CN205925426U - 一种有害气体排气控制装置 - Google Patents
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Abstract
一种有害气体排气控制装置，属于抽真空技术领域。该有害气体排气控制装置，包括真空泵，波纹管，排气管路Ⅰ，排气管路Ⅱ，支排气管路Ⅰ，支排气管路Ⅱ，过滤筒和电动球阀，所述排气管路Ⅰ一端分别与支排气管路Ⅰ和支排气管路Ⅱ一端连接，支排气管路Ⅰ与支排气管路Ⅱ并联，支排气管路Ⅰ设置有电动球阀，支排气管路Ⅱ设置有过滤筒，支排气管路Ⅰ另一端、支排气管路Ⅱ另一端与排气管路Ⅱ一端连接，排气管路Ⅱ设置有波纹管，所述真空泵与排气管路Ⅱ连接。本实用新型采用并联管路的方式控制有毒气体的排放，可以自动切换选择支排气管路Ⅰ或支排气管路Ⅱ进行排气，当反应腔体产生有毒气体，通过支排气管路Ⅱ进行抽真空维持反应腔体的恒定压力。
Description
技术领域
本实用新型属于抽真空技术领域，特别涉及一种排气控制装置。
背景技术
等离子表面处理作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子表面处理过程中，需要将反应腔体抽成真空，反应腔体保持恒定压力。产品在处理过程中腔体内会发生化学反应，反应中会产生的气体氟化氢气体等气体，氟化氢气体具有毒性。有毒气体会通过真空泵排出反应腔体会造成空气污染，需要对其进行过滤。在等离子表面处理处理前期，真空泵从常压开始给反应腔体抽真空时，此时真空泵排气量较大，而反应腔体内未发生化学反应，并没有产生有害气体。如果反应腔体内气体直接通过过滤筒被抽走，由于过滤物质的阻碍，使得真空泵排气受阻，从而在真空泵内产生较大压强，进而容易损坏真空泵，减短真空泵的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服上述不足，提供一种有害气体排气控制装置。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种有害气体排气控制装置，其特征在于：包括真空泵，波纹管，排气管路Ⅰ，排气管路Ⅱ，支排气管路Ⅰ，支排气管路Ⅱ，过滤筒和电动球阀，所述排气管路Ⅰ一端分别与支排气管路Ⅰ和支排气管路Ⅱ一端连接，支排气管路Ⅰ与支排气管路Ⅱ并联，支排气管路Ⅰ设置有电动球阀，支排气管路Ⅱ设置有过滤筒，支排气管路Ⅰ另一端、支排气管路Ⅱ另一端与排气管路Ⅱ一端连接，排气管路Ⅱ设置有波纹管，所述真空泵与排气管路Ⅱ连接。
所述排气管路Ⅰ，排气管路Ⅱ，支排气管路Ⅰ与支排气管路Ⅱ的材料是PVC材料，其直径范围是DN20-DN40。
所述过滤筒直径范围是50-90mm，长度范围是200-400mm，过滤筒数量至少为两个，过滤筒过滤掉有毒气体是采取酸碱中和方式，过滤介质为活性氧化铝。
所述电动球阀的材质是316不锈钢，类型是固定球球阀，电动球阀直径范围20-40mm。
所述波纹管材质是316不锈钢，直径范围是30-50mm。
所述真空泵的功率是5-20KW，抽速500-1500m3/h。
本实用新型采用并联管路的方式控制有毒气体的排放，可以自动切换选择支排气管路Ⅰ或支排气管路Ⅱ进行排气，因此对没有产生有毒反应气体反应腔体进行粗抽真空时，反应腔体可以通过支排气管路Ⅰ高效率粗抽，当反应腔体产生有毒气体，通过支排气管路Ⅱ进行抽真空维持反应腔体的恒定压力。
本实用新型具有的有益效果：
(1)利用有害气体排气控制装置，在刚开始抽真空时，能提高反应腔体的排气效率，减小真空泵排气压强。
(2)当反应腔体产生有毒气体时，能自动切换到具有过滤器的排气管路，使有毒物质能够被过滤掉，对空气产生零污染。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
