CN206033408U - 一种高纯度精制水的制备装置 - Google Patents
一种高纯度精制水的制备装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206033408U CN206033408U CN201621005074.5U CN201621005074U CN206033408U CN 206033408 U CN206033408 U CN 206033408U CN 201621005074 U CN201621005074 U CN 201621005074U CN 206033408 U CN206033408 U CN 206033408U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- degassing
- tank
- outlet
- valve
- storage tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 26
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims abstract description 65
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 24
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012263 liquid product Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 230000008676 import Effects 0.000 claims abstract description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000008213 purified water Substances 0.000 claims description 11
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 2
- 230000003487 anti-permeability effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 239000000047 product Substances 0.000 abstract description 6
- 238000011001 backwashing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 abstract description 3
- 238000003795 desorption Methods 0.000 abstract 2
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 abstract 1
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 241000219146 Gossypium Species 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 208000033999 Device damage Diseases 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012824 chemical production Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010612 desalination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Water Treatment By Sorption (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：包括盘式过滤器、液体输送泵、进料控制总阀、三通阀、进料管、反冲洗管、出口阀、出料管、出料管总阀、止回阀、压差计、废水储罐、二级预过滤器、反渗透装置、脱气罐、液体物料进口管、气体出口管、液体产品出口管、超声波控制发生器、脱气内筒、物料挡板、超纯水储罐和氮封装置，本实用采用新型反冲洗系统，实现了在线反冲洗，设置的脱气内筒上的脱气条，通过毛细作用，可以有效使小气泡在其上聚集，最终形成大气泡，使高粘度物料中的气泡脱除，有效脱除了超纯水中的气体，氮封装置保证了产品超纯水的品质，同时本装置结构简单，操作稳定，可根据需要进行连续生产，大大提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及化工生产设备领域，尤其涉及一种高纯度精制水的制备装置。
背景技术
超纯水一般指电阻率达到18MΩ×cm(25℃)的水，常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
超纯水制备的设备多种多样，一般前处理装置主要通过凝聚、浮上、过滤装置构成，如，一次纯水制造装置中由两台装置的反渗透(RO)分离装置和离子交换装置，或者离子交换纯水装置和反渗透(RO)装置构成，二次纯水制造通过抵押紫外线氧化装置或超滤膜分离装置以及电除盐(EDI)装置等。
