CN205980600U - 一种硅片烘干装置 - Google Patents
一种硅片烘干装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205980600U CN205980600U CN201620848454.9U CN201620848454U CN205980600U CN 205980600 U CN205980600 U CN 205980600U CN 201620848454 U CN201620848454 U CN 201620848454U CN 205980600 U CN205980600 U CN 205980600U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hot
- air duct
- hot air
- silicon chip
- drying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 52
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 30
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 4
- 108091023288 HOTAIR Proteins 0.000 abstract 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本实用新型公布了一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。本实用新型对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片切割技术领域，特别是涉及一种硅片烘干装置。
背景技术
现有的硅片清洗机的硅片烘干装置通常是热风通过风机吹入烘干槽内。原烘干槽风量不均匀，热风从管道出来到槽体后没有一个均风系统，导致风口近端没有风或有少量风。这样会导致靠近风口处硅片不容易烘干。另外现有的烘干装置风向控制不良，热风从风口吹出后，是大部分先吹到对面槽壁上，再通过槽壁折射到底部，这样导致热风不是均匀向下流动。底部硅片不容烘干。
发明内容
本实用新型目的在于针对现有硅片清洗机的硅片烘干装置的缺陷，提供一种烘干效果更好的硅片烘干装置。
本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案：
一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。
其进一步特征在于：所述烘干槽内设置有回风管道将烘干槽内的热风回流至风机，形成循环。
优选的：所述风机包括第一风机和第二风机，所述热风管道包括第一热风管道和第二热风管道，所述回风管道包括第一回风管道和第二回风管道；所述第一风机、第一热风管道和第一回风管道形成一个热风回路；所述第二风机、第二热风管道、喷嘴和第二回风管道形成另一个热风回路。
所述喷嘴为设置在多根热风管上的扇形喷嘴，使热风经过喷嘴后形成一个扇形风面。
所述热风管为三根。
本实用新型对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。
附图说明
图 1 为本实用新型示意图。
具体实施方式
如图1所示一种硅片烘干装置，包括烘干槽5，所述烘干槽5上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；所述烘干槽5内设置有回风管道将烘干槽5内的热风回流至风机，形成循环，通过热风的循环减少热量的损失。所述烘干槽5内下部设置有三根热风管，所述热风管上设置有多个扇形的喷嘴1，使热风经过喷嘴1后形成一个扇形风面，所述喷嘴1将设置在烘干槽5下部的风机和热风通道提供的均匀的热风向上吹送。
所述风机包括第一风机7和第二风机3，所述热风管道包括第一热风管道8和第二热风管道2，所述回风管道包括第一回风管道6和第二回风管道4；所述第一风机7、第一热风管道8和第一回风管道6形成一个热风回路；所述第二风机3、第二热风管道2、喷嘴1和第二回风管道4形成另一个热风回路。
本实用新型对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。
Claims (5)
1.一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。
2.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于：所述烘干槽内设置有回风管道将烘干槽内的热风回流至风机，形成循环。
3.根据权利要求2所述的硅片烘干装置，其特征在于：所述风机包括第一风机和第二风机，所述热风管道包括第一热风管道和第二热风管道，所述回风管道包括第一回风管道和第二回风管道；所述第一风机、第一热风管道和第一回风管道形成一个热风回路；所述第二风机、第二热风管道、喷嘴和第二回风管道形成另一个热风回路。
4.根据权利要求1-3任一项所述的硅片烘干装置，其特征在于：所述喷嘴为设置在多根热风管上的扇形喷嘴，使热风经过喷嘴后形成一个扇形风面。
5.根据权利要求4所述的硅片烘干装置，其特征在于：所述热风管为三根。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620848454.9U CN205980600U (zh) | 2016-08-05 | 2016-08-05 | 一种硅片烘干装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620848454.9U CN205980600U (zh) | 2016-08-05 | 2016-08-05 | 一种硅片烘干装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205980600U true CN205980600U (zh) | 2017-02-22 |
Family
ID=58029523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620848454.9U Active CN205980600U (zh) | 2016-08-05 | 2016-08-05 | 一种硅片烘干装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205980600U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107131743A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-05 | 海宁家能太阳能工业有限公司 | 一种用于太阳能硅片烘干设备 |
-
2016
- 2016-08-05 CN CN201620848454.9U patent/CN205980600U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107131743A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-09-05 | 海宁家能太阳能工业有限公司 | 一种用于太阳能硅片烘干设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205192191U (zh) | 一种带除湿功能的消失模涂料烘干房 | |
| CN105783476A (zh) | 一种热风喷气式电磁加热带式连续干燥机系统 | |
| CN205980600U (zh) | 一种硅片烘干装置 | |
| CN103658103A (zh) | 一种超声波清洗机 | |
| CN205803881U (zh) | 一种拉幅定型机烘箱 | |
| CN106766842A (zh) | 一种热风循环节能型粮食烘干机 | |
| CN206637953U (zh) | 陶瓷坯体干燥烘房结构 | |
| CN206037604U (zh) | 空气能吊挂式物料烘干系统 | |
| CN204699417U (zh) | 一种喷雾干燥机 | |
| CN203478842U (zh) | 一种沸腾干燥器 | |
| CN205878800U (zh) | 降低硅片吹干时间的烘干槽 | |
| CN205580103U (zh) | 一种热风循环烘箱 | |
| CN203664262U (zh) | 一种超声波清洗机 | |
| CN203940722U (zh) | 干燥机的热风装置 | |
| CN209459318U (zh) | 一种木材烘干装置 | |
| CN203820631U (zh) | 一种玻璃板加热炉用对流箱 | |
| CN201926274U (zh) | 一种可回收再利用余热的螺旋式干燥装置 | |
| CN206247761U (zh) | 一种电热管干燥箱 | |
| CN105241197A (zh) | 一种高效钢丝在线烘箱 | |
| CN206778986U (zh) | 一种注塑件表面处理机构 | |
| CN206443175U (zh) | 一种自动快速除湿吹风的烟草烘烤间 | |
| CN205319044U (zh) | 用于加工电容器的振动送料机构 | |
| CN105937158A (zh) | 一种具备热风吹干功能的晾衣杆 | |
| CN203893590U (zh) | 一种自动调节烘干装置 | |
| CN205124981U (zh) | 一种枸杞烘干设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210928 Address after: 710199 no.388 Hangtian Middle Road, Chang'an District, Xi'an City, Shaanxi Province Patentee after: LONGI GREEN ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: No. 111-1, Ximei Road, New District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Patentee before: WUXI LONGI SILICON MATERIALS Corp. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |