CN206259326U - 基板旋转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种基板旋转装置，其对圆形盘形状的基板进行支撑的同时使得基板进行旋转，其包括：基板支撑部，其设置为对基板的边缘一侧进行支撑；倾斜支撑部，其设置为对所述基板的另一边缘一侧进行支撑，并设置为以一端为基准能够相对于所述基板支撑部倾斜，并且能够以与相对所述基板支撑部的所述基板配置角度相对应的形式，对所述倾斜支撑部的倾斜角度(tilting angle)进行调节，从而能够稳定保持支撑状态(夹持状态)，并能够准确控制基板的旋转条件。

Description

基板旋转装置

技术领域

本实用新型涉及一种基板旋转(spinning)装置，更为详细地涉及一种基板旋转装置，所述基板旋转装置能够以与基板的配置角度相对应的形式调整支撑基板的支撑部的配置角度。

背景技术

通过在晶元等的基板上进行蒸镀工艺、光刻工艺、蚀刻工艺等多项工艺来制成半导体元件。并且，在进行所述工艺之后，进行对残留于基板上的不必要的薄膜、粒子等异物进行去除的清洗工艺。

尤其，结束化学机械研磨工艺的基板因为表面残留有很多异物，所以为了去除异物而进行多步骤的清洗工艺，其中，正在探索能够对基板的上面和下面同时进行清洗的方案。

例如，用于刷式(brush)清洗装置的基板旋转装置1的构成如图1及图2所示，所述刷式清洗装置通过清洗刷子(brush)99同时对圆形盘(disc)形状的基板W的上面和下面进行接触清洗。换句话说，基板旋转装置1如果得到圆形盘形状的基板W的供给，则使得固定一对A1、A2的驱动支撑体10、20的支撑架(未示出)中的任意一个进行移动，从而在将基板W收纳至驱动支撑体10、20的接触支撑体15、25的状态下，对接触支撑体15进行旋转驱动，从而使得基板W进行水平旋转。

在基板水平旋转的同时，能够向旋转的同时接触于基板的表面的刷子99供给清洗液及药液等，同时去除残留于基板W的表面的异物。

通常，基板旋转装置1的驱动支撑体10、20形成为三个以上，并且驱动支撑体10、20中的一部分作为对基板W进行旋转驱动的驱动支撑体10而设置，剩余的其他部分作为对基板W的旋转数进行测定的空转轮(idler)支撑体20而设置。

如图3所示，驱动支撑体10包括：驱动旋转12，其通过驱动马达M得到旋转驱动，且在上、下侧通过轴承(bearing)12b得到旋转支撑；中空壳体(housing)13，其包裹驱动旋转轴12的外围；接触支撑体15，其结合于驱动旋转轴12的上端部，从而对基板W进行支撑。

接触支撑体15结合于驱动旋转轴12，从而与驱动旋转轴12共同进行旋转。如图3及图4所示，接触支撑体15可分割形成为多个支撑体15a、15b、15b，并且通过连接螺栓(bolt)77x、78x、79x得以结合。根据情况的不同，接触支撑体也能够只设置为一个主体。保持接触支撑体15接触基板W的边缘的状态，随着接触支撑体15得到旋转驱动，与接触支撑体15接触的基板W也同时得到旋转驱动。

如图5所示，空转轮(idler)支撑体20也包括：驱动旋转轴22，其在上、下侧通过轴承(bearing)22b得到旋转支撑；中空壳体23，其包裹驱动旋转轴22的外围；接触支撑体25，其结合于驱动旋转轴22的上端部，从而对基板W进行支撑。并且，不是驱动马达连接于驱动旋转轴22，而是对旋转数进行感知的编码器(encoder)的等传感器S连接设置于驱动旋转轴22，从而对与空转轮接触支撑体25共同进行旋转的驱动旋转轴22的旋转数进行测定，进而对基板W的旋转数进行感知。

如上所述，在现有旋转装置1中，因为必须以基板接触(夹持(grip))于驱动支撑体及空转轮支撑体的状态进行旋转，所以必须能够使得驱动支撑体及空转轮支撑体与基板的接触状态保持稳定。

