CN206385273U - 一种单晶炉机架水平调节机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉机架水平调节机构，包括具有回字形容纳空间的回字形金属框体，回字形金属框体上部敞口设置，回字形容纳空间内设置有四个机架水平度调节装置，四个机架水平度调节装置分别设置在回字形容纳空间的四角，回字形金属框体的四角还设置有顶升机构，顶升机构的活动端设置有单晶炉机架卡板；机架水平度调节装置包括底部固定座、上部移动座和牵引螺杆；本实用新型能够快速、无损且省力地进行单晶炉机架水平调节，调节精度高。

Description

一种单晶炉机架水平调节机构

技术领域

本实用新型涉及单晶炉领域，尤其涉及一种单晶炉机架水平调节机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉主要由提拉头、副室、炉盖、炉筒、下炉筒、机架、坩埚下传动装置和热场等组成。热场包括压环、保温盖、保温罩、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、螺栓等。单晶炉在使用过程中，为保证生产出的晶棒的质量，应当保证单晶炉安装的水平精度。但是单晶炉在使用一段时间后机架可能发生形变，导致单晶炉安装的水平精度失准，造成晶棒质量降低，引发企业损失。而单晶炉整体重量较大，且拆卸组装十分繁琐，若将单晶炉整体拆卸再更换或调整机架水平度，可能造成单晶炉内部的石墨坩埚和石英坩埚等易碎部件损坏，因此现有的单晶炉机架水平调节较为困难。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉机架水平调节机构，能够快速、无损且省力地进行单晶炉机架水平调节，调节精度高。

本实用新型采用下述技术方案：

一种单晶炉机架水平调节机构，包括回字形金属框体，回字形金属框体内具有由外侧四个面板、内侧四个面板和框体底板围成的回字形容纳空间，回字形金属框体上部敞口设置，回字形容纳空间内设置有四个机架水平度调节装置，四个机架水平度调节装置分别设置在回字形容纳空间的四角，回字形金属框体的四角还设置有顶升机构安装板，顶升机构安装板上竖直设置有顶升机构，顶升机构的活动端设置有单晶炉机架卡板，金属框体前侧和后侧的外侧面板的左右两端均设置有机架水平度调节装置调节通孔；

机架水平度调节装置包括底部固定座、上部移动座和牵引螺杆，底部固定座包括固定座底板，固定座底板的左端竖直设置有牵引螺杆限位板，牵引螺杆限位板中部设置有牵引螺杆通过孔，固定座底板的前端和后端平行设置有前条形凸台和后条形凸台，前条形凸台和后条形凸台的上端面均倾斜设置，且前条形凸台和后条形凸台的上端面靠近牵引螺杆限位板的一端高度高于前条形凸台和后条形凸台的上端面远离牵引螺杆限位板的一端；上部移动座采用U字形移动座，上部移动座的上端面水平设置，上部移动座的下端面倾斜设置，且上部移动座的下端面斜率与前条形凸台和后条形凸台的上端面斜率相匹配；U字形移动座包括前移动块、连接块和后移动块，连接块的前后两端分别与前移动块和后移动块的左端连接，前移动块和后移动块之间形成牵引螺杆容纳腔；连接块的中部设置有牵引螺杆螺纹孔；牵引螺杆穿过牵引螺杆通过孔和牵引螺杆螺纹孔设置，牵引螺杆上还固定有两个牵引螺杆限位环，两个牵引螺杆限位环分别设置于牵引螺杆限位板两侧，牵引螺杆通过牵引螺杆螺纹孔与上部移动座螺纹连接；牵引螺杆的前端设置在机架水平度调节装置调节通孔内。

所述的顶升机构采用液压缸，液压缸活塞杆的活动端水平固定有单晶炉机架卡板。

所述的牵引螺杆通过孔内设置有轴承，轴承的内圈与牵引螺杆固定，轴承的外圈与牵引螺杆通过孔内壁固定。

所述的前条形凸台的上端面沿水平方向设置有第一滑槽，前移动块的下端面沿水平方向设置有第一滑块，第一滑块设置于第一滑槽内；后条形凸台的上端面沿水平方向设置有第二滑槽，前移动块的下端面沿水平方向设置有第二滑块，第二滑块设置于第二滑槽内。

