CN206271738U - 挂钩承载上镀膜载板 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 7
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 3
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 3
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 3
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101001073212 Arabidopsis thaliana Peroxidase 33 Proteins 0.000 description 1
- 101001123325 Homo sapiens Peroxisome proliferator-activated receptor gamma coactivator 1-beta Proteins 0.000 description 1
- 102100028961 Peroxisome proliferator-activated receptor gamma coactivator 1-beta Human genes 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 108010051489 calin Proteins 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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Abstract
本实用新型提供了一种挂钩承载上镀膜载板，是对板式PECVD上镀膜工艺中硅片载板的结构改进，在载板上具有用于装载硅片槽的边沿上安装有挂钩，挂钩具有用于托住上镀膜硅片底面边沿的钩尖。本实用新型将上镀膜载板与硅片的接触面从现有的90°平台阶面改为挂钩承载，将硅片与载板的面接触改善成多点接触，极大地抑制了生产过程中边缘效应的不利影响，提高了电池片的镀膜效率。
Description
技术领域
本实用新型属于光伏产品的工艺设备技术领域，涉及对板式PECVD镀膜、PERC电池背钝化和镀膜等太阳能电池片镀膜工艺中的载板的结构改进，具体涉及一种挂钩承载上镀膜载板。
背景技术
在太阳能电池的硅片制造工艺中，硅片通过碳纤维载板装载，再进入板式PECVD生产线进行镀膜，可见载板装载是硅片成为电池片的生产工序中的一道必要工序。现有上镀膜载板的结构如图1所示，其工作时载板托住硅片的部分是台阶面，台阶面上立面与平面的夹角为90°，而在生产过程中，硅片和载板上的承载面一直是接触的，经过高温以及相应的生产工艺后，在接触面位置会对硅片所镀的膜层会产生影响，如边缘效应。
对现有硅片上镀膜载板的结构进行优化设计，降低其对硅片镀膜边缘部分的影响，就成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种挂钩承载上镀膜载板。
技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型提供的挂钩承载上镀膜载板，具有用于装载硅片的槽，在槽的边沿上安装有挂钩，所述挂钩具有用于托住上镀膜硅片底面边沿的钩尖。
具体地，所述槽的边沿上布设有用于卡接挂钩的缺口。
具体地，所述缺口分布在槽的四周。
具体地，槽的每条边上具有两个缺口。
具体地，所述钩尖与载板上表面具的间距为0.2-2mm。
具体地，所述载板的中部安装有中部挂钩，边缘安装有边缘挂钩，所述中部挂钩的两侧均设有钩尖，所述边缘挂钩在载板内的一侧具有钩尖。
具体地，所述中部挂钩两侧的钩尖相互对称，以载板边缘为对称轴，两侧钩尖承受的硅片的重力相互平衡，保证载板的稳定状态。
具体地，在缺口的顶部和底部安装有垫片，挂钩和垫片均由薄钢片制成，载板由碳纤维制成，垫片在保证挂钩与载板卡合金紧密度的同时，也能对挂钩卡合部的内侧做限位，避免其过度挤压碳纤维载板。
具体地，所述槽在载板上呈网格状分布，使装载的硅片呈矩阵排列。
本实用新型的上镀膜挂钩，和下镀膜挂钩的最大区别是，上镀膜挂钩的钩尖的高度离上表面近，下镀膜挂钩的钩尖离下表面近，钩尖比下表面高0.2到低2.2mm之间；将钩尖高度按照上表面为基准计算，上镀膜的挂钩钩尖高度应该是比上表面低0.2-2mm范围，下镀膜钩尖比上表面低4.8-7.2mm之间；载板的板厚为5mm。
有益效果：本实用新型将上镀膜载板与硅片的接触面从现有的90°平台阶面改为挂钩承载，将硅片与载板的面接触改善成多点接触，极大地抑制了生产过程中边缘效应的不利影响。将下镀膜的挂钩转用到上镀膜中，所面临的绕镀问题是本领域技术人员一直渴望解决但始终未能获得成功的技术难题，发明人通过对尺寸的优化设计和试产验证，在绕镀和边缘效应之间取得了合理的平衡点，提高了上镀膜电池片的镀膜效率。
除了上面所述的本实用新型解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的优点外，本实用新型的挂钩承载上镀膜载板所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的优点，将结合附图做出进一步详细的说明。
附图说明
图1是现有硅片载板的结构示意图；
图2是本实用新型实施例1的结构示意图；