但是，现有情况下，如果因为加工及设置存在偏差，或者由于清洗液使得刷子润湿而导致刷子下垂等，而使得基板以倾斜的状态配置，则存在如下问题：使得驱动支撑体10及空转轮支撑体20中的特定支撑体发生无法夹持(接触)基板W的情况。假设，在特定驱动支撑体与基板无法接触的情况下，因为无法通过特定驱动支撑体的驱动力传递至基板，所以存在难以使得基板稳定地旋转的问题；在空转轮支撑体与基板无法接触的情况下，因为无法检测基板的旋转数，所以存在基板的清洗量无法计算的问题。

此外，现有技术中存在如下问题：在各个支撑体(驱动支撑体及空转轮支撑体)夹持基板W的夹持压力不均匀或特定支撑体无法接触于基板的情况下，在各个支撑体(驱动支撑体及空转轮支撑体)上实质接触于基板的聚氨酯(urethane)材质的接触支撑体15、25分别被不均匀地磨损，因此问题在于，难以对各个接触支撑体的替换周期进行管理。

尤其，现有技术中，根据接触支撑体15、25的外径公差而各个支撑体(驱动支撑体及空转轮支撑体)夹持基板W的夹持压力可能不同，各个支撑体以互不相同的夹持压力夹持基板时，存在可能发生基板旋转偏差的问题，因此接触支撑体需要较高的加工精细度。

由此，最近正在进行如下探讨：通过各个支撑体(驱动支撑体及空转轮支撑体)能够使得基板的夹持状态保持稳定，用于修正加工及设置精细度或刷子的下垂等所致的偏差，但是仍存在不足，从而需要对其进行开发。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基板旋转装置，其能够使得基板的支撑状态(夹持状态)得到稳定保持，并能够对基板的旋转条件进行准确控制。

尤其，本实用新型的目的在于提供一种基板旋转装置，其能够根据工艺条件对支撑基板的倾斜支撑部的倾斜角度进行调节。

此外，本实用新型的目的在于提供一种基板旋转装置，其能够将基板的支撑压力调节为均匀。

此外，本实用新型的目的在于提供一种基板旋转装置，其对根据基板的清洗工艺的清洗量进行实时准确掌握，从而既不会发生过度清洗也不发生不足清洗，而是以适合的清洗量控制清洗工艺，从而能够确保清洗的可信度。

根据用于达成所述本实用新型的目的的本实用新型的优选实施例，对圆形盘形状的基板进行支撑并旋转的基板旋转装置包括：基板支撑部，其设置为对基板的边缘一侧进行支撑；倾斜支撑部，其设置为对基板的另一边缘一侧进行支撑，并设置为以一端为基准相对于所述基板支撑部能够倾斜，以与相对所述基板支撑部的所述基板配置角度相对应的形式对所述倾斜支撑部的倾斜角度(tilting angle)进行调节，从而能够稳定地保持支撑状态(夹持状态)，并能够准确地控制基板的旋转条件。

作为参考，在本实用新型中，所谓的基板支撑部及倾斜支撑部对基板的边缘一侧进行支撑可以理解为，基板的边缘一侧以直接相接的形式接触于基板支撑部及倾斜支撑部并得到支撑的状态。

倾斜支撑部根据所要求的条件及设计样式可设置为能够支撑基板的边缘的各种构造。作为一个例子，倾斜支撑部可包括对基板的边缘进行支撑的一个或两个以上的基板支撑体。

此外，倾斜支撑体根据所要求的条件及设计样式可设置为各种构造。作为一个例子，倾斜支撑体可包括：旋转轴，其以柱形态直立设置并旋转；接触体，其结合于旋转轴的前端，从而与基板的边缘直接接触；以及倾斜部，其结合于所述旋转轴的下端，从而使得旋转轴倾斜。

作为参考，基板支撑部和倾斜支撑部中的任意一个可以是用于对基板进行旋转驱动的驱动支撑体，基板支撑部和倾斜支撑部中的另一个可以是通过基板的旋转而进行空转(idle)旋转的空转轮支撑体。作为一个例子，构成倾斜支撑部的第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体中，第一倾斜支撑体可以作为用于对基板进行旋转驱动的驱动支撑体而使用，第二倾斜支撑体可以用作通过基板而空转旋转的空转轮支撑体。

