CN206320101U - 复动式真空吸附用流体压力缸 - Google Patents

Abstract

复动式真空吸附用流体压力缸(10)具有：活塞(14)，其滑动自如地配设在缸主体(12)的内部；活塞杆(16)，其与活塞(14)连结；杆罩(18)，其固定于缸主体(12)；以及滑块(20)，其与从杆罩(18)向外方突出的活塞杆(16)的端部连结，在滑块(20)装配有喷嘴(21)，在活塞(14)与杆罩(18)之间配设有弹簧(68)。根据本实用新型的复动式真空吸附用流体压力缸，能够通过紧凑的结构使喷嘴等与工件接触时所产生的静电接地。

Description

复动式真空吸附用流体压力缸

技术领域

本实用新型涉及复动式真空吸附用流体压力缸，该真空吸附用流体压力缸在压力流体的供给作用下使活塞沿着轴向位移。

背景技术

以往，作为工件等的吸附搬送单元使用流体压力缸，该流体压力缸具有在压力流体的供给作用下位移的活塞(参照日本特开2015-212560号公报)。在该流体压力缸中，在与活塞连结的活塞杆的顶端设置有位移块，能够对工件进行真空吸附的吸附垫装配于该位移块。并且，通过向流体压力缸供给的压力流体使活塞位移，位移块向工件侧移动而抵接，从而工件被吸附垫吸附。

并且，在这样的流体压力缸中，还公知有使喷嘴与工件接触时所产生的静电接地的装置(参照韩国授权专利第10-1000392号公报)。由于该装置在与喷嘴结合的滑块和缸主体之间配设了弹簧，因此在喷嘴与工件接触时所产生的静电经由该弹簧而向缸主体导电。

根据在韩国授权专利第10-1000392号公报中记载的装置，能够通过在喷嘴与工件接触时所产生的静电而防止工件带电，但由于采用在滑块与缸主体之间配设弹簧的构造，因此有可能导致装置大型化。

实用新型内容

本实用新型是考虑这样的课题而完成的，其目的在于，提供一种复动式真空吸附用流体压力缸，能够通过紧凑的结构使喷嘴或安装于喷嘴的真空垫(以下，称为“喷嘴等”)与工件接触时所产生的静电接地。

本实用新型的复动式真空吸附用流体压力缸的特点在于，具有：活塞，该活塞滑动自如地配设在缸主体的内部；活塞杆，该活塞杆与活塞连结；杆罩，该杆罩固定于缸主体；以及滑块，该滑块与活塞杆的从杆罩向外方突出的端部连结，在滑块装配有喷嘴，在活塞与杆罩之间配设有弹簧。

根据上述的真空吸附用流体压力缸，能够通过紧凑的结构而使喷嘴等与工件接触时所产生的静电接地。

在上述的真空吸附用流体压力缸中，优选弹簧是压缩螺旋弹簧。由此，能够使弹簧在活塞与杆罩之间容易地追随。

并且，优选滑块经由缓冲机构与活塞杆连结。由此，能够防止在结合于滑块的喷嘴与工件之间施加过大的荷重。

此外，优选中空状的真空杆与滑块连结，真空杆配设成在缸主体的内部滑动自如。由此，能够将构成负压供给路的真空杆用作滑块的引导部件。

在上述的情况下，优选真空杆的内部空间经由形成于滑块的流路而与喷嘴的内部空间连通。并且，优选真空杆经由轴承支承于缸主体。此外，优选真空杆的连结于滑块的一侧的相反侧的端部从滑块向外方突出。

根据本实用新型的复动式真空吸附用流体压力缸，由于在活塞与杆罩之间配设有构成导电路径的弹簧，因此能够通过紧凑的结构而使喷嘴等与工件的接触时所产生的静电接地。

关于上述的目的、特征和优点，可以根据参照附图进行说明的以下的实施方式的说明而容易地理解。

附图说明

图1是本实用新型的实施方式的真空吸附用流体压力缸的剖视图。

图2是图1所示的真空吸附用流体压力缸的侧视图。

图3是示出在图1所示的真空吸附用流体压力缸中滑块向远离缸主体的方向移动的状态的剖视图。

具体实施方式

关于本实用新型的复动式真空吸附用流体压力缸，列举优选的实施方式，参照附图而在下文详细地说明。以下，在称为“轴向”时，指图1的箭头AB方向。并且，在称为“一端”时，指图1的箭头A方向，在称为“另一端”时，指图1的箭头B方向。

