CN206076203U - Ecv测试电极 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种ECV测试电极，包括设置于测试电极端部的触点，其特征是：所述触点可拆卸式安装在测试电极的端部，触点采用上下形状和直径一致的柱形结构。本实用新型所述ECV测试电极的触点采用柱状，使用中即使磨损，触点与样品接触面积不变，保证使用过程测试精度的稳定。本实用新型所述ECV测试电极的触点采用镀铑测试探针头，与原镀金触点比，金属铑耐磨，不易损耗。本实用新型所述ECV测试电极以镀铑测试探针头为触点，与电极组装锡焊而成，触点磨损尽只需更换触点，无需更换丢弃电极；探针头价格低廉，经济环保，无需外购。本实用新型能够解决现有技术中由于ECV测试电极触点材质及结构的缺陷，造成测试误差、精度不高、材料易耗等问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种ECV测试电极，尤其是一种用于半导体扩散结深测试的ECV测试电极，属于光伏电池扩散工艺测试技术领域。
背景技术
近十年光伏业兴起，测试电池硅片扩散后结深及浓度分布的情况，一般是采用电化学微分电容电压法（Electrochemical capacitance-voltage profiler），简称ECV，它是利用电解液来形成势垒并对半导体加以正向偏压（p型）或反向偏压（n型并加以光照）进行表面腐蚀去除已电解的材料，通过自动装置重复“腐蚀-测量”循环得到测量曲线，然后应用法拉第定律，对腐蚀电流进行积分就可以连续得到腐蚀深度。
ECV测试一般是借用半导体晶圆扩散领域的测试仪器进行，即ECV结深测试仪。由于晶圆表面是抛光面，而光伏硅片表面是粗糙的绒面。装卸样品时，测试电极镀金触点与样品表面摩擦，触点越用越短，因此测试电极成了易耗品。如图1所示，现有的ECV测试电极端部的触点1a呈锥形，触点1a与带绒面扩散样品2a摩擦越用越短后，接触面越来越大，随着接触面积变化，测试精度也在变化，测试中常有错误结果出现。如图2、图3所示，圈中I区域的曲线为错误结果，I区域前部曲线为正确结果。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种ECV测试电极，解决由于ECV测试电极触点材质及结构缺陷，造成的测试误差、以及精度不高等问题。
按照本实用新型提供的技术方案，所述ECV测试电极，包括设置于测试电极端部的触点，其特征是：所述触点可拆卸式安装在测试电极的端部，触点采用上下形状和直径一致的柱形结构。
进一步的，所述触点与测试电极采用焊锡组装而成。
进一步的，所述触点采用圆柱形结构或方柱形结构。
进一步的，所述触点表面镀有金属铑层。
本实用新型具有以下优点：
（1）本实用新型所述ECV测试电极的触点采用柱状，使用中即使磨损，触点与样品接触面积不变，保证使用过程测试精度的稳定；
（2）本实用新型所述ECV测试电极的触点采用镀铑测试探针头，与原镀金触点比，金属铑耐磨，不易损耗；
（3）本实用新型所述ECV测试电极以镀铑测试探针头为触点，与电极组装锡焊而成，触点磨损尽只需更换触点，无需更换丢弃电极；探针头价格低廉，经济环保，无需外购；
（4）本实用新型能够解决现有技术中由于ECV测试电极触点材质及结构的缺陷，造成测试误差、精度不高、材料易耗等问题。
附图说明
图1为现有技术中ECV测试电极的结构示意图。
图2、图3为现有ECV测试电极的测试精度变化后测试结构的错误曲线示意图。
图4为本实用新型所述ECV测试电极的结构示意图。
图5为采用本实用新型所述ECV测试电极的测试曲线示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
如图4所示：所述ECV测试电极包括测试电极1、触点2、扩散样品3、金属铑层4、焊锡5等。
如图4所示，本实用新型所述ECV测试电极，包括设置于测试电极1端部的触点2，该触点2采用柱形结构，可以为圆柱或方柱；在使用过程中触点2即使发生磨损，触点2与扩散样品3的接触面积保持不变，保证使用过程测试精度的稳定。
所述触点2表面镀有金属铑层4，与现有的镀金触点相比，金属铑耐磨，不易损耗。
所述触点2与测试电极1采用焊锡5组装而成；在触点2使用过程中磨损尽时只需要更换触点2，无需更换丢弃测试电极1，减少材料的损耗。
采用本实用新型所述的ECV测试电极进行ECV测试得重复性，准确性较高，得到的曲线如图5所示。
Claims (4)
1.一种ECV测试电极，包括设置于测试电极（1）端部的触点（2），其特征是：所述触点（2）可拆卸式安装在测试电极（1）的端部，触点（2）采用上下形状和直径一致的柱形结构。
2.如权利要求1所述的ECV测试电极，其特征是：所述触点（2）与测试电极（1）采用焊锡（5）组装而成。
3.如权利要求1所述的ECV测试电极，其特征是：所述触点（2）采用圆柱形结构或方柱形结构。
4.如权利要求1所述的ECV测试电极，其特征是：所述触点（2）表面镀有金属铑层（4）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621075913.0U CN206076203U (zh) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | Ecv测试电极 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN206076203U true CN206076203U (zh) | 2017-04-05 |
Family
ID=58440321
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201621075913.0U Active CN206076203U (zh) | 2016-09-23 | 2016-09-23 | Ecv测试电极 |
Country Status (1)
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2016
- 2016-09-23 CN CN201621075913.0U patent/CN206076203U/zh active Active
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