倾斜部根据所要求的条件及设计样式可设置为能够使得旋转轴倾斜的各种构造。假设，倾斜部通过常规的球形连接(ball joint)方式、链接(link)方式或其他旋转方式来设置，从而可构成为使得旋转轴倾斜。作为一个例子，倾斜部可包括：壳体，其在内部设置有球(ball)收纳部，且得到固定设置；以及球头销(ball stud)，其一端与旋转轴的下端连接，另一端以能够进行旋转的形式收纳至球收纳部。作为另一个例子，倾斜部可包括：固定部件，其得到固定设置；可动部件，其以从所述固定部件隔开的形式设置，并连接于旋转轴；流体密封部，其设置于固定部件和可动部件之间，以便将固定部件和可动部件连接为一体，并且可动部件以流体密封部为媒介相对于固定部件得以倾斜。

此外，所述壳体和球头销之间可设置有轴承零件(bearingelement)。在此，所谓的轴承零件430可以理解为，不仅包括塑料材质的高分子轴承(polymer bearing)，而且包括润滑脂(grease)等流体在内的全部概念。

此外，根据本实用新型的基板旋转装置可以包括弹性部件，所述弹性部件提供弹力，以便倾斜支撑部的倾斜能够以弹性的形式实现。作为一个例子，壳体和球头销之间可夹有弹簧部件，所述弹簧部件用于对球头销进行弹性支撑。并且根据情况的不同，也可使得弹性部件安装于壳体的外部。

可以设置止动部件，所述止动部件用于临时约束倾斜支撑部的倾斜状态。作为止动部件可以使用能够对倾斜支撑部的配置状态(倾斜旋转状态)进行保持或固定的常规的部件，并且本实用新型不受止动部件的构造及特性的限制和限定。

基板支撑部根据所要求的条件及设计样式可设置为能够支撑基板的边缘的各种构造。作为一个例子，基板支撑部可包括一个或两个以上的基板支撑体。此外，基板支撑体可包括：旋转轴，其以柱形态直立设置并旋转；以及接触体，其结合于旋转轴的前端，从而与基板的边缘直接接触。

作为参考，基板支撑部虽然也能够得到固定设置，但是根据情况的不同，也可构成为以类似于倾斜支撑部的方式，使得基板支撑部的一部分或整体能够相对于相互面对的倾斜支撑部或其他基板支撑部进行倾斜。

根据本实用新型的另一个实施例，基板旋转装置包括基板支撑部及倾斜支撑部，并且倾斜支撑部可包括：第一倾斜支撑体，其对基板的边缘进行支撑；第二倾斜支撑体，其与第一倾斜支撑体分离配置，从而对基板的另一边缘进行支撑；共用倾斜部，其与第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体连接为一体，并且能够使得第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体同时倾斜。

共用倾斜部可以设置为与第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体连接为一体，并且能够使得第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体同时倾斜的各种构造。作为一个例子，共用倾斜部可包括：连接部件，其使得第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体的旋转轴的下端连接为一体；以及倾斜部，其结合于连接部件从而使得连接部件倾斜。

如上所述，根据本实用新型，能够稳定保持基板的支撑状态(夹持状态)，并能够准确控制基板的旋转条件。

尤其，根据本实用新型，以与基板的配置角度相应的形式对倾斜支撑部的倾斜角度进行调节，由此能够稳定地支撑基板，并且能够更加准确地控制基板的旋转条件，所述基板的配置角度是由于刷子的下垂或加工及设置偏差等工艺条件所造成的。由此能够预防如下现象：用于对基板进行旋转驱动的驱动支撑体与基板无法接触所致的不完全旋转；以及对基板的旋转进行检测的空转轮支撑体与基板无法接触所致的旋转数检测错误。

此外，根据本实用新型，具有如下有利效果：即使由于刷子的下垂等而使得基板发生倾斜，也能够顺利地确保基板的旋转，并且使得基板与刷子的接触状态保持一定，从而能够提高基板整体表面的清洗效果。

此外，根据本实用新型，根据工艺条件能够调节倾斜支撑部的倾斜角度，由此，能够对通过支撑部的基板的支撑压力进行均匀调节。

此外，根据本实用新型，即使与基板接触的接触体发生加工偏差，也能够以与加工偏差相对应的形式对倾斜支撑部的倾斜角度进行调节，因此无需以更高的加工精细度对接触体进行加工，并且能够节省维护维修的费用。