生产的超纯水与空气长时间接触会被空气中含有的二氧化碳、细菌、尘埃等杂质污染，超纯水对于这些杂质的溶解能力很强，因此超纯水与空气接触会使其电阻率迅速下降，在超纯水的生产和存储过程中一定要尽可能将水中气体脱除，同时防止超纯水与空气长时间接触，现有的专利CN203419763U中提到的脱除空气的方法，采用真空脱气法时，连续抽真空脱气则往往会因小气泡集聚后泡沫体积过度膨胀，严重时会导致泡沫液体进入真空泵，导致设备损坏，若采用间歇式抽真空，在抽真空间歇期间，若设备密封不好，会有气体脱出从而影响真空度，导致脱气效率降低，不能很好地控制水中的空气含量，影响后续装置的生产和使用。
实用新型内容
本实用新型的目的是解决上述问题，提供一种高纯度精制水的制备装置。
本实用新型的技术方案为：一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：包括盘式过滤器、液体输送泵、进料控制总阀、三通阀、进料管、反冲洗管、出口阀、出料管、出料管总阀、止回阀、压差计、废水储罐、二级预过滤器、反渗透装置、脱气罐、液体物料进口管、气体出口管、液体产品出口管、超声波控制发生器、脱气内筒、物料挡板、超纯水储罐和氮封装置，所述盘式过滤器上端进料口与进料管相连接，两者为法兰连接，所述进料管上设置有三通阀，所述三通阀第三出口与反冲洗管相连接，两者为法兰连接，所述反冲洗管与废水储罐连接，其上设置有止回阀，所述进料管另一端与液体输送泵相连接，所述液体输送泵另一端与废水储罐相连接，所述盘式过滤器上设置有压差计，所述盘式过滤器下端出口与出料管相连接，两者为法兰连接，所述出料管上设置有出口阀，所述盘式过滤器、三通阀、出口阀和压差计均为三个及三个以上，所述出料管总阀位于出料管上，在最后一个出口阀后，所述出料管总阀与二级预过滤器进口通过管道相连接，所述二级预过滤器出口通过管道与反渗透装置进口相连接，所述反渗透装置为常规反渗透装置，所述脱气罐顶部设置有气体出口管，两者为法兰连接，所述脱气罐上部设置有液体物料进口管，两者为法兰连接，所述脱气罐底部设置有液体产品出口管，两者为法兰连接，所述脱气罐内部设置有同轴的脱气内筒，两者活动链接，所述超声波控制发生器位于脱气罐外部，通过电线与脱气内筒相连接，所述液体物料进料口伸入脱气罐内部，并设置有物料挡板，所述脱气罐通过液体产品出口管与超纯水储罐相连接。
进一步，所述盘式过滤器上设置有压差计，每台盘式过滤器设置一台压差计。
进一步，所述二级预过滤器包括上下两段，上段为活性炭过滤段，下段为PP棉过滤段，两者之间设置有支撑网。
进一步，所述反渗透装置出口设置有三通阀，通过三通阀控制出口物料送往脱气罐进行脱气或直接送往下游用户装置。
进一步，所述脱气内筒内壁设置有筒壁脱气条，所述筒壁脱气条等间距分布在脱气内筒内壁四周，材料可为金属或橡胶。
进一步，所述超纯水储罐上设置有氮封装置。
本实用新型的有益效果在于：本实用采用新型反冲洗系统，实现了在线反冲洗，设置的脱气内筒上的脱气条，通过毛细作用，可以有效使小气泡在其上聚集，最终形成大气泡，使高粘度物料中的气泡脱除，有效脱除了超纯水中的气体，氮封装置保证了产品超纯水的品质，同时本装置结构简单，操作稳定，可根据需要进行连续生产，大大提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型脱气装置的A-A剖面示意图。
图3为本实用新型的流程示意图。
其中：1、盘式过滤器 2、液体输送泵 3、进料控制总阀
4、三通阀 5、进料管 6、反冲洗管
7、出口阀 8、出料管 9、出料管总阀
10、止回阀 11、压差计 12、废水储罐
13、二级预过滤器 131、活性炭过滤段 132、PP棉过滤段
133、支撑网 14、反渗透装置 15、脱气罐
16、液体物料进口管 17、气体出口管 18、液体产品出口管
19、超声波控制发生器 20、脱气内筒 201、筒壁脱气条
21、物料挡板 22、超纯水储罐 23、氮封装置
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做出简要说明。
如图1所示为一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：包括盘式过滤器1、液体输送泵2、进料控制总阀3、三通阀4、进料管5、反冲洗管6、出口阀7、出料管8、出料管总阀9、止回阀10、压差计11、废水储罐12、二级预过滤器13、反渗透装置14、脱气罐15、液体物料进口管16、气体出口管17、液体产品出口管18、超声波控制发生器19、脱气内筒20、物料挡板21、超纯水储罐22和氮封装置23，所述盘式过滤器1上端进料口与进料管5相连接，两者为法兰连接，所述进料管5上设置有三通阀4，所述三通阀4第三出口与反冲洗管6相连接，两者为法兰连接，所述反冲洗管6与废水储罐12连接，其上设置有止回阀10，防止管内液体因废液储罐液位过高倒流回盘式过滤器，所述进料管5另一端与液体输送泵2相连接，所述液体输送泵2另一端与废水储罐12相连接，所述盘式过滤器1上设置有压差计11，用来检测过滤器进出口的压差，根据所测得压差数据，判断是否需要进行反冲洗，所述盘式过滤器1下端出口与出料管8相连接，两者为法兰连接，所述出料管8上设置有出口阀7，所述盘式过滤器1、三通阀4、出口阀7和压差计11均为三个及三个以上，所述出料管总阀9位于出料管8上，在最后一个出口阀7后。
所述出料管总阀9与二级预过滤器13进口通过管道相连接，所述二级预过滤器13包括上下两段，上段为活性炭过滤段131，下段为PP棉过滤段132，两者之间设置有支撑网133，对两者起到分隔，并同时对活性炭起到支撑作用。所述二级预过滤器13出口通过管道与反渗透装置14进口相连接，所述反渗透装置14为常规反渗透装置，所述反渗透装置14出口设置有三通阀，通过三通阀控制出口物料直接送往下游用户装置或送往脱气罐15进行脱气。
