CN206360892U - 一种氮气密封干式螺杆真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，真空泵主动螺杆和从动螺杆上的型线为单头等螺距梯形齿；所述前端盖上安装的油箱上设置有电动机，所述主动螺杆穿过前轴承座的一端通过联轴器与电动机的转轴驱动相连，且联轴器位于油箱内，所述主动螺杆和从动螺杆与后轴承座之间设置有唇形密封件，所述主动螺杆和从动螺杆与前轴承座之间设置有双重密封件，所述双重密封件为机械密封件和氮气密封装置，所述氮气密封装置为由前轴承座、机械密封件与主动螺杆或从动螺杆的端部构成的氮气腔室，且该氮气腔室与氮气源相连通。本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，密封效果好且抽气效率高。

Description

一种氮气密封干式螺杆真空泵

技术领域

本实用新型涉及一种真空泵，尤其是涉及一种利用氮气密封结构的干式螺杆真空泵，属于真空泵技术领域。

背景技术

干式螺杆真空泵是上世纪九十年初，伴随欧美企业在薄膜、集成电路、半导体行业对无油高真空设备的迫切需求而发展起来的理想真空设备。由于干式螺杆真空泵具有真空高、抽气性能稳定、抽气范围广、结构简单紧凑、免维护、抽气元件之间不接触无摩擦、无废气、无废液排放等特点，因此干式螺杆真空泵是一种理想的节能环保产品，已经得到各行各业的广泛认可和使用。

干式螺杆真空泵的一对螺杆相互不能接触，螺杆与泵体的内腔及泵体的端面都必须保持一定的间隙。国内干式螺杆真空泵起步比较晚，至今没有一个比较成熟的产品，主要体现在可靠性差，温升大、噪声高、漏油等缺陷，目前国内螺杆真空泵的普及率不到10％，而且国内螺杆真空泵主要依靠进口，而进口螺杆真空泵的价格非常昂贵。决定干式螺杆真空泵可靠性的关键有二个主要因素，一个是螺杆泵的动密封，另一个是螺杆转子的型线，许多相关单位都在尝试研究一种抽气效率高、真空度高、温升低、结构简单、加工方便、性能稳定、可靠性好的螺杆型线。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种密封效果好且抽气效率高的氮气密封干式螺杆真空泵。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述氮气密封干式螺杆真空泵包含有泵体，所述泵体的前后两端分别安装有前端盖和后端盖，所述前端盖和后端盖上分别安装有前轴承座和后轴承座，所述泵体内穿接有主动螺杆和从动螺杆，所述主动螺杆和从动螺杆的两端分别穿过前端盖和后端盖后插置于前轴承座和后轴承座内的轴承套内；

所述主动螺杆和从动螺杆上的型线为单头等螺距梯形齿；

所述前端盖上安装的油箱上设置有电动机，所述主动螺杆穿过前轴承座的一端通过联轴器与电动机的转轴驱动相连，且联轴器位于油箱内，所述主动螺杆和从动螺杆与后轴承座之间设置有唇形密封件，所述主动螺杆和从动螺杆与前轴承座之间设置有双重密封件，所述双重密封件为机械密封件和氮气密封装置，所述氮气密封装置为由前轴承座、机械密封件与主动螺杆或从动螺杆的端部构成的氮气腔室，且该氮气腔室与氮气源相连通。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述主动螺杆和从动螺杆的内外径相等。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述主动螺杆的内径与从动螺杆的外径之比为1：2.5。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述主动螺杆和从动螺杆上的单头等螺距梯形齿的旋向相反。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，主动螺杆和从动螺杆的外径均为从吸气口到排气口逐渐变大。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述主动螺杆和从动螺杆上单头等螺距梯形齿设置有五圈。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述泵体的排气口上连接有一消声器。

本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述泵体上设置有冷却水套，所述后端盖和前端盖上均设置有冷却水腔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用单头等螺距梯形齿螺杆转子型线，这种型线加工简单、成本低，一般数控车床或数控铣床就能实现高精度螺杆转子的加工，这样螺杆真空泵的制造成本可以大大降低，可以满足更多用户对螺杆真空泵的迫切需求；

本实用新型引入氮气密封的好处在于：成本低廉（氮气的制取成本低）、无污染、可靠性好（氮气属于惰性气体在任何条件下都不会燃烧、爆炸）、并且对大气也不会产生污染；干式螺杆真空泵采用氮气密封可以完全隔离真空泵的油箱内的润滑油进入泵体的吸气腔内，不仅避免被抽气体被油污染，同时也可以避免被抽气体对真空泵润滑油的污染；采用氮气密封的另一个好处是可以利用低温氮气将密封件的摩擦热带走，使密封件的使用寿命大大延长。