此外，本实用新型对基板的旋转数进行更为准确地感知，从而能够准确地控制清洗量(基板旋转的距离)，由此能够均匀且连贯地控制基板的清洗状态。

附图说明

图1是示出常规的基板旋转装置的构成的立体图，

图2是示出使得基板安放于图1的状态的平面图，

图3是沿着图1的截断线Ⅲ-Ⅲ的驱动支撑体的纵截面图，

图4是图3的“A”部分的放大图，

图5是图1的感知支撑体的纵截面图，

图6是用于说明根据本实用新型的基板旋转装置的图，

图7及图8是根据本实用新型的基板旋转装置，用于说明倾斜(tilting)支撑部的图，

图9是根据本实用新型的基板旋转装置，用于说明基板支撑部的构造的图，

图10及图11是根据本实用新型的基板旋转装置，用于说明倾斜支撑部的操作构造的图，

图12及图13是用于说明根据本实用新型的另一个实施例的基板旋转装置的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型的优选实施例进行详细说明，但本实用新型并非受到实施例的限制或限定。作为参考，本说明中，相同的标号实质指代相同的要素，在这种规则下，可引用记载于其他附图的内容进行说明，并且省略对从业人员来说显而易见或重复的内容。

图6是用于说明根据本实用新型的基板旋转装置的图，图7及图8是根据本实用新型的基板旋转装置，用于说明倾斜(tilting)支撑部的图，图9是根据本实用新型的基板旋转装置，用于说明基板支撑部的构造的图。作为参考，图7是沿着图6的截断线Ⅶ-Ⅶ的截面图，图8是沿着图6的截断线Ⅷ-Ⅷ的截面图。此外，图10及图11是根据本实用新型的基板旋转装置，用于说明倾斜支撑部的操作构造的图。

如所述附图所示，根据本实用新型的基板旋转装置作为对圆形盘形态的基板W进行旋转的装置，包括基板支撑部200及倾斜支撑部300。

所述基板支撑部200固定设置为支撑基板W的边缘一侧。在此，所谓的所述基板支撑部200支撑基板W的边缘一侧可以理解为，基板W的边缘一侧以直接相接的形式接触于基板支撑部200并得到支撑的状态。

所述基板支撑部200根据所要求的条件及设计样式可设置为能够支撑基板W的边缘的各种构造。作为一个例子，所述基板支撑部200可包括：第一基板支撑体210，其支撑基板W的边缘；以及第二基板支撑体220，其与所述第一基板支撑体210分离配置，从而支撑基板W的另一边缘。根据情况的不同，基板支撑部可仅由一个基板支撑体构成，或也可包括三个以上的基板支撑体而构成。

所述第一基板支撑体210及第二基板支撑体220根据所要求的条件及设计样式可设置为各种构造。作为一个例子，参照图9，所述第二基板支撑体220可包括：旋转轴222，其以柱形态直立设置并旋转；以及接触体224，其结合于所述旋转轴222的前端，从而与基板W的边缘直接接触。

所述接触体224可分割形成为多个接触支撑体224a、224b、224c，并且通过连接螺栓(bolt)77x、78x、79x可结合为单一主体形态。根据情况的不同，接触体可仅由一个接触支撑体构成，并且本实用新型不受接触支撑体的数量及构造的限制和限定。

作为参考，所述第一基板支撑体210及第二基板支撑体220可作为用于对基板W进行旋转驱动的驱动支撑体而使用，或者可作为由于基板W的旋转导致进行空转(idle)旋转的空转轮支撑体而使用。以下，以将构成所述基板支撑体200的第一基板支撑体210及第二基板支撑体220全部用作对基板W进行旋转驱动的驱动支撑体的例子进行说明。根据情况的不同，第一基板支撑体及第二基板支撑体中任意一个可被用作驱动支撑体，剩余的另一个可被用作空转支撑体。或者，第一基板支撑体及第二基板支撑体全部可被用作空转支撑体。

所述第一基板支撑体210及第二基板支撑体220被用作驱动支撑体的情况下，第一基板支撑体210及第二基板支撑体220的旋转轴212、222可分别被驱动马达旋转驱动，且各个接触体214、224可与旋转轴212、222共同进行旋转。随着所述各个接触体214、224的旋转，可使得以接触于各个接触体214、224的状态得到支撑的基板W共同进行旋转。

