CN206270649U - 双面曝光机的自动调焦系统 - Google Patents

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杨文�
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Jiangsu Yingsu integrated circuit equipment Co., Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种双面曝光机的自动调焦系统,从左到右依次为左DMD、左成像镜筒、左物镜镜筒、右物镜镜筒、右成像镜筒和右DMD,PCB板竖直放置于右物镜镜筒和左物镜镜筒之间,所述的右物镜镜筒安装在微型电动旋转平台上,所述的右DMD安装在微型Z轴电动位移平台。本实用新型对PCB板进行双面同时曝光,可以大幅度缩短曝光流程时间,一路光路系统完全固定,另一路光学系统电控调节,满足不同板厚的PCB板实现双面同时曝光。

Description

双面曝光机的自动调焦系统
技术领域
本实用新型涉及一种双面曝光机的自动调焦系统。
背景技术
随着数码产品的飞速发展,电子市场的对PCB板的要求更加的严苛,更高的密度,更小的尺寸。相比于传统曝光机,激光直写式曝光机有着更快的曝光速度,更细的线宽,更稳定的生产效率,成为当前PCB板生产的主流设备。目前市场上,大于以单台面曝光机为主,先进行A面曝光,然后人为翻板后,再进行B面曝光。由于曝光流程的上板,对准,曝光,下板的流程依次进行,操作耗时已经再难以压缩。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种双面曝光机的自动调焦系统,采用双面曝光机,对PCB板进行双面同时曝光,可以大幅度缩短曝光流程时间,一路光路系统完全固定,另一路光学系统电控调节,满足不同板厚的PCB板实现双面同时曝光。
为了实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种双面曝光机的自动调焦系统,从左到右依次为左DMD、左成像镜筒、左物镜镜筒、右物镜镜筒、右成像镜筒和右DMD,PCB板竖直放置于右物镜镜筒和左物镜镜筒之间,所述的右物镜镜筒安装在微型电动旋转平台上,所述的右DMD安装在微型Z轴电动位移平台。
PCB板通过位移平台带动,实现X-Y二维方向上的扫描曝光。
本实用新型的PCB板竖立放置,一套成像光路在PCB的左边,且曝光焦面与PCB板的左面重合,相对位置固定不变,另一套成像光路在PCB的右边,其曝光焦面可以自由调节,以适应不同厚度的板厚。本发明能够实现PCB板双面同时曝光,且可以自动调焦,以适应不同的PCB板厚。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中:1.左DMD、2.左成像镜筒、3.左物镜镜筒、4.PCB板、5.右物镜镜筒、6.微型电动旋转平台、7.右成像镜筒、8.右DMD、9.微型Z轴电动位移平台。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,一种双面曝光机的自动调焦系统,从左到右依次为左DMD1、左成像镜筒2、左物镜镜筒3、右物镜镜筒5、右成像镜筒7和右DMD8,PCB板4竖直放置于右物镜镜筒和左物镜镜筒3之间,所述的右物镜镜筒5安装在微型电动旋转平台6上,所述的右DMD8安装在微型Z轴电动位移平台9上。PCB板通过位移平台带动,实现X-Y二维方向上的扫描曝光。
本申请将PCB板竖直放置,左右光路分别在PCB板两侧,一组光路固定,另一组光路通过内部电控,实现不同板厚的自动调焦,PCB板通过位移平台带动,实现X-Y二维方向上的扫描曝光。右边光路系统,DMD可以沿光轴进行电控移动,物镜镜筒可以进行电控旋转。当进行不同板厚的PCB板进行曝光时,可以通过电控DMD移动来调节像方工作距,以确保焦面与不同板厚的右面重合,可以通过电控旋转物镜镜筒来微调光学系统的放大倍率。
光学系统中加一些光学镜片或其他相关器件进行光路修改或补偿,均包含于此发明中。以上所述仅为本发明的优选实施例,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述实施例中所记载的技术方案进行修改,或者进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种双面曝光机的自动调焦系统,其特征在于,从左到右依次为左DMD、左成像镜筒、左物镜镜筒、右物镜镜筒、右成像镜筒和右DMD,PCB板竖直放置于右物镜镜筒和左物镜镜筒之间,所述的右物镜镜筒安装在微型电动旋转平台上,所述的右DMD安装在微型Z轴电动位移平台。
2.根据权利要求1所述的一种双面曝光机的自动调焦系统,其特征在于所述的PCB板通过位移平台带动,实现X-Y二维方向上的扫描曝光。
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CP03 Change of name, title or address
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