CN106098597A - 一种封闭式臭氧喷淋系统 - Google Patents

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常宇峰
王亚豪
庞国峰
张亦平
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Abstract

本发明公开了一种封闭式臭氧喷淋系统，其包括第一手动阀等，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。本发明解决了臭氧外泄问题，使氧化层更加均匀，减少氧气用量，提高生产效率。

Description

一种封闭式臭氧喷淋系统
技术领域
本发明涉及一种臭氧喷淋系统，特别是涉及一种封闭式臭氧喷淋系统。
背景技术
目前，刻蚀后氧化采用的传统臭氧方式是一个常规工艺，但传统的臭氧方式稳定性较差，受环境影响较大。由于臭氧喷淋板是半封闭状态，设备抽风和环境负压都会对臭氧效果造成影响。
针对传统臭氧方式的不足，提出设计一种新的封闭式臭氧喷淋系统，以减小环境对氧化层的影响，充分发挥氧化层的最大化优势。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种封闭式臭氧喷淋系统，不但可以有效解决臭氧外泄问题，也可以使氧化层更加均匀稳定，减少氧气用量，提高生产效率。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
优选地，所述喷淋管贴有胶带。
优选地，所述清洗机贴有胶带。
优选地，所述甩干机的形状为长方体。
本发明的积极进步效果在于：本发明不但可以有效解决臭氧外泄问题，也可以使氧化层更加均匀稳定，减少氧气用量，提高生产效率，结构简单，成本低。
附图说明
图1为本发明封闭式臭氧喷淋系统的原理框图。
具体实施方式
下面结合附图给出本发明较佳实施例，以详细说明本发明的技术方案。
如图1所示，本发明封闭式臭氧喷淋系统包括第一手动阀1、第一气动阀2、第二手动阀3、第二气动阀4、第三手动阀5、第三气动阀6、第一流量计7、喷淋管8、第二流量计9、氮气加热管10、甩干机11、抽风机12、出风口13、氧气罐14、氮气罐15、臭氧发生机16，第一手动阀1和第二手动阀3都与氮气罐15连接，第一气动阀2连接于第一手动阀1下方，第二气动阀4连接于第一手动阀3下方，氮气加热管10的两端分别与第一气动阀2和喷淋管8相连，第二流量计9的两端分别与第二气动阀4和喷淋管8相连，第一流量计7与喷淋管8相连，第三气动阀6的两端分别与第三手动阀5和第一流量计7相连，臭氧发生机16和氧气罐14相连且位于第三手动阀5上方，抽风机12的两端分别与出风口13、甩干机11连接，第一流量计7、喷淋管8、第二流量计9都位于甩干机11内。
本发明的工作原理如下：第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀都有专门的气动控制口，当有气信号输入可以执行指令。第一手动阀、第二手动阀、第三手动阀都可以手动控制，当出现意外情况时，可以人为控制。进气口与抽风机同时运行，使甩干机腔体压力稳定。氮气罐为设备输送氮气，氧气罐为设备输送氧气，流量计可以测量流量。甩干机利用离心率将物体变干燥，出风口使得气体由专门排放的地方，氮气加热管可以加热氮气。
硅片放入甩干机内，关闭甩干机盖板，电机转动进行甩干同时第一气动阀打开进行氮气清洗硅片。甩干完成后第一气动阀关闭，第三气动阀和第二气动阀同时打开混合后，气体进入甩干机腔体，臭氧的作用是在硅片表面形成氧化层，氮气作为平衡气体使腔体内气体更加均匀，更好的与硅片接触，在甩干和臭氧通入的整个过程抽风机是处于工作状态。氧化层生成后，第三气动阀和第二气动阀关闭，随后第一气动阀打开进行清洗，主要目的稀释臭氧并进行抽风，确保在甩干机打开盖板的时候没有臭氧味道。过程完成后抽风机停止抽风，取出硅片并进行亲水性测试。
喷淋管贴有胶带，这样可以防止环境负压对臭氧的影响。氮气加热管针对的对象是硅片，这样可以使硅片表面更加清洁，氧化层更加容易生成。甩干机的形状为长方体，这样更加节省材料，减少体积。
综上所述，本发明采用的是全封闭式的臭氧氧化方式，不但可以有效解决臭氧外泄问题，也可以使氧化层更加均匀稳定，封闭式臭氧喷淋使生产环境更加安全，减少氧气用量，提高生产效率。本发明采用对硅片进行加热氮气预清洗，使硅片表面更加清洁，使氧化层更容易生成。本发明采用进气与主动抽风方式同时进行，使甩干机腔体压力稳定。
以上所述的具体实施例，对本发明的解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
2.如权利要求1所述的封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，所述喷淋管贴有胶带。
3.如权利要求1所述的封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，所述甩干机的形状为长方体。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103165407A (zh) * 2011-12-14 2013-06-19 有研半导体材料股份有限公司 一种用于硅片表面制样的表面处理及腐蚀的工艺和装置
US20150354060A1 (en) * 2014-06-04 2015-12-10 Tokyo Electron Limited Film formation apparatus, film formation method, and storage medium
CN205959958U (zh) * 2016-07-14 2017-02-15 江苏永能光伏科技有限公司 一种封闭式臭氧喷淋系统

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