CN206098360U - 等离子清洗机及其载物台移送组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种载物台移送组件，包括：第一载物台，第一载物台可沿x轴方向和z轴方向移动；第二载物台，第二载物台可沿x轴方向和z轴方向移动；闭合的同步传送带，第一载物台固定连接到同步传送带的第一侧边带，第二载物台固定连接到同步传送带的第二侧边带；同步驱动件，同步驱动件连接到同步传送带。本实用新型还提供一种具有上述载物台移送组件的等离子清洗机。实施本实用新型，能够得到一种自动化程度高、能高效清洗单件引线框架的等离子清洗机和一种能提高生产效率的载物台移送组件。

Description

等离子清洗机及其载物台移送组件

【技术领域】

本实用新型涉及半导体制造加工领域，尤其涉及一种去除框架上污染物的等离子清洗机及其载物台移送组件。

【背景技术】

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。在半导体制造加工过程中会在引线框架上遗留溢胶、氧化物等污染物，影响焊线效果，因此需要等离子清洗技术清洗该污染物。目前对引线框架进行清洗时，缺少对单件引线框架的自动化整体清洗设备，自动化程度低容易造成二次污染并且增加生产成本，并且各部件之间移送效率低，严重影响生产效率。

因此，亟需一种自动化程度高、能高效清洗单件引线框架的等离子清洗机和一种能提高生产效率的载物台移送组件。

【实用新型内容】

本实用新型所要解决的技术问题一是，提供一种能够提高生产效率的载物台移送组件。为解决上述技术问题一，本实用新型提供一种载物台移送组件，其特征在于，包括：第一载物台，所述第一载物台可沿x轴方向和z轴方向移动；第二载物台，所述第二载物台可沿x轴方向和z轴方向移动；闭合的同步传送带，所述第一载物台固定连接到所述同步传送带的第一侧边带，所述第二载物台固定连接到所述同步传送带的第二侧边带；同步驱动件，所述同步驱动件连接到所述同步传送带。

作为一种优选方案，所述第一载物设有若干用于放置所述引线框架的收容件，所述收容件具有用于收容所述引线框架边缘的收容槽。

作为一种优选方案，所述收容件包括两根相对距离可调节的收容条，所述收容槽设于所述收容条相对内侧，两根收容条之间放置一个引线框架。

作为一种优选方案，还包括沿x轴方向延伸的一对第一导轨，所述第一载物台安装到所述第一导轨并可沿所述第一导轨移动；所述载物台移送组件还包括与所述第一导轨平行的一对第二导轨，所述第二载物台安装到所述第二导轨并可沿所述第二导轨移动，所述一对第二导轨在所述一对第一导轨的内侧。

作为一种优选方案，所述载物台移送组件还包括第一连接件，所述第一载物台通过所述第一连接件滑动连接到所述第一导轨，所述第一载物台通过所述第一连接件固定连接到所述同步传送带的第一侧边带。

作为一种优选方案，所述第一连接件包括垂直于所述第一载物台的第一固定安装部、从所述第一固定安装部的第一侧边伸出的第一滑动安装部，所述第一固定安装部固定连接到所述同步传送带的第一侧边带，所述第一滑动安装部滑动连接到所述第一导轨。

作为一种优选方案，所述同步传送带安装到第一传动轮和第二传动轮，所述同步驱动件驱动所述第一传动轮转动从而带动所述同步传送带移动。

作为一种优选方案，所述第一载物台安装有第一升降驱动件，所述第二载物台安装有第二升降驱动件。

作为一种优选方案，所述第一载物台和/或第二载物台的上表面设有密封圈。本实用新型所要解决的技术问题二是，提供一种自动化程度高、能高效清洗单件引线框架的等离子清洗机。未解决上述技术问题二，本实用新型提供一种等离子清洗机，包括用于放置装有引线框架的料盒的料盒放置座、下端开口的反应仓，用于将所述引线框架从所述料盒推出的第一推片机构、安装到所述料盒放置座和所述载物台移送组件之间的传送带输送组件，所述传送带输送组件用于将所述物料从所述料盒放置座移送至所述载物台移送组件，还包括如上任意一项所述的载物台移送组件，所述载物台移送组件安装到所述料盒放置座与所述反应仓之间，用于将所述引线框架从所述料盒放置座移送至所述反应仓。

