CN205893379U - 镀膜装置吊靶机构 - Google Patents

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徐旻生
庄炳河
王应斌
龚文志
崔汉夫
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Aifake China Investment Co ltd
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Ulvac Opto Electronics Thinfilm Technology Shenzhen Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种镀膜装置吊靶机构,包括支架、安装于支架上的行走组件以及安装于行走组件上而由行走组件带动进行三维移动的载具,所述载具包括吊挂在行走组件上的主框架、与所述主框架铰接的活动框架以及设置于活动框架上用于固定靶材的固定组件,所述主框架的底端与活动框架的中部通过活动铰链铰接,所述活动铰链的铰接轴呈水平设置。本实用新型通过将载具设计为主框架和活动框架的组合,而且活动框架的中部以活动铰链铰接于主框架上,能绕水平设置的铰链轴旋转,从而可以方便将活动框架旋转至合适的角度来固定或释放靶材,操作便捷省力。

Description

镀膜装置吊靶机构
技术领域
本实用新型涉及镀膜生产设备技术领域,尤其涉及一种镀膜装置吊靶机构。
背景技术
镀膜装置中采用的靶材时常需要根据消耗的情况及时更换,靶材本身重量相当大,需要借助于相应的吊靶机构来实现拆装及搬运。现有的吊靶机构主要包括支架、安装于支架上的载具以及驱动载具三维移动的行走组件,载具包括用于固定靶材的固定组件。现有的吊靶机构的载具只能方向固定地夹取、放下靶材,在操作上多有不便。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种镀膜装置吊靶机构,以方便灵活地吊装及拆换靶材。
为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种镀膜装置吊靶机构,包括支架、安装于支架上的行走组件以及安装于行走组件上而由行走组件带动进行三维移动的载具,所述载具包括吊挂在行走组件上的主框架、与所述主框架铰接的活动框架以及设置于活动框架上用于固定靶材的固定组件,所述主框架的底端与活动框架的中部通过活动铰链铰接,所述活动铰链的铰接轴呈水平设置。
进一步地,所述活动框架的靠一端部的位置还在与安装固定组件的一侧面相反的另一侧面的靠两侧缘处向外凸出设置有锁固片,锁固片上开设有锁固孔,而在主框架两侧面的对应位置上设置有锁固螺孔,在活动框架绕铰接轴旋转至锁固片上的锁固孔对正主框架两侧面上的锁固螺孔时,用锁固螺栓穿过锁固孔并螺合于锁固螺孔内而将活动框架锁固于主框架上。
进一步地,所述锁固孔为长槽孔。
进一步地,所述活动框架的中部向一侧凸出设置有铰接支架,铰接支架上还设有若干个凸耳,主框架的底端设有若干个铰接座,每组铰接座包括两个平行地相对于主框架的底端面凸出设置的铰接臂,所述每一个凸耳对应插入一个铰接座的两铰接臂之间并由铰接轴对应依次穿过一侧的铰接臂、所述凸耳和另一侧的铰接臂而将活动框架铰接于主框架上。
进一步地,所述固定组件包括中部以枢轴安装于活动框架的两端的固定板、安装于固定板两端的固定座,所述固定座上设有用于直接固定靶材的紧固件。
进一步地,所述固定板的偏离枢轴的位置处还设有以枢轴的轴心为圆心的弧形槽,并在活动框架上对应设有销孔,借助于销轴螺合于所述销孔中并对应穿入弧形槽中而与所述弧形槽配合对限制固定板的旋转角度。
进一步地,所述固定座上开设有长条孔,固定板上对应设有螺孔,由螺栓穿过所述固定座上的长条孔并对应锁合于固定板上螺孔内而将固定座锁固于固定板的两端。
进一步地,所述行走组件包括安装于支架顶端的道轨、安装于道轨上的滑行车以及吊装于滑行车下端的电动葫芦,所述载具吊装于电动葫芦的挂钩上。
采用上述技术方案后,本实用新型至少具有如下有益效果:通过将载具设计为主框架和活动框架的组合,而且活动框架的中部以活动铰链铰接于主框架上,能绕水平设置的铰链轴旋转,从而可以方便将活动框架旋转至合适的角度来固定或释放靶材,操作便捷省力。
附图说明
图1是本实用新型镀膜装置吊靶机构的整体结构示意图。
图2是本实用新型镀膜装置吊靶机构的载具的结构示意图。
图3是图2的A-A面的剖视示意图。
图4是图2的B-B面的剖视示意图。