真空吸附用流体压力缸10被组装于电子部件等工件的搬送装置来使用，如图1所示，真空吸附用流体压力缸10包含缸主体12、活塞14、活塞杆16、杆罩18、滑块20。

缸主体12由金属材料形成，具有长方体状的主体部22和从主体部22的端部延伸的安装板部24。沿着轴向延伸的气缸孔26与杆孔28相互平行地形成在主体部22的内部。气缸孔26从缸主体12的一端附近延伸到另一端，并在该另一端开口。杆孔28从缸主体12的一端延伸到另一端，并在缸主体12的轴向两端开口。杆孔28在从缸主体12的另一端侧起到规定的范围之间扩径，接纳后述的第2轴承90。在安装板部24形成有用于将缸主体12安装到未图示的搬运装置的安装孔30和定位孔32。

在气缸孔26中滑动自如地配设有活塞14，在活塞14的一方侧划分出第1压力室34，并且在活塞14的另一方侧划分出第2压力室36。在缸主体12的一端侧形成有用于向第1压力室34供给压力流体的第1端口38和用于向第2压力室36供给压力流体的第2端口40。第1端口38经由小径的第1连接通道42与第1压力室34连通，第2端口40经由接近于气缸孔26且与气缸孔26平行地延伸的大径的轴向通路44和与轴向通路44正交的小径的第2连接通道46而与第2压力室36连通。第1端口38和第2端口40经由未图示的配管和切换阀而与未图示的压力流体供给源连接。另外，参照符号47所表示的是对在加工第2连接通道46时所形成的孔进行封闭的栓体。

活塞14由金属材料形成为圆筒状，在活塞14的外周面经由环状槽装配有一对活塞密封件48。活塞密封件48相对于气缸孔26的内周面滑动接触。具有内螺纹的活塞孔52在轴向上贯通设置于活塞14的内部。

活塞杆16由金属材料形成为轴状，在其一端部设置有直径比中央部缩径了的连结部54。连结部54在外周具有外螺纹，通过使连结部54与活塞孔52螺合而使活塞杆16与活塞14连结。在活塞杆16的靠另一端部的外周设置有在周向上延伸的肋56，在活塞杆16的另一端部形成有外螺纹。

活塞杆16的连结部54从活塞14的一端突出，在该突出部位装配有缓冲器58。缓冲器58由例如橡胶等弹性材料构成，在活塞14向气缸孔26的一端侧位移时，防止与气缸孔26的壁面直接接触，缓和接触时的冲击。并且，在与活塞14的另一端邻接的活塞杆16的外周装配有金属制的弹簧导向件60。弹簧导向件60具有供后述的弹簧68的一端落座的凸缘部49。

杆罩18由金属材料形成为圆筒状，从气缸孔26的另一端部侧插入并螺合杆罩18。杆罩18具有与后述的端板62抵接的凸缘部50。在杆罩18的外周面经由环状槽而装配有密封环64，密封环64与气缸孔26的内周面抵接。由此，防止压力流体从气缸孔26与杆罩18之间漏出。

在杆罩18的内部形成有沿轴向延伸的贯通孔，活塞杆16在轴向上移动自如地插通该贯通孔。在杆罩18的贯通孔的内周面经由环状槽装配有杆密封件66，杆密封件66与活塞杆16的外周面抵接。由此，防止压力流体从杆罩18与活塞杆16之间漏出。

在第2压力室36的内部且在活塞导向件60与杆罩18之间设置有金属制的弹簧68。弹簧68是压缩螺旋弹簧，在活塞14处于最远离杆罩18的位置时，弹簧68也处于从自然长度压缩的状态。因此，弹簧68的一端部和另一端部分别与活塞导向件60和杆罩18始终接触。

滑块20由金属材料形成，具有在轴向上延伸的3个安装孔，即活塞杆安装孔70、真空杆安装孔72和喷嘴安装孔74。活塞杆安装孔70在滑块20的轴向两端开口，设置有在该活塞杆安装孔70的轴向规定的部位向内方突出的环状的凸缘部76。真空杆安装孔72在滑块20的一端侧开口。喷嘴安装孔74具有在滑块20的另一端侧开口的大径部和连续至该喷嘴安装孔74的底部的小径部，在喷嘴安装孔74的靠近开口的部位形成有内螺纹。喷嘴安装孔74与真空杆安装孔72通过与它正交的第3连接通道78而相互连接。另外，参照符号79所表示的是对在加工第3连接通道78时形成的孔进行封闭的栓体。

