CN206236640U - 应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台 - Google Patents
应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，具体的说是一种应用于金属材料及光伏材料的表面形貌分析、镀膜厚度测试的夹持台，属于金属材料及光伏材料测试设备技术领域。其包括样品基座、中心定位座、螺钉固定座和紧固螺钉，中心定位座的每个定位侧面对面设有一个螺钉固定座，螺钉固定座固定在样品基座上，螺钉固定座上通过螺纹连接紧固螺钉，紧固螺钉前端表面面向定位侧面，拧动紧固螺钉能够将定位侧面上的样品压紧。本实用新型样品与中心定位座的定位侧面直接接触，接触面积大，导电性良好，避免了由于样品与导电胶未紧密粘贴而造成的扫描电子显微镜图像偏移，使得图像质量明显改善；避免导电胶造成的污染，提高了设备的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，具体的说是一种应用于金属材料及光伏材料的表面形貌分析、镀膜厚度测试的夹持台，属于金属材料及光伏材料测试设备技术领域。
背景技术
扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope,简称SEM）是一种主要应用于材料表面形貌观察成像的材料表征技术设备。它是按电子光学原理用电子束为光源，显示样本超微结构的显微镜。
目前，用于金属材料及光伏材料表面形貌分析、镀膜厚度测量的SEM样品座，材质为金属，结构大致相同，由金属平台B和底座A两部分组成，见图1所示，底座A用紧固螺钉旋紧固定在金属平台B上。底座A用来与设备样品台（Stage）连接固定，底座A顶部的金属平台B用于放置样品D。金属平台B是一个圆形平台，用于放置样品；圆形平台底部是一个燕尾插槽，正好匹配及固定在SEM样品台上。被观测的薄片样品D是通过双面导电胶C(如碳胶、铜胶、铝胶)粘贴在样品座上，如图1所示，从而使样品D与样品座及样品台导通。上述操作方式有以下几个不足：
（1）双面导电胶不是纯金属，由一定成分的有机胶组成，如果粘贴不紧密，导致样品的稳定性差，且样品导电不良，会发生SEM动态图像漂移现象，影响正常的测量及形貌分析，拍摄时图形倾斜，成像质量差；
（2）电子束不可避免地扫描在碳双面胶上，激发出碳元素，造成碳污染，这对能谱测试有影响；
（3）SEM为高真空分析设备，真空等级和分析能力密切相关，导电胶含有大量的有机成分，在真空中易挥发造成污染，影响真空等级，最终引起设备寿命的减少；
（4）导电胶价格贵，属于易耗品，使用量较大，会消耗一大笔费用；
（5）导电胶容易粘附灰尘，对SEM的真空仓会带来污染。
因此，如何获得清晰稳定的图像，又能减少碳污染的问题，成为该技术领域亟待解决的课题。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足之处，从而提供一种应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，提高了导电性能，改善了SEM图像的质量；避免了碳污染及导电胶残留物清理，节约了人力成本，提高了工作效率。
按照本实用新型提供的技术方案，应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台包括样品基座、中心定位座、螺钉固定座和紧固螺钉，其特征是：样品基座的中心设有中心定位座，中心定位座的四个定位侧面用于定位放置四个样品；中心定位座的每个定位侧面对面设有一个螺钉固定座，螺钉固定座固定在样品基座上，螺钉固定座上通过螺纹连接紧固螺钉，紧固螺钉前端表面面向定位侧面，拧动紧固螺钉能够将定位侧面上的样品压紧。
进一步的，相邻两个所述定位侧面之间设有过渡表面。
进一步的，样品基座为圆形。
进一步的，中心定位座为长方形立柱结构。
进一步的，样品基座底部连接燕尾形插槽座，燕尾形插槽座上设有燕尾形插槽。
进一步的，样品基座、中心定位座、螺钉固定座和紧固螺钉均采用金属材料制作。
本实用新型与已有技术相比具有以下优点：
本实用新型结构简单、紧凑、合理，样品与中心定位座的定位侧面直接接触，接触面积大，导电性良好，避免了由于样品与导电胶未紧密粘贴而造成的扫描电子显微镜图像偏移，使得图像质量明显改善；避免导电胶造成的污染，提高了设备的使用寿命；避免了碳污染及导电胶残留物清理，节约了人力成本，提高了工作效率。
附图说明
图1为现有技术中一种应用于扫描电子显微镜的样品座的结构图。
图2为本实用新型的结构图。
图3为图2的正视图。
附图标记说明：1-燕尾形插槽座、2-燕尾形插槽、3-样品基座、4-中心定位座、5-螺钉固定座、6-紧固螺钉、7-定位侧面、A-底座、B-金属平台、C-双面导电胶、D-样品。
具体实施方式
下面本实用新型将结合附图中的实施例作进一步描述：
如图2~3所示，本实用新型主要包括样品基座3、中心定位座4、螺钉固定座5和紧固螺钉6。
样品基座3为圆形，样品基座3的中心设有长方形立柱结构的中心定位座4，中心定位座4的四个定位侧面7用于定位放置四个样品。相邻两个定位侧面7之间设有过渡表面8，过渡表面8的设置是为了隔开相邻的两个样品。