图1为一种有害气体排气控制装置结构示意图。
图中：1、真空泵，2、波纹管，3、排气管路Ⅱ，4、过滤筒，5、支排气管路Ⅱ，6、支排气管路Ⅰ，7、电动球阀，8、排气管路Ⅰ。
具体实施例
实施例1
如图1所示，一种有害气体排气控制装置，包括真空泵1，波纹管2，排气管路Ⅰ8，排气管路Ⅱ3，支排气管路Ⅰ6，支排气管路Ⅱ5，过滤筒4和电动球阀7，所述排气管路Ⅰ8一端分别与支排气管路Ⅰ6和支排气管路Ⅱ5的一端连接，支排气管路Ⅰ6与支排气管路Ⅱ5并联，支排气管路Ⅰ6设置有电动球阀7，所述电动球阀7的材质是316不锈钢，类型是固定球球阀，电动球阀7直径范围20mm。支排气管路Ⅱ5设置有过滤筒4，所述过滤筒4直径范围是50mm，长度范围是200mm，过滤筒4数量为两个，过滤筒4过滤掉有毒气体是采取酸碱中和方式，过滤介质为活性氧化铝。支排气管路Ⅰ6另一端、支排气管路Ⅱ5另一端与排气管路Ⅱ3一端连接，排气管路Ⅱ3设置有波纹管2，所述波纹管2材质是316不锈钢，直径范围是30mm。所述真空泵1与排气管路Ⅱ3连接，所述真空泵1的功率是5KW，抽速500m3/h。所述排气管路Ⅰ8，排气管路Ⅱ3，支排气管路Ⅰ6与支排气管路Ⅱ5的材料是PVC材料，其直径范围是DN20。
检查真空设备水、电、气路状态，一切正常后开始操作。启动真空泵1，开始抽真空，打开电动球阀7，真空泵1排气经电动球阀7控制的支排气管路Ⅰ6排出。真空泵1继续运行，反应腔体内真空度处于工艺要求阶段，排气量减小。电动球阀7关闭，反应腔体内的产品处理开始，发生化学反应产生氟化氢等气体，有害气体经设置有过滤筒4的支排气管路Ⅱ5排出。生产结束，化学反应停止，停止对反应腔体抽真空。
实施例2
如图1所示，一种有害气体排气控制装置，包括真空泵1，波纹管2，排气管路Ⅰ8，排气管路Ⅱ3，支排气管路Ⅰ6，支排气管路Ⅱ5，过滤筒4和电动球阀7，所述排气管路Ⅰ8一端分别与支排气管路Ⅰ6和支排气管路Ⅱ5的一端连接，支排气管路Ⅰ6与支排气管路Ⅱ5并联，支排气管路Ⅰ6设置有电动球阀7，所述电动球阀7的材质是316不锈钢，类型是固定球球阀，电动球阀7直径范围30mm。支排气管路Ⅱ5设置有过滤筒4，所述过滤筒4直径范围是70mm，长度范围是300mm，过滤筒4数量为三个，过滤筒4过滤掉有毒气体是采取酸碱中和方式，过滤介质为活性氧化铝。支排气管路Ⅰ6另一端、支排气管路Ⅱ5另一端与排气管路Ⅱ3一端连接，排气管路Ⅱ3设置有波纹管2，所述波纹管2材质是316不锈钢，直径范围是40mm。所述真空泵1与排气管路Ⅱ3连接，所述真空泵1的功率是12KW，抽速1000m3/h。所述排气管路Ⅰ8，排气管路Ⅱ3，支排气管路Ⅰ6与支排气管路Ⅱ5的材料是PVC材料，其直径范围是DN30。
实施例3
如图1所示，一种有害气体排气控制装置，包括真空泵1，波纹管2，排气管路Ⅰ8，排气管路Ⅱ3，支排气管路Ⅰ6，支排气管路Ⅱ5，过滤筒4和电动球阀7，所述排气管路Ⅰ8一端分别与支排气管路Ⅰ6和支排气管路Ⅱ5的一端连接，支排气管路Ⅰ6与支排气管路Ⅱ5并联，支排气管路Ⅰ6设置有电动球阀7，所述电动球阀7的材质是316不锈钢，类型是固定球球阀，电动球阀7直径范围40mm。支排气管路Ⅱ5设置有过滤筒4，所述过滤筒4直径范围是90mm，长度范围是400mm，过滤筒4数量为四个，过滤筒4过滤掉有毒气体是采取酸碱中和方式，过滤介质为活性氧化铝。支排气管路Ⅰ6另一端、支排气管路Ⅱ5另一端与排气管路Ⅱ3一端连接，排气管路Ⅱ3设置有波纹管2，所述波纹管2材质是316不锈钢，直径范围是50mm。所述真空泵1与排气管路Ⅱ3连接，所述真空泵1的功率是20KW，抽速1500m3/h。所述排气管路Ⅰ8，排气管路Ⅱ3，支排气管路Ⅰ6与支排气管路Ⅱ5的材料是PVC材料，其直径范围是DN40。