所述的固定座底板上设置有机架水平度调节装置固定孔，机架水平度调节装置利用螺栓通过机架水平度调节装置固定孔与框体底板连接。

本实用新型在使用时，单晶炉机架架设在回字形金属框体上表面，分别设置在回字形容纳空间的四角的四个机架水平度调节装置的上部移动座将起到受力承重的作用，当单晶炉机架发生形变导致单晶炉水平度失准时，首先单独控制顶升机构进行水平度调整。顶升机构的活动端设置的单晶炉机架卡板将托举单晶炉机架使其达到标准水平度，然后再调节对应的机架水平度调节装置。通过旋转对应的机架水平度调节装置中的牵引螺杆，带动上部移动座运动，使得上部移动座的上端面水平高度升高并与调整后的单晶炉机架地面顶紧，然后取消顶升机构顶升即可。本实用新型中机架水平度调节装置承重大，工作稳定，调节精度高，能够快速、无损且省力地进行单晶炉机架水平调节。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视结构示意图；

图3为机架水平度调节装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作以详细的描述：

如图1至图3所示，本实用新型所述的单晶炉机架水平调节机构，包括用于固定顶升机构4和机架水平度调节装置2的回字形金属框体1，回字形金属框体1内具有由外侧四个面板、内侧四个面板和框体底板围成的回字形容纳空间，外侧四个面板即外侧前面板、外侧左面板、外侧右面板和外侧后面板，内侧四个面板即内侧前面板、内侧左面板、内侧右面板和内侧后面板。回字形金属框体1上部敞口设置，回字形容纳空间内设置有四个机架水平度调节装置2，四个机架水平度调节装置2分别设置在回字形容纳空间的四角，回字形金属框体1的四角还设置有顶升机构安装板3，顶升机构安装板3上竖直设置有顶升机构4，顶升机构4的活动端设置有单晶炉机架卡板5。本实施例中，由于单晶炉整体重量较大，顶升机构4采用液压缸，液压缸活塞杆的活动端水平固定有单晶炉机架卡板5。金属框体前侧和后侧的外侧面板即外侧前面板和外侧后面板的左右两端均设置有机架水平度调节装置调节通孔6，用于与机架水平度调节装置2配合以进行水平度调节。

机架水平度调节装置2包括底部固定座、上部移动座和牵引螺杆7，底部固定座包括固定座底板8，固定座底板8的左端竖直设置有牵引螺杆限位板9，牵引螺杆限位板9中部设置有牵引螺杆通过孔，固定座底板8的前端和后端平行设置有前条形凸台10和后条形凸台11，前条形凸台10和后条形凸台11的上端面均倾斜设置，且前条形凸台10和后条形凸台11的上端面靠近牵引螺杆限位板9的一端高度高于前条形凸台10和后条形凸台11的上端面远离牵引螺杆限位板9的一端；上部移动座采用U字形移动座，上部移动座的上端面水平设置，上部移动座的下端面倾斜设置，且上部移动座的下端面斜率与前条形凸台10和后条形凸台11的上端面斜率相匹配；U字形移动座包括前移动块12、连接块13和后移动块14，连接块13的前后两端分别与前移动块12和后移动块14的左端连接，前移动块12和后移动块14之间形成牵引螺杆容纳腔15；连接块13的中部设置有牵引螺杆螺纹孔；牵引螺杆7穿过牵引螺杆通过孔和牵引螺杆螺纹孔设置，牵引螺杆7上还固定有两个牵引螺杆限位环16，两个牵引螺杆限位环16分别设置于牵引螺杆限位板9两侧。为保证牵引螺杆7的顺利转动，牵引螺杆通过孔内设置有轴承，轴承的内圈与牵引螺杆7固定，轴承的外圈与牵引螺杆通过孔内壁固定。牵引螺杆7通过牵引螺杆螺纹孔与上部移动座螺纹连接；牵引螺杆7的前端设置在机架水平度调节装置调节通孔6内。

由于单晶炉整体重量较大，为防止底部固定座和上部移动座发生偏移，所述的前条形凸台10的上端面沿水平方向设置有第一滑槽17，前移动块12的下端面沿水平方向设置有第一滑块，第一滑块设置于第一滑槽17内；后条形凸台11的上端面沿水平方向设置有第二滑槽18，前移动块12的下端面沿水平方向设置有第二滑块，第二滑块设置于第二滑槽18内。