实施本实用新型取得的技术效果如下：载物台移送组件包括通过同步传送带连接的第一载物台和第二载物台，第一载物台和第二载物台交替运动能够提高输送效率从而提高生产效率。通过同步驱动件驱动同步传送带，驱动第一载物台和第二载物台能够省去一组传送装置，简化机器结构，第一载物台、第二载物台分别固定连接到同步传送带的第一侧边带和第二侧边带，结构简单，便于节约生产成本。第一载物台设有若干对收容件，用于放置所述引线框架，能够使引线框架定向排列，输送方便，提高移送效率从而提高生产效率，收容件具有用于收容所述引线框架边缘的收容槽使引线框架不会紧贴载物台，能够实现完全的清洗。收容件包括两根收容条，收容槽设于两收容条相对的内侧，两根收容条之间放置一个引线框架，结构简单，易操作。载物台移送组件还具有沿x轴方向延伸的一对第一导轨，用于安装第一载物台并使第一载物台在第一导轨上移动，载物台移送组件还具有与第一导轨平行的第二导轨，第二载物台安装到第二导轨并可沿第二导轨移动，第二导轨在第一导轨内侧，第一载物台和第二载物台分导轨滑动使得第一载物台和第二载物台之间的移动互不影响，且结构简单易操作。第一载物台通过第一连接件滑动连接到第一导轨，且第一载物台通过第一连接件固定连接到第一侧边带，两个安装功能同时在第一连接件上体现，简化了机器结构，节约了生产、调试的成本。第一连接件包括第一固定安装部、第一滑动安装部，第一固定安装部固定连接同步传送带的第一侧边带，第一滑动安装部滑动连接第一导轨，第一连接件的结构简单，简化生产成本。同步传送带安装到第一传动轮和第二传动轮，同步驱动件驱动第一传动轮从而带动同步传送带移动，结构简单易实现。第一载物台安装有第一升降驱动件，第二载物台安装有第二升降驱动件，使第一载物台和第二载物台分时升降，互不影响。第一载物台和/或第二载物台的上表面设有密封圈，使与反应仓密封时密封性更好，清洗效果更完全。本实用新型提供的等离子清洗机包括料盒放置座、同步移送组件、反应仓第一推片机构、传送带输送组件，各部分之间相互配合能够实现单片引线框架清洗的自动化，提高生产效率。

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

【附图说明】

图1所示为本实用新型提供的等离子清洗机的立体结构示意图；

图2为图1所示等离子清洗机去掉封闭外壳后的立体结构示意图；

图3为图2所示等离子清洗机去掉封闭外壳后的俯视图；

图4为图2所示等离子清洗机去掉封闭外壳后的侧视图；

图5为图2所示载物台移送组件的立体结构示意图；

图6为图5所示载物台移送组件的俯视图；

图7为图2所示第一推片机构的立体结构示意图；

图8为图7所示第一推片组件的立体结构示意图；

图9为图8所示第一推片组件的仰视图；

图10为图9所示第一推片组件沿A-A方向的剖视图；

图11为图7所示第一推片机构的主视图；

图12为图1所示第二推片机构的内部结构示意图；

图13为图12所示第二推片组件的侧视图；

图14为图2所示传送带输送组件的立体结构示意图。

【具体实施方式】

参考图1-图4，本实用新型一实施例提供一种等离子清洗机，包括：料盒放置座110、第一推片机构210、第二推片机构250、载物台移送组件310、传送带输送组件410、下端开口的反应仓510。还包括封闭外壳610，用于为上述部件提供清洁的环境，防止对引线框架造成污染。

料盒放置座110用于放置装有引线框架的料盒112，本实施例中料盒放置座110放置有四个料盒112，应当注意的是，料盒112的数量不因为本实施例的描述而受到限制。料盒为两相对端开口的盒体，装有若干层引线框架，两端的开口使引线框架能够方便地被推出或推入。料盒放置座110安装有第三升降装置(图中未显示)，用于控制所述料盒放置座110沿z轴升降，使料盒112中的各层引线框架能够被推出或推入。