附图说明

图1为本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵的正视剖视图。

图2为本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵的俯视剖视图。

图3为本实用新型一种氮气密封干式螺杆真空泵的侧视剖视图。

其中：

泵体1、后端盖2、后轴承座3、后轴承压盖4、唇形密封件5、主动螺杆6、从动螺杆7、前端盖8、双重密封件9、前轴承座10、传动齿轮11、油箱12、联轴器13、电动机14、消声器15；

吸气口1.1、排气口1.2。

具体实施方式

参见图1~3，本实用新型涉及的一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述氮气密封干式螺杆真空泵包含有泵体1，所述泵体1的前后两端分别安装有前端盖8和后端盖2，所述前端盖8和后端盖2上分别安装有前轴承座10和后轴承座3，所述泵体1内穿接有主动螺杆6和从动螺杆7，所述主动螺杆6和从动螺杆7的两端分别穿过前端盖8和后端盖2后插置于前轴承座10和后轴承座3内的轴承套内；

所述前端盖8上安装的油箱12上设置有电动机14，所述主动螺杆6穿过前轴承座10的一端通过联轴器13与电动机14的转轴驱动相连，且联轴器13位于油箱12内，所述主动螺杆6和从动螺杆7与后轴承座3之间设置有唇形密封件5，所述主动螺杆6和从动螺杆7与前轴承座10之间设置有双重密封件9，所述双重密封件9为机械密封件和氮气密封装置，所述氮气密封装置为由前轴承座10、机械密封件与主动螺杆6或从动螺杆7的端部构成的氮气腔室，且该氮气腔室与氮气源相连通；

所述主动螺杆6和从动螺杆7上的型线为单头等螺距梯形齿；

进一步的，主动螺杆6和从动螺杆7的内外径相等，且主动螺杆6的内径与从动螺杆7的外径之比为1：2.5；同时，主动螺杆6和从动螺杆7上的单头等螺距梯形齿的旋向相反，且主动螺杆6和从动螺杆7的外径均为从吸气口1.1到排气口1.2逐渐变大；

进一步的，所述主动螺杆6和从动螺杆7上单头等螺距梯形齿设置有五圈；

进一步的，所述泵体1的排气口1.2上连接有一消声器15；

进一步的，所述泵体1上设置有冷却水套，所述后端盖2和前端盖8上均设置有冷却水腔，用于水泵体进行冷却；

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种氮气密封干式螺杆真空泵，所述氮气密封干式螺杆真空泵包含有泵体（1），所述泵体（1）的前后两端分别安装有前端盖（8）和后端盖（2），所述前端盖（8）和后端盖（2）上分别安装有前轴承座（10）和后轴承座（3），所述泵体（1）内穿接有主动螺杆（6）和从动螺杆（7），所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）的两端分别穿过前端盖（8）和后端盖（2）后插置于前轴承座（10）和后轴承座（3）内的轴承套内；其特征在于：

所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）上的型线为单头等螺距梯形齿；所述前端盖（8）上安装的油箱（12）上设置有电动机（14），所述主动螺杆（6）穿过前轴承座（10）的一端通过联轴器（13）与电动机（14）的转轴驱动相连，且联轴器（13）位于油箱（12）内，所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）与后轴承座（3）之间设置有唇形密封件（5），所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）与前轴承座（10）之间设置有双重密封件（9），所述双重密封件（9）为机械密封件和氮气密封装置，所述氮气密封装置为由前轴承座（10）、机械密封件与主动螺杆（6）或从动螺杆（7）的端部构成的氮气腔室，且该氮气腔室与氮气源相连通。

2.如权利要求1所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）的内外径相等。

3.如权利要求2所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：所述主动螺杆（6）的内径与从动螺杆（7）的外径之比为1：2.5。

4.如权利要求1所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）上的单头等螺距梯形齿的旋向相反。

5.如权利要求1所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：主动螺杆（6）和从动螺杆（7）的外径均为从吸气口（1.1）到排气口（1.2）逐渐变大。

6.如权利要求1所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：所述主动螺杆（6）和从动螺杆（7）上单头等螺距梯形齿设置有五圈。

7.如权利要求1所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：所述泵体（1）的排气口（1.2）上连接有一消声器（15）。

8.如权利要求1所述一种氮气密封干式螺杆真空泵，其特征在于：所述泵体（1）上设置有冷却水套，所述后端盖（2）和前端盖（8）上均设置有冷却水腔。