图5是本实用新型镀膜装置吊靶机构的载具上固定有靶材的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步详细说明。应当理解,以下的示意性实施例及说明仅用来解释本实用新型,并不作为对本实用新型的限定,而且,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。
如图1及图2所示,本实用新型实施例提供一种镀膜装置吊靶机构,包括支架1、安装于支架1上的行走组件2以及安装于行走组件2上而由行走组件2带动进行三维移动的载具3。
所述载具3包括吊挂在行走组件2上的主框架30、与所述主框架30铰接的活动框架32以及设置于活动框架32上用于固定靶材的固定组件34。主框架30的顶端设有吊环31,通过所述吊环31吊挂至行走组件2上。所述主框架30的底端与活动框架32的中部通过活动铰链36铰接,所述活动铰链36的铰接轴364(结合图5所示)呈水平设置。从而,所述活动框架32可以绕水平设置的铰接轴旋转至合适的角度来进行靶材的固定或释放。
在如图4所示的实施例中,所述固定组件34包括中部以枢轴340安装于活动框架32的两端的固定板342、安装于固定板342两端的固定座344,所述固定座344上设有用于直接固定靶材的紧固件346。
在实际应用时,靶材背板(靶材载体)上通常会设置有4个连接点,紧固件346通常是连接至所述靶材背板的连接点上,而由于制作精度的问题,这4个连接点位置可能存在偏差,例如:有可能不在同一平面上,为了能使连接时靶材背板与固定板342贴合更加灵活,且方便操作,而将所述固定板342设计为可以绕枢轴340进行适当的旋转,从而通过旋转固定板342来调整连接时的距离和位置,以便与靶材背板上的连接点相匹配。而为了限制固定板342的旋转角度,在固定板342的偏离枢轴340的位置处还设有以枢轴340的轴心为圆心的弧形槽343,并在活动框架32上对应设有供销轴穿过的销孔321,通过销轴螺合于所述销孔中并对应穿入弧形槽343中而与所述弧形槽343配合对固定板342的旋转角度进行限制。所述销轴可以采用带有外螺纹的销轴杆或者手旋螺栓,在如图3、图4所示的实施例中,活动框架32两端的固定板342上的销轴采用了不同类型的销轴,一端的固定板342上采用的是带有外螺纹的销轴杆346,而另一端的固定板342采用的是手旋螺栓348。所述固定座344可通过长条孔345及螺栓配合来锁固于固定板342的两端,而可通过以长条孔345的不同位置与螺栓配合,而可以微调固定座344的位置以与不同宽度规格的靶材相匹配。
在本实用新型另一个实施例中,所述活动框架32的靠一端部的位置还在与安装固定组件34的一侧面相反的另一侧面的靠两侧缘处向外凸出设置有锁固片320,锁固片320上开设有锁固孔322,而在主框架30两侧面的对应位置上设置有锁固螺孔300,在活动框架32绕铰接轴旋转至锁固片320上的锁固孔322对正主框架30两侧面上的锁固螺孔300时,用锁固螺栓(图未示出)穿过锁固孔322并螺合于锁固螺孔300内而将活动框架32锁固于主框架30上,此时,活动框架32将无法再绕铰接轴旋转,而能在运送靶材过程中有效避免因活动框架32和靶材一起旋转摆动而碰撞周围其他物件。
在具体实施时,所述锁固孔322可选为长槽孔,从而可以在适当范围内调整活动框架32至适合角度后再锁固。
如图2及图3所示,所述活动框架32的中部向一侧凸出设置有铰接支架324,铰接支架324上还设有若干个凸耳360,主框架30的底端设有若干组相对于主框架的底端面平行地凸出设置的铰接臂362,所述每一个凸耳360插入对应一组铰接臂362之间并由铰接轴364对应依次穿过一侧的铰接臂362、所述凸耳360和另一侧的铰接臂362而将活动框架32铰接于主框架30上。
进一步地,所述活动框架32的两端为长槽孔。
进一步地,所述行走组件2包括安装于支架1顶端的道轨20、安装于道轨20上的滑行车22以及吊装于滑行车22下端的电动葫芦24,所述载具3吊装于电动葫芦24的挂钩240上。
本实用新型在使用时,当需要吊装靶材时,可以将通过行走组件2将载具3移动至靶材处,转动活动框架32,通过活动框架32上的固定组件34将靶材固定至活动框架32上,再使主框架30相对于活动框架32转动至活动框架32的的锁固片320上的锁固孔322对正主框架30两侧面上的锁固螺孔300时,用锁固螺栓穿过锁固孔322并螺合于锁固螺孔300内而将活动框架32锁固于主框架30上。然后,即可操控电动葫芦24吊起载具3及靶材,通过滑行车22在相应的道轨20上滑行,将靶材搬运到目的地后,即可再降下载具3及靶材,在将靶材摆放至位后,再解除载具3的活动框架32与靶材的连接,即完成靶材的搬运。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同范围限定。