参考图5、图6，载物台移送组件310用于接收从料盒放置座110离开的引线框架，载物台移送组件310包括可沿x轴和z轴方向移动的第一载物台320、可沿x轴和z轴方向移动的第二载物台330、闭合的同步传送带340以及同步驱动件350。第一载物台320或第二载物台330沿x轴移动至反应仓510下方时，沿z轴向上移动与反应仓510密封形成密封腔体，用于使引线框架在其中完成清洗过程。

当第一载物台320密封反应仓510的开口端时，第二载物台330位于第一推片机构210和第一载物台320之间，传动带输送单元410位于第一推片机构210和第二载物台330之间，用于将从料盒推出的引线框架传送至第二载物台330。第一载物台320和第二载物台330用于密封反应仓510的表面均设有密封圈339。

当第二载物台330密封反应仓510的开口端时，第一载物台320位于第一推片机构210和第二载物台330之间，传动带输送单元410位于第一推片机构210和第一载物台320之间，用于将从料盒推出的引线框架传送至第一载物台320。

第一载物台320和第二载物台330通过一条闭合的同步传送带340实现同步传送，具体地说，第一载物台320固定连接到同步传送带340的第一侧边带340a，第二载物台330固定连接到同步传送带340的第二侧边带340b。同步传送带340安装到第一传动轮342和第二传动轮344，同步驱动件350驱动第一传动轮342转动从而带动同步传送带340移动。同步传送带340内表面具有锯齿，以便更好地与设有锯齿的第一传动轮342和第二传动轮344配合。第一传动轮342和第二传动轮344支撑同步传送带340形成第一侧边带340a和第二侧边带340b。

载物台移送组件310还包括沿x轴方向延伸的一对第一导轨362、第一连接件364，第一连接件364包括垂直于第一载物台320的第一固定安装部365、从第一固定安装部365的第一侧边365a伸出的第一滑动安装部366，第一固定安装部365固定连接到同步传送带340的第一侧边带340a，第一滑动安装部366滑动连接到第一导轨362，第一载物台320通过第一连接件364安装到第一导轨362并可沿第一导轨362移动。第一连接件364固定安装到第一载物台320。

载物台移送组件310还包括与所述第一导轨362平行的第二导轨372、第二连接件374，第二连接件374包括固定连接到所述第二侧边带340b的第二固定安装部375、固定连接第二固定安装部375的第二滑动安装部(图中未显示)，第二固定安装部375固定连接到同步传送带的第二侧边带340b，第二滑动安装部滑动连接到第二导轨372，第二载物台330通过第二连接件374安装到第二导轨372并可沿第二导轨372移动。第二连接件374固定安装到第二载物台330。该成对的第二导轨372在成对的第一导轨362内侧，第一连接件364将第一载物台320支撑起一定高度使第二载物台330能够从第一载物台320下方穿过。为使第一载物台320能够沿z轴升降，第一载物台320安装有第一升降驱动件323，为使第二载物台330能够沿着z轴升降，第二载物台330安装有第二升降驱动件333。

第一载物台320和第二载物台330各设有若干用于放置引线框架的收容件382，每对收容件382包括两根平行的收容条383，两根收容条之间放置一个引线框架。两根收容条之间的相对距离可调节，两根收容条相对的内侧具有沿x轴延伸的收容槽384，用于收容引线框架的边缘。收容槽384与第一载物台320和/或第二载物台330之间有一定高度，使引线框架底部悬空以达到更好的清洗效果。

参考图7-12，第一推片机构210设于料盒放置座110的第一端，用于将料盒内的引线框架推出,第一推片机构210包括传送轨道220、第一推片组件230、推片传送组件270、控制组件(图中未显示)。其中第一推片组件230滑动连接到传送轨道220，推片传送组件270用于驱动第一推片组件230沿传送轨道220往复移动，控制组件用于在第一推片组件230受到阻力时输出报警信号，使第一推片组件230停止推动，防止损坏引线框架。