所述倾斜支撑部300支撑与基板支撑部200相面对的基板W的边缘的另一侧，并设置为以一端为基准相对基板支撑部200能够倾斜，从而能够以与相对所述基板支撑部200的基板配置角度相对应的形式对倾斜支撑部300的倾斜角度(tilting angle)进行调节。

作为参考，优选地，所述基板以水平形式配置的状态(在垂直于基板支撑部(200)的长度方向的方向上配置的状态)进行旋转。但是，如果发生加工及设置偏差，或由于清洗液使得刷子润湿而导致刷子下垂，或产生由刷子所致的加压，则相对基板支撑部200的基板配置角度可能错位。此时，所述倾斜支撑部300以与基板的错位角度相对应的形式倾斜，由此能够稳定保持基板的支撑状态(夹持状态)。就所述构造而言，即使由于刷子下垂等而使得基板倾斜，仍然能够顺利地确保基板的旋转，而且使得基板和刷子的接触状态保持一定，从而提高基板整体表面的清洗效果。

作为一个例子，在基板W的一侧被基板支撑部200支撑的状态下，为了支撑基板W的相对面而提供所述倾斜支撑部300，并且所述倾斜支撑部300以与基板的配置角度相对应的形式以下端为基准进行倾斜，由此构成为可对倾斜角度(tilting angle)进行调节。在此，所谓的所述倾斜支撑部300支撑基板W的边缘的另一侧是指，基板W的边缘的另一侧以直接相接的形式接触于基板支撑部200并得到支撑的状态。

作为参考，在本实用新型中，所谓的倾斜支撑体300以与基板支撑部200相面对的形式支撑基板W的相对侧可以理解为全部包括如下情况：被倾斜支撑部300支撑的基板W的支撑位置与被基板支撑部200支撑的基板W的支撑位置配置于相同的水平线上，或配置于相邻的其他水平线上。

所述倾斜支撑部300根据所要求的条件及设计样式能够设置为可对基板W的边缘进行支撑的各种构造。作为一个例子，所述倾斜支撑部300可包括：第一倾斜支撑体310，其与第一基板支撑体200相面对，并以可倾斜的形式设置，从而支撑基板W的边缘；以及第二倾斜支撑体320，其与所述第二基板支撑体200相面对，并以可倾斜的形式设置，从而支撑基板W的边缘。根据情况的不同，倾斜支撑部也可包括三个以上的倾斜支撑体。

所述第一倾斜支撑体310及第二倾斜支撑体320根据所要求的条件及设计样式可设置为各种构造。作为一个例子，参照图7及图8，所述第一倾斜支撑体310及第二倾斜支撑体320可包括：旋转轴312、322，其以柱形态直立设置并旋转；以及接触体314、324，其结合于所述旋转轴312、322的前端(上端)，从而与基板W的边缘直接接触；以及倾斜部400，其结合于所述旋转轴312、322的下端，从而使得旋转轴倾斜。

所述第一倾斜支撑体310及第二倾斜支撑体320的接触体314、324可分割形成为多个接触支撑体314a～314c、324a～324c，并且通过连接螺栓77x、78x、79x得以结合为单一主体的形态。根据情况的不同，接触体也能够只设置为一个接触支撑体，并且本实用新型不受接触支撑体的数量及构造的限制和限定。

作为参考，所述第一倾斜支撑体310及第二倾斜支撑体320可作为用于对基板W进行旋转驱动的驱动支撑体而使用，或者可作为由于基板W的旋转导致进行空转(idle)旋转的空转轮支撑体而使用。作为一个例子，构成所述倾斜支撑体300的第一倾斜支撑体310及第二倾斜支撑体320中，第一倾斜支撑体及310可作为用于对基板W进行旋转驱动的驱动支撑体而使用，第二倾斜支撑体320可作为由于基板W而进行空转旋转的空转轮支撑体而使用。