Claims (6)
1.一种有害气体排气控制装置，其特征在于：包括真空泵(1)，波纹管(2)，排气管路Ⅰ(8)，排气管路Ⅱ(3)，支排气管路Ⅰ(6)，支排气管路Ⅱ(5)，过滤筒(4)和电动球阀(7)，所述排气管路Ⅰ(8)一端分别与支排气管路Ⅰ(6)和支排气管路Ⅱ(5)的一端连接，支排气管路Ⅰ(6)与支排气管路Ⅱ(5)并联，支排气管路Ⅰ(6)设置有电动球阀(7)，支排气管路Ⅱ(5)设置有过滤筒(4)，支排气管路Ⅰ(6)另一端、支排气管路Ⅱ(5)另一端与排气管路Ⅱ(3)一端连接，排气管路Ⅱ(3)设置有波纹管(2)，所述真空泵(1)与排气管路Ⅱ(3)连接。
2.根据权利要求1所述一种有害气体排气控制装置，其特征在于：所述排气管路Ⅰ(8)，排气管路Ⅱ(3)，支排气管路Ⅰ(6)与支排气管路Ⅱ(5)的材料是PVC材料，其直径范围是DN20-DN40。
3.根据权利要求1所述一种有害气体排气控制装置，其特征在于：所述过滤筒(4)直径范围是50-90mm，长度范围是200-400mm，过滤筒(4)数量至少为两个，过滤介质为活性氧化铝。
4.根据权利要求1所述一种有害气体排气控制装置，其特征在于：所述电动球阀(7)的材质是316不锈钢，类型是固定球球阀，电动球阀(7)直径范围20-40mm。
5.根据权利要求1所述一种有害气体排气控制装置，其特征在于：所述波纹管(2)材质是316不锈钢，直径范围是30-50mm。
6.根据权利要求1所述一种有害气体排气控制装置，其特征在于：所述真空泵(1)的功率是5-20KW，抽速500-1500m3/h。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620433950.8U CN205925426U (zh) | 2016-05-13 | 2016-05-13 | 一种有害气体排气控制装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620433950.8U CN205925426U (zh) | 2016-05-13 | 2016-05-13 | 一种有害气体排气控制装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN205925426U true CN205925426U (zh) | 2017-02-08 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201620433950.8U Active CN205925426U (zh) | 2016-05-13 | 2016-05-13 | 一种有害气体排气控制装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN205925426U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111659688A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-15 | 碎得机械(北京)有限公司 | 一种用于密封仓的排风系统和密封仓 |
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2016
- 2016-05-13 CN CN201620433950.8U patent/CN205925426U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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