为了保证机架水平度调节装置2与回字形金属框体1的位置稳定，固定座底板8上设置有机架水平度调节装置固定孔，机架水平度调节装置2利用螺栓通过机架水平度调节装置固定孔与框体底板连接。机架水平度调节装置2的固定座底板8也可利用卡块、卡槽等与框体底板连接。

本实用新型在使用时，直接将单晶炉机架架设在回字形金属框体1上表面，此时分别设置在回字形容纳空间的四角的四个机架水平度调节装置2的上部移动座将起到受力承重的作用，当单晶炉机架发生形变导致单晶炉水平度失准时，首先单独控制顶升机构4进行水平度调整。顶升机构4的活动端设置的单晶炉机架卡板5将托举单晶炉机架使其达到标准水平度，然后再调节对应的机架水平度调节装置2。通过旋转对应的机架水平度调节装置2中的牵引螺杆7，带动上部移动座运动，使得上部移动座的上端面水平高度升高并与调整后的单晶炉机架地面顶紧，然后取消顶升机构4顶升即可。本实用新型中机架水平度调节装置2承重大，工作稳定，调节精度高。

Claims (5)

1.一种单晶炉机架水平调节机构，其特征在于：包括回字形金属框体，回字形金属框体内具有由外侧四个面板、内侧四个面板和框体底板围成的回字形容纳空间，回字形金属框体上部敞口设置，回字形容纳空间内设置有四个机架水平度调节装置，四个机架水平度调节装置分别设置在回字形容纳空间的四角，回字形金属框体的四角还设置有顶升机构安装板，顶升机构安装板上竖直设置有顶升机构，顶升机构的活动端设置有单晶炉机架卡板，金属框体前侧和后侧的外侧面板的左右两端均设置有机架水平度调节装置调节通孔；机架水平度调节装置包括底部固定座、上部移动座和牵引螺杆，底部固定座包括固定座底板，固定座底板的左端竖直设置有牵引螺杆限位板，牵引螺杆限位板中部设置有牵引螺杆通过孔，固定座底板的前端和后端平行设置有前条形凸台和后条形凸台，前条形凸台和后条形凸台的上端面均倾斜设置，且前条形凸台和后条形凸台的上端面靠近牵引螺杆限位板的一端高度高于前条形凸台和后条形凸台的上端面远离牵引螺杆限位板的一端；上部移动座采用U字形移动座，上部移动座的上端面水平设置，上部移动座的下端面倾斜设置，且上部移动座的下端面斜率与前条形凸台和后条形凸台的上端面斜率相匹配；U字形移动座包括前移动块、连接块和后移动块，连接块的前后两端分别与前移动块和后移动块的左端连接，前移动块和后移动块之间形成牵引螺杆容纳腔；连接块的中部设置有牵引螺杆螺纹孔；牵引螺杆穿过牵引螺杆通过孔和牵引螺杆螺纹孔设置，牵引螺杆上还固定有两个牵引螺杆限位环，两个牵引螺杆限位环分别设置于牵引螺杆限位板两侧，牵引螺杆通过牵引螺杆螺纹孔与上部移动座螺纹连接；牵引螺杆的前端设置在机架水平度调节装置调节通孔内。

2.根据权利要求1所述的单晶炉机架水平调节机构，其特征在于：所述的顶升机构采用液压缸，液压缸活塞杆的活动端水平固定有单晶炉机架卡板。

3.根据权利要求1所述的单晶炉机架水平调节机构，其特征在于：所述的牵引螺杆通过孔内设置有轴承，轴承的内圈与牵引螺杆固定，轴承的外圈与牵引螺杆通过孔内壁固定。

4.根据权利要求1所述的单晶炉机架水平调节机构，其特征在于：所述的前条形凸台的上端面沿水平方向设置有第一滑槽，前移动块的下端面沿水平方向设置有第一滑块，第一滑块设置于第一滑槽内；后条形凸台的上端面沿水平方向设置有第二滑槽，前移动块的下端面沿水平方向设置有第二滑块，第二滑块设置于第二滑槽内。

5.根据权利要求1所述的单晶炉机架水平调节机构，其特征在于：所述的固定座底板上设置有机架水平度调节装置固定孔，机架水平度调节装置利用螺栓通过机架水平度调节装置固定孔与框体底板连接。