CN206379340U - 一种贴胶铁环转换治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种贴胶铁环转换治具，包括基座和与基座铰接的上盖，其中，上盖上设置有旋转部，旋转部连接贴附轮及切割轮，基座上开设有第二铁环放置槽以及第一铁环放置槽，第一铁环放置槽位于第二铁环放置槽的上方，第二铁环放置槽的槽深与第二铁环的厚度相一致，当第一贴胶铁环及其晶圆放置于第一铁环放置槽内时，胶膜与放置于第二铁环放置槽内的第二铁环的顶端面相贴合，且贴附轮和切割轮在上盖与基座呈闭合状态时分别用于使胶膜贴附于第二铁环和用于切割胶膜。本实用新型可协助客户端只能接受小尺寸的第二铁环铁环出货，解决厂内铁环使用问题；本实用新型能协助操作人员，将原使用的第一铁环转换成第二铁环，提高铁环转换效率。

Description

一种贴胶铁环转换治具

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆加工领域，尤其涉及一种贴胶铁环转换治具。

背景技术

习知加工厂商一般只备有尺寸不同的晶圆贴胶设备，例如8吋及12吋两种尺寸的晶圆贴胶设备，若客户偶有小尺寸的贴胶铁环需要贴胶，如6吋的贴胶铁环需要贴胶，则受限于目前的贴胶设备，仅有大尺寸的贴胶铁环,如8吋及12吋的贴胶铁环，而无法完成小尺寸铁环(frame)的贴胶，若重新购置或设计小尺寸铁环的晶圆贴胶设备，则大大增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种贴胶铁环转换治具，从而克服了现有技术的不足。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种贴胶铁环转换治具，包括基座和与所述基座铰接的上盖，其中，所述上盖上设置有旋转部，所述旋转部连接贴附轮及切割轮，所述基座上开设有第二铁环放置槽以及第一铁环放置槽，所述第一铁环放置槽位于所述第二铁环放置槽的上方，所述第二铁环放置槽的槽深与第二铁环的厚度相一致，当第一贴胶铁环及其晶圆放置于所述第一铁环放置槽内时，所述胶膜与放置于所述第二铁环放置槽内的第二铁环的顶端面相贴合，且所述贴附轮和切割轮在所述上盖与所述基座呈闭合状态时分别用于使所述胶膜贴附于所述第二铁环和用于切割所述胶膜。

优选的，所述旋转部包括设于所述上盖上的把手和与所述把手枢接的转臂，所述转臂的两端分别固定连接所述贴附轮及切割轮，当转动所述把手时，所述贴附轮及切割轮绕所述枢接点旋转。

优选的，所述第二铁环放置槽内设置有用于定位所述第二铁环的定位柱。

优选的，所述第一铁环放置槽内设置有用于定位所述第一铁环的定位柱。

优选的，所述基座一侧设有弹性挡止部，所述弹性挡止部用于抵挡所述第一铁环的侧边。

优选的，所述第二铁环放置槽对应于所述晶圆处向下开设有避让凹部。

优选的，所述上盖为透明上盖。

与现有技术相比，本实用新型的优点至少在于：

1)本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，可协助客户端只能接受小尺寸的第二铁环(如6吋铁环)出货，解决铁环使用问题，且节约了成本，避免了购置小尺寸(如6吋)晶圆贴胶设备。

2)本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，协助操作人员，将大尺寸(8吋)铁环更换成小尺寸(6吋)铁环，提高铁环转换效率。

3)本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，操作简单，优选的，本实用新型具有多个防呆的定位柱，即使初学的操作工也能轻易上手使用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对现有技术和实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例公开的贴胶铁环转换治具的剖视图；

图2为本实用新型实施例公开的贴胶铁环转换治具的俯视图；

图3为本实用新型实施例公开的上盖和旋转部的结构示意图；

图4为本实用新型实施例公开的基座和产品的组装示意图；

图5为本实用新型实施例公开的基座的示意图。

附图标记说明：1-基座、11-第二铁环放置槽、12-第一铁环放置槽、13-定位柱、14-定位柱、15-弹性挡止部、16-避让凹部、2-上盖、3-旋转部、31-把手、32-枢接轴、33-转臂，4-贴附轮、5-切割轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