当所述第一倾斜支撑体310作为用于使得基板W旋转驱动的驱动支撑体而使用时，第一倾斜支撑体310的旋转轴312可分别通过驱动马达而得到旋转驱动，第一倾斜支撑体310的接触体314能够与旋转轴共同进行旋转。随着所述第一倾斜支撑体310的接触体314进行旋转，以接触于接触体314的状态得到支撑的基板W能够共同进行旋转。当所述第二倾斜支撑体320被用作空转轮支撑体时，第二倾斜支撑体320不与驱动马达连接，而使得对旋转数进行感知的类似于编码器(encoder)的传感器S连接设置于旋转轴312，从而测定与第二倾斜支撑体320的接触体共同旋转的旋转轴312的旋转数，进而能够感知基板W的旋转数。

所述倾斜部400根据所要求的条件及设计样式可设置为使得旋转轴倾斜的各种构造。作为一个例子，所述倾斜部400可通过常规的球形连接(ball joint)方式构成。根据情况的不同，倾斜部通过链接(link)方式或其他旋转方式来设置，从而能够构成为使得旋转轴倾斜。

作为一个例子，参照图7及图8，所述倾斜部400可包括：壳体410，其在内部设置有球(ball)收纳部，且得到固定设置；以及球头销(ball stud)420，其一端与旋转轴的下端连接，另一端以能够进行旋转的形式收纳至球收纳部，并且随着所述球头销420在壳体410上进行旋转，与球头销420连接的旋转轴得以倾斜。

所述壳体410固定安装于基底部件(未示出)上，所述基底部件以安装于底面或无法移动的形式得到固定。所述壳体410至少对两个以上的壳体部件进行组装从而得到设置，并且本实用新型不受壳体410的形状及构造的限制或限定。

此外，所述壳体410和球头销420之间可设置有轴承零件(bearing element)430，所述轴承零件用于确保球头销420与壳体410之间顺畅及平和的旋转。在此，所谓的轴承零件430可以理解为，不仅包括塑料材质的高分子轴承(polymer bearing)，而且包括润滑脂(grease)等流体在内的全部概念。

此外，根据本实用新型的基板旋转装置可以包括弹性部件440，所述弹性部件440提供弹力，以便倾斜支撑部300的倾斜能够以弹性的形式实现。作为一个例子，所述壳体410和球头销420之间可夹有弹簧部件，所述弹簧部件用于对球头销420进行弹性支撑，并且所述球头销420在使得弹簧部件弹性压缩的同时能够相对壳体410以弹性的形式进行旋转。尤其，在倾斜部400的内部适用弹簧部件的方式下，在确保旋转轴相对壳体410的倾斜旋转的同时，能够确保旋转轴相对壳体410沿着上下方向移动。

在本实用新型的实施例中，以弹性部件安装于壳体的内部为例进行说明，但是根据情况的不同，弹性部件也能够安装于壳体的外部。

此外，根据本实用新型的基板旋转装置可包括止动(stopper)部件(未示出)，所述止动部件可临时约束倾斜支撑部300的倾斜状态。在此，所谓的倾斜支撑部300的倾斜状态可以理解为，旋转轴相对于壳体410倾斜旋转为规定的角度的状态。

所述倾斜支撑部300在倾斜为规定的角度的状态下，构成为使得基板旋转或通过基板进行旋转，所述止动部件能够使得以倾斜的状态旋转的倾斜支撑部300的配置状态保持稳定。

作为所述止动部件可以使用能够对旋转轴的配置状态进行保持或固定的常规的部件，并且本实用新型不受止动部件的构造及特性的限制和限定。作为参考，所述止动部件不仅能够以单一部件构成，而且能够以多个部件组合而形成，所述多个部件能够相互联动并操作。

通过所述构成，在本实用新型中，以与相对于基板支撑部200的基板配置角度对应的形式能够对倾斜支撑部300的倾斜角度进行调节。

作为一个例子，参照图10，在所述基板支撑部200的第一基板支撑体得到固定设置的条件下，如果因为加工及设置存在偏差，或者由于清洗液使得刷子润湿而导致刷子下垂，或者由于刷子而发生加压而使得基板的配置角度发生错位，则使得倾斜支撑部300的第一倾斜支撑体以下端为中心进行倾斜旋转，由此第一基板支撑体和第一倾斜支撑体全部能够支撑基板W。

作为参考，在所述本实用新型的实施例中，以基板支撑部得到固定设置为例进行了说明，但是根据情况的不同，以类似于倾斜支撑部的方式，能够使得基板支撑部的一部分或整体相对于相互面对的倾斜支撑部或其他基板支撑部进行倾斜。