图3是图2的整体结构图
图4是图3的局部放大图；
图5本实用新型实施例2的结构示意图；
图中：1硅片，2载板，2-1边沿，2-2槽，3双侧挂钩，3-1钩尖，4垫片，5单侧挂钩，5-1单侧钩尖。
具体实施方式
实施例1：
本实施例的挂钩承载上镀膜载板如图2所示，在槽边沿2-1卡接有垫片4和双侧挂钩3，其钩尖3-1托住硅片1的底部边沿，钩尖3-1与载板上表面具的间距取0.2-2mm。
如图3和图4所示，载板2上具有网格状分布的槽2-2，在其边沿2-1上设有用于卡接挂钩的缺口，所述缺口均布在槽的四周，每条边上两个缺口。
本实施例的结构是去除现有的90°平台阶面，利用一组金属挂钩托住硅片，和台阶面一样起到承载硅片的作用。硅片在挂钩承载的情况下，硅片和载板不接触，极大减少生产过程中边缘效应的不利影响，提高电池片效率。
实施例2
本实施例的结构如图5所示，不同与实施例1的双侧结构，本实施例的挂钩采用单侧结构，布置在载板的边缘，单侧挂钩5与单侧钩尖5-1均指向槽内，与载板内部的双侧挂钩配合使用。
以上结合附图对本实用新型的实施方式做出详细说明，但本实用新型不局限于所描述的实施方式。对本领域的普通技术人员而言，在本实用新型的原理和技术思想的范围内，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变形仍落入本实用新型的保护范围内。
Claims (9)
1.一种挂钩承载上镀膜载板，具有用于装载硅片的槽，其特征在于：在槽的边沿上安装有挂钩，所述挂钩具有用于托住上镀膜硅片底面边沿的钩尖。
2.根据权利要求1所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述槽的边沿上布设有用于卡接挂钩的缺口。
3.根据权利要求2所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述缺口分布在槽的四周。
4.根据权利要求3所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：槽的每条边上具有两个缺口。
5.根据权利要求1所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述钩尖与载板上表面具的间距为0.2-2mm。
6.根据权利要求5所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述载板的中部安装有中部挂钩，边缘安装有边缘挂钩，所述中部挂钩的两侧均设有钩尖，所述边缘挂钩在载板内的一侧具有钩尖。
7.根据权利要求6所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述中部挂钩两侧的钩尖相互对称。
8.根据权利要求2所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述缺口的顶部和底部安装有垫片。
9.根据权利要求1所述的挂钩承载上镀膜载板，其特征在于：所述槽在载板上呈网格状分布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621414301.XU CN206271738U (zh) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 挂钩承载上镀膜载板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621414301.XU CN206271738U (zh) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 挂钩承载上镀膜载板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206271738U true CN206271738U (zh) | 2017-06-20 |
Family
ID=59047226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621414301.XU Expired - Fee Related CN206271738U (zh) | 2016-12-22 | 2016-12-22 | 挂钩承载上镀膜载板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206271738U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108054125A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-05-18 | 常州比太黑硅科技有限公司 | 一种搭接式碳纤维载板 |
-
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108054125A (zh) * | 2018-01-11 | 2018-05-18 | 常州比太黑硅科技有限公司 | 一种搭接式碳纤维载板 |
| CN108054125B (zh) * | 2018-01-11 | 2024-02-13 | 常州比太黑硅科技有限公司 | 一种搭接式碳纤维载板 |
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