接着，对在滑块20与活塞杆16的连结部设置的缓冲机构进行说明。缓冲机构包含套筒80、缓冲杆82以及缓冲弹簧84。

套筒80由金属材料形成为圆筒状，在外周具有台阶部。缓冲杆82具有大径的头部85和与头部85相连的圆筒状的轴部86，在轴部86形成有具有内螺纹的孔。将套筒80外插于活塞杆16的另一端侧，缓冲杆82与活塞杆16的另一端部螺合并固定。由此，套筒80被夹持在活塞杆16的肋56与缓冲杆82的轴部86之间。套筒80和缓冲杆82的轴部86被收纳在滑块20的活塞杆安装孔70内。缓冲杆82经由轴承51而沿轴向滑动自如地支承于滑块20。缓冲弹簧84由金属制的压缩螺旋弹簧构成，并配设在从活塞杆安装孔70向内方突出的凸缘部76与套筒80的台阶部之间。

在未向滑块20施加外力时，缓冲杆82因缓冲弹簧84的作用力而在其头部85的背面上与滑块20的端面抵接，滑块20与活塞杆16一体地移动。在向滑块20施加了规定以上的外力时，缓冲弹簧84被压缩，缓冲杆82的头部85从滑块20的端面分离。由此，防止安装于喷嘴21的吸附垫(未图示)在与工件抵接时被施加过度的载荷。

真空杆17插通于缸主体12的杆孔28，通过配设在杆孔28的一端侧的第1轴承88和配设在杆孔28的扩径了的另一端侧的第2轴承90而被支承为沿轴向滑动自如。第2轴承90是滑动阻力较少的滚珠花键型的轴承，从杆孔28的另一端侧插入第2轴承90，通过安装于缸主体12的端部的端板62来保持第2轴承90。另外，参照符号89所表示的是将第2轴承90固定于缸主体12的止挡件。通过将螺纹部件91和杆罩18螺合于缸主体12，从而端板62被夹持在螺纹部件91的头部和杆罩18的凸缘部50与缸主体12之间而固定，参照符号91所表示的是将端板62固定于缸主体12的螺纹部件。

在真空杆17的内部形成有沿着轴向延伸的真空通路92，真空通路92在真空杆17的轴向两端开口。真空杆17的一端部通过配管(未图示)与负压供给源(未图示)连接，真空杆17的另一端部被插入滑块20的真空杆安装孔72而固定。密封环97经由环状槽装配于真空杆安装孔72的内周面，密封环97与真空杆17的外周面抵接。

喷嘴21由金属材料形成为圆筒状，具有与喷嘴安装孔74的大径部螺合的大径筒部94和与喷嘴安装孔74的小径部嵌合的小径筒部95。密封环93经由环状槽装配于大径筒部94的外周面，密封环93与喷嘴安装孔74的内周面抵接。在喷嘴21的内部形成有沿着轴向延伸的第1通路96和与第1通路96正交的第2通路98。大径筒部94从滑块20的另一端突出，第1通路96在大径筒部94的另一端开口。在大径筒部94的另一端面安装有由导电性材料构成的真空垫(未图示)。第2通路98在喷嘴21的小径筒部95的侧面开口，并与形成于滑块20的第3连接通道78连通。

形成于喷嘴21的第1通路96和第2通路98、形成于滑块20的第3连接通道78和真空杆安装孔72的一部分、形成于真空杆17的真空通路92按照该顺序连接，成为用于吸附工件的负压生成流路。

本实施方式的真空吸附用流体压力缸10基本上像上述那样构成，以下，参照图1和图3对其作用进行说明。这里，如图1所示，将活塞14位于缸主体12的一端部侧的状态设为初始位置。另外，图1中的上下方向与真空吸附用流体压力缸10安装于搬运装置而使用时的铅垂方向并不一致，例如图1的B方向为铅垂向下。

在该初始位置上，当从未图示的压力流体供给源向第1端口38供给压力流体时，压力流体被导入第1压力室34，活塞14朝向缸主体12的另一端侧(箭头B方向)位移。与此相伴，活塞杆16和滑块20一体地位移。另外，在该情况下，使第2端口40为大气开放状态。

通过滑块20位移，从而与滑块20连结的真空杆17以支承于第1轴承88和第2轴承90的状态在轴向(箭头B方向)上一体地位移。安装于滑块20的喷嘴21向未图示的工件接近。