参见图1-4所示，本实用新型实施例公开了一种贴胶铁环转换治具，包括基座1和与基座1铰接的上盖2，其中，上盖2上设置有旋转部3，旋转部3连接贴附轮4及切割轮5，基座1上开设有第二铁环放置槽11以及第一铁环放置槽12，第一铁环放置槽12位于第二铁环放置槽11的上方，第二铁环放置槽11的槽深与第二铁环K1的厚度相一致，当第一铁环K2(带胶膜K4)及其晶圆K3放置于第一铁环放置槽12内时，胶膜K4与放置于第二铁环放置槽11内的第二铁环K1的顶端面相贴合，且贴附轮4和切割轮5在上盖2与基座1呈闭合状态时，分别用于使胶膜K4贴附于第二铁环K1和用于切割胶膜K4。

优选的，旋转部3包括设于上盖2上的把手31和与把手31通过枢接轴32实现枢接的转臂33，转臂33的两端分别固定连接贴附轮4及切割轮5，当转动把手31时，贴附轮4及切割轮5绕枢接点旋转。

优选的，第二铁环放置槽11内设置有用于定位第二铁环K1的定位柱13。

优选的，第一铁环放置槽12内设置有用于定位第一铁环K2的定位柱14。

优选的，基座1一侧设有弹性挡止部15，弹性挡止部15用于抵挡第一铁环K2的侧边。

优选的，第二铁环放置槽11对应于晶圆K3处向下开设有避让凹部16,避让凹部16用于防止晶圆K3被刮伤。

优选的，上盖2为透明上盖，可以采用透明亚克力加工。

本实用新型的工作原理如下：

1)开启透明上盖2，放置小尺寸的第二铁环K1于基座1内的第二铁环放置槽11中，并由定位柱13进行定位。

2)将贴有胶膜K4的大尺寸的第一铁环K2及其所黏贴的晶圆K3放置于第一铁环放置槽12内，与此同时，晶圆K3位于避让凹部16的位置，贴有胶膜K4的第一铁环K2此时覆盖于第二铁环K1上，也就是说，胶膜K4与第二铁环K1的顶端面相贴合，以便两者粘合形成一体。

3)合上上盖2后，转动把手31，使与转臂33连接的贴附轮4及切割轮5绕枢接点进行旋转，从而通过切割轮5对相黏接第二铁环K1与胶膜K4进行切割分离，并同时将晶圆转换粘附于第二铁环K1上，从而完成小尺寸的第二铁环K1的转换作业。

4)开启上盖2，取出第一铁环K2后，则完成第二铁环K1贴膜的转换作业。

综上所述，本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，可协助客户端只能接受小尺寸铁环(如6吋铁环出货，解决厂内铁环使用问题，且节约了成本，避免了购置小尺寸(6吋)晶圆贴胶设备；本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，协助操作人员，将大尺寸(8吋)铁环更换成小尺寸(6吋)铁环，提高铁环转换效率；本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，操作简单，优选的，具多个防呆的定位柱，即使初学的操作工也能轻易上手使用。

需要说明的是，本实用新型提供的贴胶铁环转换治具，不但适用于8吋铁环转换为6吋铁环，还可以适用于将其他的任意尺寸的铁环转换成任意另一尺寸的铁环。

对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，包括基座和与所述基座铰接的上盖，其中，所述上盖上设置有旋转部，所述旋转部连接贴附轮及切割轮，所述基座上开设有第二铁环放置槽以及第一铁环放置槽，所述第一铁环放置槽位于所述第二铁环放置槽的上方，所述第二铁环放置槽的槽深与第二铁环的厚度相一致，当第一贴胶铁环及其晶圆放置于所述第一铁环放置槽内时，胶膜与放置于所述第二铁环放置槽内的第二铁环的顶端面相贴合，且所述贴附轮和切割轮在所述上盖与所述基座呈闭合状态时，分别用于使所述胶膜贴附于所述第二铁环和用于切割所述胶膜。

2.根据权利要求1所述的一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，所述旋转部包括设于所述上盖上的把手和与所述把手枢接的转臂，所述转臂的两端分别固定连接所述贴附轮及切割轮，当转动所述把手时，所述贴附轮及切割轮绕枢接点旋转。

3.根据权利要求1所述的一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，所述第二铁环放置槽内设置有用于定位所述第二铁环的定位柱。

4.根据权利要求1所述的一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，所述第一铁环放置槽内设置有用于定位所述第一铁环的定位柱。

5.根据权利要求1所述的一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，所述基座一侧设有弹性挡止部，所述弹性挡止部用于抵挡所述第一铁环的侧边。

6.根据权利要求1所述的一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，所述第二铁环放置槽对应于所述晶圆处向下开设有避让凹部。

7.根据权利要求1所述的一种贴胶铁环转换治具，其特征在于，所述上盖为透明上盖。