所述脱气罐15顶部设置有气体出口管17，两者为法兰连接，所述脱气罐15上部设置有液体物料进口管16，两者为法兰连接，所述脱气罐15底部设置有液体产品出口管18，两者为法兰连接，所述脱气罐15内部设置有同轴的脱气内筒20，两者活动链接，所述超声波控制发生器19位于脱气罐15外部，通过电线与脱气内筒20相连接，通过产生超声波并控制超声波频率，使内筒产生共振，消除物料中的气泡，所述液体物料进料口16伸入脱气罐15内部，并设置有物料挡板21。
所述脱气罐15通过液体产品出口管18与超纯水储罐22相连接，所述超纯水储罐22上设置有氮封装置23，根据罐内压力，通过补充和排出氮气，保证超纯水不与空气接触，进而保证超纯水产品不受污染。
如图2所示，所述脱气内筒20内壁设置有筒壁脱气条201，所述筒壁脱气条201等间距分布在脱气内筒20内壁四周，材料可为金属或橡胶。
如图3所示，本实用新型所述的超纯水储罐22后可继续连接电除盐装置，以生产对产品规格要求更高的超纯水。
工作方式：以三台盘式过滤器为例，从左至右依次编号为A、B和C。使用时，打开进料控制总阀、出口阀、出料管总阀和液体输送泵，同时打开进料管上的三通阀，使原料水进入盘式过滤器，对原料水进行过滤，使用盘式过滤器上压差计检测过滤器进出口的压差，若盘式过滤器A所测得压差增大到高联锁值，则联锁其进口管上的三通阀动作，切换至反冲洗管，其余两台的过滤液从其出口进入过滤器，对过滤器进行反冲洗，冲洗的废水进入废水储罐，当压差降低到正常值时，则切换进口管上的三通阀至过滤状态，依次类推，可以实现盘式过滤器的不停车反冲洗，大大提高了生产效率。
通过盘式过滤器过滤后的原料水进入二级预过滤器，依次通过PP棉和活性炭，对水中残留的悬浮物和杂质进行脱除，随后原料水进入反渗透装置，通过装置的水已达到超纯水的指标，通过反渗透装置出口三通阀，根据需要可直接送往下游用户装置，也可送往脱气装置进行脱气处理。
超纯水通过液体物料进口管加入到脱气罐内，达到一定液位时，打开超声波控制发生器，通过产生超声波并控制超声波频率，使内筒产生共振，使物料中的小气泡聚集，本装置中设置的脱气内筒上的脱气条，通过毛细作用，可以有效使小气泡在其上聚集，最终形成大气泡，并在脱气罐上部聚集，最终通过气体出口管排出，消除物料中的气泡，最终产品通过液体产品出口管排出脱气罐。进一步，可通过超声波控制发生器使超声波频率与脱气内筒材料固有频率相同或接近，提高脱气效率，同时调节液体物料进口和出口流量，可实现连续化生产，进一步提高生产效率。
经过脱气处理的超纯水进入超纯水储罐备用，在需要时送往下游装置，也可继续通过电除盐装置，以生产对产品规格要求更高的超纯水。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：包括盘式过滤器、液体输送泵、进料控制总阀、三通阀、进料管、反冲洗管、出口阀、出料管、出料管总阀、止回阀、压差计、废水储罐、二级预过滤器、反渗透装置、脱气罐、液体物料进口管、气体出口管、液体产品出口管、超声波控制发生器、脱气内筒、物料挡板、超纯水储罐和氮封装置，所述盘式过滤器上端进料口与进料管相连接，两者为法兰连接，所述进料管上设置有三通阀，所述三通阀第三出口与反冲洗管相连接，两者为法兰连接，所述反冲洗管与废水储罐连接，其上设置有止回阀，所述进料管另一端与液体输送泵相连接，所述液体输送泵另一端与废水储罐相连接，所述盘式过滤器上设置有压差计，所述盘式过滤器下端出口与出料管相连接，两者为法兰连接，所述出料管上设置有出口阀，所述盘式过滤器、三通阀、出口阀和压差计均为三个及三个以上，所述出料管总阀位于出料管上，在最后一个出口阀后，所述出料管总阀与二级预过滤器进口通过管道相连接，所述二级预过滤器出口通过管道与反渗透装置进口相连接，所述反渗透装置为常规反渗透装置，所述脱气罐顶部设置有气体出口管，两者为法兰连接，所述脱气罐上部设置有液体物料进口管，两者为法兰连接，所述脱气罐底部设置有液体产品出口管，两者为法兰连接，所述脱气罐内部设置有同轴的脱气内筒，两者活动链接，所述超声波控制发生器位于脱气罐外部，通过电线与脱气内筒相连接，所述液体物料进料口伸入脱气罐内部，并设置有物料挡板，所述脱气罐通过液体产品出口管与超纯水储罐相连接。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：所述盘式过滤器上设置有压差计，每台盘式过滤器设置一台压差计。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：所述二级预过滤器包括上下两段，上段为活性炭过滤段，下段为PP棉过滤段，两者之间设置有支撑网。
4.根据权利要求1所述的一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：所述反渗透装置出口设置有三通阀，通过三通阀控制出口物料送往脱气罐进行脱气或直接送往下游用户装置。
5.根据权利要求1所述的一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：所述脱气内筒内壁设置有筒壁脱气条，所述筒壁脱气条等间距分布在脱气内筒内壁四周，材料可为金属或橡胶。