第一推片组件230包括第一推动件232、连接到第一推动件232的第一弹性组件239、连接到第一弹性组件239的传感器260，传感器260感知到第一弹性组件239受到阻力时控制组件输出报警信号使第一推片组件230停止推动。第一推动件232包括推动件安装部234和第一推动部236a，第一推动部236a位于第一推动件232的第一端，推动件安装部234位于第一推动件232的第二端，推动件安装部234具有相对第一推动部236a凸起的凸起部234a，第一推片组件230还包括第一挡板262和第二挡板264，用于限制第一推动件232的移动距离，第一挡板262安装到推动件安装部234和第一推动部236a的连接处，第一弹性组件239安装到第一推动件232和第二挡板264之间。第一推动件232通过滑块265安装到直线滑轨266，直线滑轨266安装到第一挡板262和第二挡板264之间，使第一推动件232沿直线做往复运动。第一推动部236a的自由端具有横向的凹槽237，用于收容引线框架的边缘使推动引线框架更稳定。

应当理解的是，传感器260可以为压力传感器也可以为光电传感器，压力传感器能够直接检测弹性组件的压力，光电传感器可以通过弹性组件经过的位移判断受到了压力。

推片传送组件270包括驱动电机272、连接到驱动电机272的输出轴274、连接到输出轴274的第一驱动轮276、与第一驱动轮276连接的第二驱动轮278、连接第一驱动轮276和第二驱动轮278的驱动传送带280，第一推片组件230直接或间接地连接到驱动传送带280，第一驱动轮276靠近传送轨道220的第一端，第二驱动轮278靠近传送轨道220的第二端。驱动电机272和输出轴274直接通过联轴器273连接。

本实施例中，第一推片机构210包括若干并排的第一推片组件230，若干第一推片组件230连接到一块第一连接板282，第一连接板282连接到滑动座288，通过滑动座288固定连接到驱动传送带280，第一连接板282通过滑动座288滑动连接到传送轨道220。

第二推片机构250能够在料盒放置座110与反应仓510之间沿x轴移动，用于引线框架在所述料盒放置座110、载物台移送组件310、反应仓510三者之间的相互移送。第二推片机构250具有与第一推片机构210相似的传送轨道(图中未显示)、推片传送组件(图中未显示)、控制组件(图中未显示)，第二推片组件230’连接到一块第一连接板282，第一连接板282再通过第二连接板286连接到第二推片机构250的传送轨道，第一连接板282与第二连接板286之间连接有气缸284，用于使第一连接板282带动推片组件230沿z轴升降。

参考图13，第二推片组件230’包括第二推动件232’、连接到第二推动件232’的第二弹性组件239’、连接到第二弹性组件239’的传感器260，传感器260感知到第二弹性组件239’受到阻力时控制组件输出报警信号使第二推片组件230’停止推动。第二推动件232’包括第二推动件安装部234’、第二推动部236a’和第三推动部236b’，第二推动部236a’位于第二推动件安装部234’的第一端，第三推动部236b’位于第二推动件安装部234’的第二端。第二推片组件230’还包括第三挡板262’和第四挡板264’，用于限制第二推动件232’的移动距离，第二弹性组件239’包括安装到第三挡板262’和第二推动件安装部234’之间的第一弹簧252’、安装到第二推动件安装部234’和第四挡板264’之间的第二弹簧254’，第二推动件232’通过滑块265’安装到直线滑轨266’，直线滑轨266’安装到第三挡板262’和第四挡板264’之间，使第二推动件232’沿直线做往复运动。第二推动部236a’、第三推动部236b’的自由端具有横向的凹槽237，用于收容引线框架的边缘使推动引线框架更稳定。