然后，如图3所示，活塞14进一步向缸主体12的另一端部侧位移，真空垫与工件抵接。由于从与负压供给源连接的真空杆17的真空通路92通过滑块20的真空杆安装孔72的一部分和第3连接通道78向设置于喷嘴21的内部的第1通路96和第2通路98供给负压，因此工件被吸附于真空垫。

当确认了工件的吸附之后，通过未图示的切换阀将向第1端口38供给的压力流体向第2端口40供给时，压力流体被导入第2压力室36，活塞14朝向缸主体12的一端部(箭头A方向)位移。与此相伴，在真空垫吸附工件的状态下滑块20以接近缸主体12的方式移动。另外，在该情况下，第1端口38为大气开放状态。

然后，当活塞14移动到气缸孔26的一端部的状态下，真空吸附用流体压力缸10被搬运到规定的搬运位置之后，通过从第2端口40向第1端口38切换压力流体的供给而使滑块20从缸主体12分离。然后，在将工件载放于规定位置的状态下停止从负压供给源向真空通路92供给负压。由此，解除真空垫中的工件的吸附状态，工件的搬运作业结束。

真空垫与工件抵接时所产生的静电按照喷嘴21、滑块20、缓冲弹簧84、套筒80、活塞杆16、活塞14、弹簧导向件60、弹簧68、杆罩18、缸主体12的顺序导电而接地。由此，能够防止工件带电。另外，还存在上述静电从滑块20向真空杆17导电，进一步经由第1轴承88或者第2轴承90向缸主体12导电的情况，但由于在第1轴承88和第2轴承90存在非导电性的润滑脂，因此该导电路径并不是始终成立。

并且，当真空垫与工件抵接时对喷嘴21施加规定以上的荷重时，缓冲弹簧84收缩从而滑块20相对于活塞杆16相对移动。由此，防止在喷嘴21与工件之间施加过大的荷重。

根据本实施方式的真空吸附用流体压力缸10，由于在活塞14与杆罩18之间配设有构成导电路径的弹簧68，因此能够通过紧凑的结构使喷嘴21等与工件接触时所产生的静电接地。

在上述的实施方式中，虽然在滑块与活塞杆之间设置缓冲机构，但也可以不设置缓冲机构，而使滑块与活塞杆一体地连结。并且，虽然使弹簧经由弹簧导向件与活塞抵接，但是也可以不设置弹簧导向件。此外，虽然作为配设在活塞与杆罩之间的弹簧使用了压缩螺旋弹簧，但只要是一边追随着活塞的移动一边始终与活塞或弹簧导向件与杆罩接触的导电性的弹簧，也可以采用其他的种类。

本实用新型的复动式真空吸附用流体压力缸不限于上述的实施方式，只要在不脱离本实用新型的主旨的范围中，当然可以采用各种结构。

Claims (7)

1.一种复动式真空吸附用流体压力缸，具有：活塞(14)，该活塞滑动自如地配设在缸主体(12)的内部；活塞杆(16)，该活塞杆与所述活塞(14)连结；杆罩(18)，该杆罩固定于所述缸主体(12)；以及滑块(20)，该滑块与所述活塞杆(16)的从所述杆罩(18)向外方突出的端部连结，该复动式真空吸附用流体压力缸的特征在于，

在所述滑块(20)装配有喷嘴(21)，在所述活塞(14)与所述杆罩(18)之间配设有弹簧(68)。

2.根据权利要求1所述的复动式真空吸附用流体压力缸，其特征在于，

所述弹簧(68)是压缩螺旋弹簧。

3.根据权利要求1所述的复动式真空吸附用流体压力缸，其特征在于，

所述滑块(20)经由缓冲机构(80、82、84)与所述活塞杆(16)连结。

4.根据权利要求1所述的复动式真空吸附用流体压力缸，其特征在于，

中空状的真空杆(17)与所述滑块(20)连结，所述真空杆(17)配设成在所述缸主体(12)的内部滑动自如。

5.根据权利要求4所述的复动式真空吸附用流体压力缸，其特征在于，

所述真空杆(17)的内部空间经由形成于所述滑块(20)的流路(72、78)而与所述喷嘴(21)的内部空间连通。

6.根据权利要求4所述的复动式真空吸附用流体压力缸，其特征在于，

所述真空杆(17)经由轴承(88、90)支承于所述缸主体(12)。

7.根据权利要求6所述的复动式真空吸附用流体压力缸，其特征在于，

所述真空杆(17)的连结于所述滑块(20)的一侧的相反侧的端部从所述滑块(20)向外方突出。