6.根据权利要求1所述的一种高纯度精制水的制备装置，其特征在于：所述超纯水储罐上设置有氮封装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621005074.5U CN206033408U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种高纯度精制水的制备装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201621005074.5U CN206033408U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种高纯度精制水的制备装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN206033408U true CN206033408U (zh) | 2017-03-22 |
Family
ID=58300841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201621005074.5U Expired - Fee Related CN206033408U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种高纯度精制水的制备装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN206033408U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113044982A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-06-29 | 北控水务(中国)投资有限公司 | 一种硫自养反硝化脱氮反应器及污水处理系统 |
-
2016
- 2016-08-30 CN CN201621005074.5U patent/CN206033408U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113044982A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-06-29 | 北控水务(中国)投资有限公司 | 一种硫自养反硝化脱氮反应器及污水处理系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107827286A (zh) | 一种电镀废水回收工艺及电镀废水回收设备 | |
| CN211394071U (zh) | 一种污水处理用超滤膜过滤装置 | |
| CN207748952U (zh) | 一种电镀废水回收设备 | |
| CN202933629U (zh) | 外压式中空纤维超滤膜组件 | |
| CN206033408U (zh) | 一种高纯度精制水的制备装置 | |
| CN207877300U (zh) | 一种基于膜接触器的超纯水脱碳/脱氧装置系统 | |
| CN201578891U (zh) | 新型砂滤器 | |
| CN210635836U (zh) | 一种工业超纯水制备装置 | |
| CN204981232U (zh) | 一种树脂吸附处理废水的系统 | |
| CN107224877A (zh) | 一种集装式超滤净水装置 | |
| CN104803516A (zh) | 一种一体化集装箱式海水淡化设备及其淡化工艺 | |
| CN209759155U (zh) | 一种浸没式超滤系统 | |
| CN213112745U (zh) | 一种研磨抛光水净化设备 | |
| CN207478122U (zh) | 一种用于净化添加剂溶液的过滤装置 | |
| CN105776664A (zh) | 一种提高反渗透模式生产纯净水效率的方法 | |
| CN206580647U (zh) | 一种水处理过滤反渗透装置 | |
| CN206142934U (zh) | 净水器及饮水机 | |
| CN205974027U (zh) | 重金属废水处理系统 | |
| CN220951327U (zh) | 一种反渗透装置 | |
| CN218938211U (zh) | 工业化液相色谱制备设备的进样预处理系统 | |
| CN214990448U (zh) | 一种超滤膜净水设备 | |
| CN206715474U (zh) | 一种果酱专用糖浆生产用过滤装置 | |
| CN204745855U (zh) | 一种树脂高效过滤装置 | |
| CN203728671U (zh) | 一种清洁生产中的超纯水清洗完后减排系统 | |
| CN215505935U (zh) | 一种生箔制造电解液过滤装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 300000 Tianjin city Xiqing District North Industrial Park Fu Sheng Road No. 13 Patentee after: TIANJIN PRIME NEW MATERIAL CO.,LTD. Address before: 300000 Tianjin city Xiqing District North Industrial Park Fu Sheng Road No. 13 Patentee before: TIANJIN PRIMETECH CHEMICAL Co.,Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170322 |