CN205959958U - 一种封闭式臭氧喷淋系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种封闭式臭氧喷淋系统,其包括第一手动阀等,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。本实用新型解决了臭氧外泄问题,使氧化层更加均匀,减少氧气用量,提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种臭氧喷淋系统,特别是涉及一种封闭式臭氧喷淋系统。
背景技术
目前,刻蚀后氧化采用的传统臭氧方式是一个常规工艺,但传统的臭氧方式稳定性较差,受环境影响较大。由于臭氧喷淋板是半封闭状态,设备抽风和环境负压都会对臭氧效果造成影响。
针对传统臭氧方式的不足,提出设计一种新的封闭式臭氧喷淋系统,以减小环境对氧化层的影响,充分发挥氧化层的最大化优势。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种封闭式臭氧喷淋系统,不但可以有效解决臭氧外泄问题,也可以使氧化层更加均匀稳定,减少氧气用量,提高生产效率。
本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的:一种封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
优选地,所述喷淋管贴有胶带。
优选地,所述清洗机贴有胶带。
优选地,所述甩干机的形状为长方体。
本实用新型的积极进步效果在于:本实用新型不但可以有效解决臭氧外泄问题,也可以使氧化层更加均匀稳定,减少氧气用量,提高生产效率,结构简单,成本低。
附图说明
图1为本实用新型封闭式臭氧喷淋系统的原理框图。
具体实施方式
下面结合附图给出本实用新型较佳实施例,以详细说明本实用新型的技术方案。
如图1所示,本实用新型封闭式臭氧喷淋系统包括第一手动阀1、第一气动阀2、第二手动阀3、第二气动阀4、第三手动阀5、第三气动阀6、第一流量计7、喷淋管8、第二流量计9、氮气加热管10、甩干机11、抽风机12、出风口13、氧气罐14、氮气罐15、臭氧发生机16,第一手动阀1和第二手动阀3都与氮气罐15连接,第一气动阀2连接于第一手动阀1下方,第二气动阀4连接于第一手动阀3下方,氮气加热管10的两端分别与第一气动阀2和喷淋管8相连,第二流量计9的两端分别与第二气动阀4和喷淋管8相连,第一流量计7与喷淋管8相连,第三气动阀6的两端分别与第三手动阀5和第一流量计7相连,臭氧发生机16和氧气罐14相连且位于第三手动阀5上方,抽风机12的两端分别与出风口13、甩干机11连接,第一流量计7、喷淋管8、第二流量计9都位于甩干机11内。
本实用新型的工作原理如下:第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀都有专门的气动控制口,当有气信号输入可以执行指令。第一手动阀、第二手动阀、第三手动阀都可以手动控制,当出现意外情况时,可以人为控制。进气口与抽风机同时运行,使甩干机腔体压力稳定。氮气罐为设备输送氮气,氧气罐为设备输送氧气,流量计可以测量流量。甩干机利用离心率将物体变干燥,出风口使得气体由专门排放的地方,氮气加热管可以加热氮气。
硅片放入甩干机内,关闭甩干机盖板,电机转动进行甩干同时第一气动阀打开进行氮气清洗硅片。甩干完成后第一气动阀关闭,第三气动阀和第二气动阀同时打开混合后,气体进入甩干机腔体,臭氧的作用是在硅片表面形成氧化层,氮气作为平衡气体使腔体内气体更加均匀,更好的与硅片接触,在甩干和臭氧通入的整个过程抽风机是处于工作状态。氧化层生成后,第三气动阀和第二气动阀关闭,随后第一气动阀打开进行清洗,主要目的稀释臭氧并进行抽风,确保在甩干机打开盖板的时候没有臭氧味道。过程完成后抽风机停止抽风,取出硅片并进行亲水性测试。
喷淋管贴有胶带,这样可以防止环境负压对臭氧的影响。氮气加热管针对的对象是硅片,这样可以使硅片表面更加清洁,氧化层更加容易生成。甩干机的形状为长方体,这样更加节省材料,减少体积。
综上所述,本实用新型采用的是全封闭式的臭氧氧化方式,不但可以有效解决臭氧外泄问题,也可以使氧化层更加均匀稳定,封闭式臭氧喷淋使生产环境更加安全,减少氧气用量,提高生产效率。本实用新型采用对硅片进行加热氮气预清洗,使硅片表面更加清洁,使氧化层更容易生成。本实用新型采用进气与主动抽风方式同时进行,使甩干机腔体压力稳定。
以上所述的具体实施例,对本实用新型的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机,第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接,第一气动阀连接于第一手动阀下方,第二气动阀连接于第一手动阀下方,氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连,第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连,第一流量计与喷淋管相连,第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连,臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方,抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接,第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
2.如权利要求1所述的封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,所述喷淋管贴有胶带。
3.如权利要求1所述的封闭式臭氧喷淋系统,其特征在于,所述甩干机的形状为长方体。
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CN201620768598.3U CN205959958U (zh) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 一种封闭式臭氧喷淋系统 |
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CN106098597A (zh) * | 2016-07-14 | 2016-11-09 | 江苏永能光伏科技有限公司 | 一种封闭式臭氧喷淋系统 |
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