中心定位座4的每个定位侧面7对面设有一个螺钉固定座5，螺钉固定座5固定在样品基座3上，螺钉固定座5上通过螺纹连接紧固螺钉6，紧固螺钉6前端表面面向定位侧面7，拧动紧固螺钉6能够将定位侧面7上的样品压紧。
所述样品基座3底部连接燕尾形插槽座1，燕尾形插槽座1上设有燕尾形插槽2，燕尾形插槽座1能够将本实用新型连接在SEM的样品台上。
所述样品基座3、中心定位座4、螺钉固定座5和紧固螺钉6均采用金属材料制作，起到良好的导电效果。
本实用新型结构简单、紧凑、合理，样品与中心定位座的定位侧面直接接触，接触面积大，导电性良好，避免了由于样品与导电胶未紧密粘贴而造成的扫描电子显微镜图像偏移，使得图像质量明显改善；避免导电胶造成的污染，提高了设备的使用寿命；避免了碳污染及导电胶残留物清理，节约了人力成本，提高了工作效率。
Claims (6)
1.一种应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，包括样品基座（3）、中心定位座（4）、螺钉固定座（5）和紧固螺钉（6），其特征是：样品基座（3）的中心设有中心定位座（4），中心定位座（4）的四个定位侧面（7）用于定位放置四个样品；中心定位座（4）的每个定位侧面（7）对面设有一个螺钉固定座（5），螺钉固定座（5）固定在样品基座（3）上，螺钉固定座（5）上通过螺纹连接紧固螺钉（6），紧固螺钉（6）前端表面面向定位侧面（7），拧动紧固螺钉（6）能够将定位侧面（7）上的样品压紧。
2.如权利要求1所述的应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，其特征是：相邻两个所述定位侧面（7）之间设有过渡表面（8）。
3.如权利要求1所述的应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，其特征是：所述样品基座（3）为圆形。
4.如权利要求1所述的应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，其特征是：所述中心定位座（4）为长方形立柱结构。
5.如权利要求1所述的应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，其特征是：所述样品基座（3）底部连接燕尾形插槽座（1），燕尾形插槽座（1）上设有燕尾形插槽（2）。
6.如权利要求1所述的应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台，其特征是：所述样品基座（3）、中心定位座（4）、螺钉固定座（5）和紧固螺钉（6）均采用金属材料制作。
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| CN201621227915.7U CN206236640U (zh) | 2016-11-15 | 2016-11-15 | 应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台 |
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| CN201621227915.7U CN206236640U (zh) | 2016-11-15 | 2016-11-15 | 应用于扫描电子显微镜薄片样品的夹持台 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110857925A (zh) * | 2018-08-17 | 2020-03-03 | 河南中镜科仪科技有限公司 | 一种可调宽口样品夹持台 |
| CN113109375A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-07-13 | 合肥波林新材料股份有限公司 | 一种薄膜材料扫描电镜截面制样夹具及其制样方法 |
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2016
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Cited By (3)
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| CN110857925A (zh) * | 2018-08-17 | 2020-03-03 | 河南中镜科仪科技有限公司 | 一种可调宽口样品夹持台 |
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| CN113109375B (zh) * | 2021-03-16 | 2022-09-16 | 合肥波林新材料股份有限公司 | 一种薄膜材料扫描电镜截面制样夹具及其制样方法 |
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