参照图11，在使得所述基板支撑部200的第一基板支撑体和倾斜支撑部300的第一倾斜支撑体全部以能够倾斜的形式设置的条件下，如果因为加工及设置存在偏差，或者由于清洗液使得刷子润湿而导致刷子下垂，或者由于刷子而发生加压而使得基板的配置角度发生错位，则使得第一基板支撑体和第一倾斜支撑体分别以下端为中心同时进行倾斜旋转，由此第一基板支撑体和第一倾斜支撑体全部能够支撑基板W。

另外，图12及图13是用于说明根据本实用新型的另一个实施例的基板旋转装置的图。并且，针对与所述构成相同，以及相当于相同的部分赋予相同或相当于相同的参照标号，并省略对其的详细说明。

参照图12，根据本实用新型的另一个实施例的基板旋转装置包括基板支撑部200及倾斜支撑部300'，并且倾斜支撑部300'可包括第一倾斜支撑体310'、第二倾斜支撑体320'及共用倾斜部400'。

所述共用倾斜部400'与第一倾斜支撑体310'及第二倾斜支撑体320'连接为一体，并且能够使得所述第一倾斜支撑体310'及第二倾斜支撑体320'同时倾斜。

作为一个例子，所述第一倾斜支撑体310'及第二倾斜支撑体320'可包括：旋转轴(参照图7及图8的312、322)，其以柱形态直立设置并旋转；以及接触体(参照图7及图8的314、324)，其结合于所述旋转轴的前端(上端)，从而与基板W的边缘直接接触，所述共用倾斜部400'可包括：连接部件401'，其使得第一倾斜支撑体310'及第二倾斜支撑体320'的旋转轴的下端连接为一体；以及倾斜部400'，其连接于连接部件401'从而使得连接部件401'倾斜。

如上所述实施例所述，所述倾斜部400'可通过常规的球形连接(ball joint)方式、链接(link)方式或其他旋转方式来设置。作为一个例子，所述倾斜部400'可包括：壳体(参照图7的410)，其在内部设置有球(ball)收纳部，且得到固定设置；以及球头销(ballstud)(参照图7的420)，其一端与连接部件401'的下端连接，另一端以能够进行旋转的形式收纳至球收纳部，并且随着所述球头销在壳体上进行旋转，与球头销连接的旋转轴得以倾斜。

通过所述构造，随着所述连接部件401'通过倾斜部400'进行倾斜旋转，第一倾斜支撑体310'及第二倾斜支撑体320'能够同时以相同的倾斜角度得以倾斜。

参照图13，根据本实用新型的另一个实施例，倾斜支撑部(例如，第一倾斜支撑体310)包括旋转轴(参照图7的312)、接触体(参照图7的314)及倾斜部400"，并且所述倾斜部400"可包括：固定部件410"，其得到固定设置；可动部件420"，其以与所述固定部件410"分离的形式设置，并连接于旋转轴；流体密封部430"，其设置于固定部件410"和可动部件420"之间，以便将所述固定部件410"和可动部件420"连接为一体，并且所述可动部件420"以流体密封部430"为媒介相对于固定部件410"得以倾斜。

所述流体密封部430"能够形成为在具有弹性的密封部件(未示出)的内部使得气体(例，空气)或液体(例，水或油)得以密封的构造，并且以类似于常规的空气轴承的方式使得可动部件410"以能够相对于固定部件410"倾斜的形式进行支撑。根据情况的不同，也可以构成为，以类似于能够进行弹性变形(以一端为基准另一端移动)的弹簧的弹性部件为媒介，使得倾斜支撑部进行倾斜旋转。

此外，如图12所示，在第一倾斜支撑体及第二倾斜支撑体以一体式连接于连接部件的构造中，连接部件也可以通过倾斜部倾斜的形式构成，所述倾斜部包括固定部件、可动部件及流体密封部件。

如上所述，虽然参照本实用新型的优选实施例进行了说明，但可以理解为如果是所属技术领域的熟练的从业人员，则在不脱离下述权利要求所记载的本实用新型的思想及领域的范围内可对本实用新型进行多种修改及变更。