应当理解的是，传感器260’可以为压力传感器也可以为光电传感器，压力传感器能够直接检测弹性组件的压力，光电传感器可以通过弹性组件经过的位移判断受到了压力。

参考图14，传送带输送组件410设于料盒放置座110与第一载物台320之间，用于将引线框架从料盒放置座110传送至载物台移送组件。传送带输送组件410与引线框架之间为滚动摩擦，可以减少粉尘污染的产生。传送带输送组件410包括两组传送单元412，每组传送单元412包括与引线框架接触的主传送装置414、辅传送装置416，传送带输送组件410还包括同时驱动所有传送单元的第一驱动件418，第一驱动件418通过联动轴419连接到所有传送单元412的主传送装置414。主传送装置414包括与引线框架直接接触的第一传动带420以及驱动第一传动带420的第一传动轮组422，第一传动轮组422连接到联动轴419。

但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，如对各个实施例中的不同特征进行组合等，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种载物台移送组件，其特征在于，包括：

第一载物台(320)，所述第一载物台(320)可沿x轴方向和z轴方向移动；

第二载物台(330)，所述第二载物台(330)可沿x轴方向和z轴方向移动；

闭合的同步传送带(340)，所述第一载物台(320)固定连接到所述同步传送带(340)的第一侧边带(340a)，所述第二载物台(330)固定连接到所述同步传送带的第二侧边带(340b)；

同步驱动件(350)，所述同步驱动件(350)连接到所述同步传送带(340)。

2.根据权利要求1所述的载物台移送组件，其特征在于，所述第一载物台(320)设有若干用于放置所述引线框架的收容件(382)，所述收容件(382)具有用于收容所述引线框架边缘的收容槽(384)。

3.根据权利要求2所述的载物台移送组件，其特征在于，所述收容件(382)包括两根相对距离可调节的收容条(383)，所述收容槽(384)设于所述收容条(383)相对内侧，两根收容条(383)之间放置一个引线框架。

4.根据权利要求1所述的载物台移送组件，其特征在于，还包括沿x轴方向延伸的一对第一导轨(362)，所述第一载物台(320)安装到所述第一导轨(362)并可沿所述第一导轨移动；

所述载物台移送组件(310)还包括与所述第一导轨(363)平行的一对第二导轨(372)，所述第二载物台(330)安装到所述第二导轨(372)并可沿所述第二导轨(372)移动，所述一对第二导轨(372)在所述一对第一导轨(362)的内侧。

5.根据权利要求4所述的载物台移送组件，其特征在于，所述载物台移送组件(310)还包括第一连接件(364)，所述第一载物台(320)通过所述第一连接件滑动连接到所述第一导轨，所述第一载物台通过所述第一连接件固定连接到所述同步传送带(340)的第一侧边带(340a)。

6.根据权利要求5所述的载物台移送组件，其特征在于，所述第一连接件(364)包括垂直于所述第一载物台(320)的第一固定安装部(365)、从所述第一固定安装部(365)的第一侧边(365a)伸出的第一滑动安装部(366)，所述第一固定安装部(365)固定连接到所述同步传送带(340)的第一侧边带(340a)，所述第一滑动安装部(366)滑动连接到所述第一导轨(362)。

7.根据权利要求1所述的载物台移送组件，其特征在于，所述同步传送带(340)安装到第一传动轮(342)和第二传动轮(344)，所述同步驱动件(350)驱动所述第一传动轮(342)转动从而带动所述同步传送带(340)移动。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的载物台移送组件，其特征在于，所述第一载物台(320)安装有第一升降驱动件(323)，所述第二载物台(330)安装有第二升降驱动件(333)。

9.根据权利要求1-7中任意一项所述的载物台移送组件，其特征在于，所述第一载物台(320)和/或第二载物台(330)的上表面设有密封圈(339)。

10.一种等离子清洗机，其特征在于，包括用于放置装有引线框架的料盒的料盒放置座(110)、下端开口的反应仓(510)，用于将所述引线框架从所述料盒推出的第一推片机构、安装到所述料盒放置座(110)和所述载物台移送组件之间的传送带输送组件(410)，所述传送带输送组件用于将所述物料从所述料盒放置座移送至所述载物台移送组件(310)，还包括如权利要求1-9中任意一项所述的载物台移送组件(310)，所述载物台移送组件(310)安装到所述料盒放置座(110)与所述反应仓(510)之间，用于将所述引线框架从所述料盒放置座移送至所述反应仓。