Claims (8)

1.一种镀膜装置吊靶机构,包括支架、安装于支架上的行走组件以及安装于行走组件上而由行走组件带动进行三维移动的载具,其特征在于,所述载具包括吊挂在行走组件上的主框架、与所述主框架铰接的活动框架以及设置于活动框架上用于固定靶材的固定组件,所述主框架的底端与活动框架的中部通过活动铰链铰接,所述活动铰链的铰接轴呈水平设置。
2.如权利要求1所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述活动框架的靠一端部的位置还在与安装固定组件的一侧面相反的另一侧面的靠两侧缘处向外凸出设置有锁固片,锁固片上开设有锁固孔,而在主框架两侧面的对应位置上设置有锁固螺孔,在活动框架绕铰接轴旋转至锁固片上的锁固孔对正主框架两侧面上的锁固螺孔时,用锁固螺栓穿过锁固孔并螺合于锁固螺孔内而将活动框架锁固于主框架上。
3.如权利要求2所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述锁固孔为长槽孔。
4.如权利要求1所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述活动框架的中部向一侧凸出设置有铰接支架,铰接支架上还设有若干个凸耳,主框架的底端设有若干个铰接座,每组铰接座包括两个平行地相对于主框架的底端面凸出设置的铰接臂,所述每一个凸耳对应插入一个铰接座的两铰接臂之间并由铰接轴对应依次穿过一侧的铰接臂、所述凸耳和另一侧的铰接臂而将活动框架铰接于主框架上。
5.如权利要求1所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述固定组件包括中部以枢轴安装于活动框架的两端的固定板、安装于固定板两端的固定座,所述固定座上设有用于直接固定靶材的紧固件。
6.如权利要求5所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述固定板的偏离枢轴的位置处还设有以枢轴的轴心为圆心的弧形槽,并在活动框架上对应设有销孔,借助于销轴螺合于所述销孔中并对应穿入弧形槽中而与所述弧形槽配合对限制固定板的旋转角度。
7.如权利要求5所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述固定座上开设有长条孔,固定板上对应设有螺孔,由螺栓穿过所述固定座上的长条孔并对应锁合于固定板上螺孔内而将固定座锁固于固定板的两端。
8.如权利要求1所述的镀膜装置吊靶机构,其特征在于,所述行走组件包括安装于支架顶端的道轨、安装于道轨上的滑行车以及吊装于滑行车下端的电动葫芦,所述载具吊装于电动葫芦的挂钩上。
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