标号说明

200：基板支撑部 300：倾斜支撑部

310：倾斜支撑体 312：旋转轴

314：接触体 400：倾斜部

410：壳体 420：球头销

430：轴承零件 440：弹性部件

Claims (13)

1.一种基板旋转装置，其对圆形盘形状的基板进行支撑的同时使得基板进行旋转，其特征在于，包括：

基板支撑部，其设置为对基板的边缘一侧进行支撑；

倾斜支撑部，其设置为对所述基板的另一边缘一侧进行支撑，并设置为以一端为基准能够相对于所述基板支撑部倾斜，

能够以与相对所述基板支撑部的所述基板配置角度相对应的形式，对所述倾斜支撑部的倾斜角度进行调节。

2.根据权利要求1所述的基板旋转装置，其特征在于，所述倾斜支撑部包括：

旋转轴，其以柱形态直立设置并旋转；

接触体，其结合于所述旋转轴的上端，从而与所述基板的边缘接触；

倾斜部，其结合于所述旋转轴的下端，从而使得所述旋转轴倾斜。

3.根据权利要求2所述的基板旋转装置，其特征在于，所述倾斜部包括：

壳体，其在内部设置有球收纳部，且得到固定设置；

球头销，其一端与所述旋转轴连接，另一端以能够进行旋转的形式收纳至所述球收纳部。

4.根据权利要求3所述的基板旋转装置，其特征在于，

还包括轴承零件，所述轴承零件夹入所述壳体和所述球头销之间。

5.根据权利要求2所述的基板旋转装置，其特征在于，所述倾斜部包括：

固定部件，其得到固定设置；

可动部件，其以从所述固定部件隔开的形式设置，并连接于所述旋转轴；

流体密封部，其设置于所述固定部件和所述可动部件之间，以便将所述固定部件和所述可动部件连接为一体，

所述可动部件以所述流体密封部为媒介相对于所述固定部件倾斜。

6.根据权利要求1所述的基板旋转装置，其特征在于，

所述倾斜支撑部设置有多个，

多个所述倾斜支撑部能够以相互独立的形式对所述倾斜角度进行调节。

7.根据权利要求1所述的基板旋转装置，其特征在于，所述倾斜支撑部包括：

第一倾斜支撑体，其对所述基板的边缘进行支撑；

第二倾斜支撑体，其从所述第一倾斜支撑体隔开地配置，从而对所述基板的另一边缘进行支撑；

共用倾斜部，其与所述第一倾斜支撑体及所述第二倾斜支撑体连接为一体，并且能够使得所述第一倾斜支撑体及所述第二倾斜支撑体同时倾斜。

8.根据权利要求7所述的基板旋转装置，其特征在于，所述共用倾斜部包括：

连接部件，其连接所述第一倾斜支撑体及所述第二倾斜支撑体；

倾斜部，其结合于所述连接部件，从而使得所述连接部件倾斜。

9.根据权利要求8所述的基板旋转装置，其特征在于，

壳体，其在内部设置有球收纳部，且得到固定设置；

球头销，其一端与所述连接部件连接，另一端以能够进行旋转的形式收纳至所述球收纳部。

10.根据权利要求8所述的基板旋转装置，其特征在于，所述倾斜部包括：

固定部件，其得到固定设置；

可动部件，其以从所述固定部件隔开的形式设置，并连接于所述连接部件；

流体密封部，其设置于所述固定部件和所述可动部件之间，以便将所述固定部件和所述可动部件连接为一体，

所述可动部件以所述流体密封部为媒介相对于所述固定部件倾斜。

11.根据权利要求1至10中任意一项所述的基板旋转装置，其特征在于，

还包括弹性部件，所述弹性部件提供弹力，以便所述倾斜支撑部的倾斜能够以弹性的形式实现。

12.根据权利要求1至10中任意一项所述的基板旋转装置，其特征在于，

还包括止动部件，所述止动部件用于临时约束所述倾斜支撑部的倾斜状态。

13.根据权利要求1至10中任意一项所述的基板旋转装置，其特征在于，

所述基板支撑部和所述倾斜支撑部中的任意一个是用于使得所述基板旋转驱动的驱动支撑体，

所述基板支撑部和所述倾斜支撑部中的另一个是通过所述基板的旋转而进行空转旋转的空转轮支撑体。