷却液泵的冷却液输出管上，才能最好的杜绝颗粒进入腔体零件内。
进一步优选，机台设有若干倒T型槽，所述固定板均匀分布螺孔，底板开设多个孔。采用这样的结构，不但方便安装腔体零件固定装置，方便固定腔体工件，而且便于回收冷却液。
本实用新型利用经过过滤的冷却液流经腔体,从而避免加工中产生的各种杂质颗粒等进入腔体零件的腔体，并且就算腔体中有颗粒也可经由冷却液带走，进而降低颗粒污染的风险。
附图说明
图1是一种腔体零件示意图。
图2是本实用新型的基于冷却液循环的腔体零件清洁装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图进一步详细阐明本实用新型。
如图1所示的腔体零件，设有腔体，和腔体相通的孔。为了防止颗粒进入腔体中，并清除腔体中的颗粒，本实用新型设计了如图2所示的腔体零件清洁装置，包括冷却液循环系统、若干用于密封腔体的密封板5、腔体零件固定装置，所述腔体零件固定装置由机台1、底板2、固定板3、若干压板4构成，机台1设有若干倒T型槽，底板2通过螺栓固定在机台1上，固定板3通过若干连接柱固定在底板2上方，固定板3上通过螺栓安装若干压板4，压板4压紧密封板5并将腔体零件固定。通过若干密封板5密封腔体零件的腔体并且只留有供冷却液通过的进口孔和出口孔，冷却液循环系统的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔5，腔体零件的腔体构成冷却液循环路径的一部分。通过冷却液循环带走腔体中的颗粒。
更具体的是，所述冷却液循环系统包括冷却液泵、冷却液储存槽，冷却液泵的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的出口孔下方设有冷却液回收槽，冷却液回收槽通过管路连接冷却液储存槽，冷却液储存槽连接冷却液泵的冷却液输入管。
要使冷却液可以清洁腔体，首先必须保证冷却液清洁，因此所述冷却液泵的冷却液输出管上安装过滤装置，通过过滤装置净化冷却液，过滤装置也可以安装循环路径的其他地方。
为了方便连接冷却液输出管，采用一个如图2所示的转接头8，转接头8固定在气缸6的推杆上，转接头8的进口连接冷却液泵的冷却液输出管，转接头8的出口连接腔体零件的进口孔，所述气缸6通过气缸固定板7固定在固定板3下方，可以采用螺钉连接固定。
所述冷却液循环系统采用数控机台自身的冷却液循环系统,使腔体零件在加工过程中,腔体零件的腔体形成冷却液循环的一部份。
特别的是，所述固定板3均匀分布螺孔，可便于安装压板，便于固定不同规格的腔体零件，并且经过腔体工件的腔体流出的冷却液可透过螺孔往下漏，底板2开设多个孔，便于冷却液往下流，冷却液依次透过固定板3、底板2，并汇集到机台1的倒T型槽中，最终汇入冷却液回收槽。倒T型槽既用于安装底板2，又起到冷却液回收的作用。
例如，图1所示的腔体零件加工时，采用密封板5密封腔体，并采用若干压板4固定在固定板5上，使用塑料软管冷却液循环系统的冷却液输出口和转接头8，通过气缸6的行程调节转接头8与腔体零件的进口孔的接触面，安装好后,启动冷却液泵,冷却液被输出,通过过滤网净化后流到转接头8,再经过转接头8转换流经腔体拐角孔进入零件的腔体,再从腔体中一排小孔流出回流到冷却回收槽、冷却液储存槽，循环完成.这样在加工零件表面,特别在加工零件一排孔处,从小孔中有冷却液流出,加工中产生的屑随冷却液流走,不会通过小孔进入到零件的腔体中。使用此实用新型技术后,在腔体内没有再检测到杂质和颗粒等残留.不仅保证了零件的加工质量,还保证了零件的使用质量。
Claims (6)
1.一种基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，其特征在于：包括冷却液循环系统和密封板，通过若干密封板密封腔体零件的腔体并且只留有供冷却液通过的进口孔和出口孔，冷却液循环系统的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的腔体构成冷却液循环路径的一部分,冷却液循环系统中设有过滤装置。
2.根据权利要求1所述的基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，其特征在于：包括腔体零件固定装置，所述腔体零件固定装置由机台、底板、固定板、压板构成，底板通过螺栓固定在机台上，固定板通过若干连接柱固定在底板上方，固定板上通过螺栓安装若干压板，压板压紧密封板并将腔体零件固定。
3.根据权利要求2所述的基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，其特征在于：包括一个转接头，转接头固定在气缸的推杆上，转接头的进口连接冷却液输出管，转接头的出口连接腔体零件的进口孔，所述气缸通过气缸固定板固定在固定板下方。
4.根据权利要求2所述的基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，其特征在于：所述冷却液循环系统包括冷却液泵、冷却液储存槽，冷却液泵的冷却液输出管连接腔体零件的进口孔，腔体零件的出口孔下方设有冷却液回收槽，冷却液回收槽通过管路连接冷却液储存槽，冷却液储存槽连接冷却液泵的冷却液输入管。
5.根据权利要求4所述的基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，其特征在于：所述冷却液泵的冷却液输出管上安装过滤装置。
6.根据权利要求2所述的基于冷却液循环的腔体零件清洁装置，其特征在于：机台设有若干倒T型槽，所述固定板均匀分布螺孔，底板开设多个孔。
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| CN201720073825.5U CN206401269U (zh) | 2017-01-21 | 2017-01-21 | 基于冷却液循环的腔体零件清洁装置 |
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|---|---|---|---|---|
| CN111369702A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-07-03 | 深圳市中宝逸科技有限公司 | 一种智能人脸识别考勤测温一体机 |
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