CN205855378U - 一种搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种搬运装置，涉及显示面板加工技术领域。为解决现有技术中掩模板采用人工搬运而导致掩模板损伤、搬运效率低的问题而发明。本实用新型搬运装置包括：承载平台，所述承载平台用于承载掩模板盒子，所述掩模板盒子内放置有掩模板；搬运小车，所述搬运小车包括小车主体以及设置于所述小车主体上的机械手组件，所述机械手组件用于抓取并夹持所述掩模板盒子内的掩模板，所述小车主体用于带动所述机械手组件移动，以将夹持于所述机械手组件上的掩模板运输至目的地。本实用新型搬运装置可用于自动搬运掩模板。

Description

一种搬运装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板加工技术领域，尤其涉及一种搬运装置。

背景技术

随着液晶显示技术的发展，光刻掩模板作为液晶显示技术的重要组成部分也得到了越来越多的应用。同时，高清显示技术的来临，使显示技术工艺层数增加，光刻掩模版的用量也进一步加大。在生产中，不可避免地会对光刻掩模板进行搬运，而现有技术中通常采用人工搬运。但是，由于光刻掩膜板的主要材料是石英玻璃，容易摔碎，而且人工搬运光刻掩模版不确定因素较多，从而造成人工搬运的风险较大，同时，随着掩模板的用量增多，人工搬运的搬运效率已不能满足显示面板的生产需要。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种搬运装置，能够实现掩模板盒子内掩模板的自动搬运，避免由于人为失误或其它人为因素造成光刻掩模版搬运过程中出现损伤，且能够节省人力，有利于提高搬运效率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例提供了一种搬运装置，用于搬运掩模板盒子内的掩模板，包括：承载平台，所述承载平台用于承载掩模板盒子，所述掩模板盒子内放置有掩模板；搬运小车，所述搬运小车包括小车主体以及设置于所述小车主体上的机械手组件，所述机械手组件用于抓取并夹持所述掩模板盒子内的掩模板，所述小车主体用于带动所述机械手组件移动，以将夹持于所述机械手组件上的掩模板运输至目的地。

可选的，所述机械手组件包括抓取结构和移动装置，所述抓取结构用于抓取所述掩模板盒子内的掩模板，所述移动装置用于带动所述抓取结构移动。

可选的，所述抓取结构包括第一机械爪、第二机械爪以及驱动装置，所述第一机械爪和所述第二机械爪相对设置，所述驱动装置用于驱动所述第一机械爪和所述第二机械爪向互相靠近或互相远离的方向移动，以夹紧或松开所述掩模板。

可选的，所述驱动装置包括第一驱动件、第一水平导轨、以及设置于所述第一水平导轨内的双向丝杠，所述双向丝杠包括左旋螺纹段和右旋螺纹段，所述左旋螺纹段上配合设有第一螺母，所述右旋螺纹段上配合设有第二螺母，所述第一螺母和所述第二螺母均与所述第一水平导轨滑动连接，且所述第一螺母与所述第一机械爪固定连接，所述第二螺母与所述第二机械爪固定连接，所述第一驱动件用于驱动所述双向丝杠旋转。

可选的，所述移动装置包括竖直移动装置和水平移动装置，所述竖直移动装置与所述抓取结构相连，所述竖直移动装置用于驱动所述抓取结构沿竖直方向移动，所述水平移动装置用于驱动所述抓取结构和所述竖直移动装置沿水平方向移动。

可选的，所述竖直移动装置包括第二驱动件、竖直导轨、设置于所述竖直导轨内的竖直丝杠、以及与所述竖直丝杠配合的第三螺母，所述第三螺母与所述竖直导轨滑动连接，所述第二驱动件可带动所述竖直丝杠转动，所述抓取结构与所述第三螺母固定连接。

可选的，所述水平移动装置包括第三驱动件、第二水平导轨、设置于所述第二水平导轨内的水平丝杠、以及与所述水平丝杠配合的第四螺母，所述第四螺母与所述第二水平导轨滑动连接，所述第三驱动件可带动所述水平丝杠转动，所述竖直移动装置与所述第四螺母固定连接。

可选的，还包括可拆卸连接结构，所述小车主体可通过所述可拆卸连接结构与所述承载平台连接。

可选的，所述可拆卸连接结构包括凸起和卡槽，所述凸起可卡接于所述卡槽内，且所述凸起和所述卡槽中的一个设置于所述承载平台上，所述凸起和所述卡槽中的另一个设置于所述小车主体上。

可选的，还包括位置调整装置，所述位置调整装置设置于所述承载平台上，用于将所述掩模板盒子的位置调整至预设位置。

可选的，所述位置调整装置包括相对且间隔设置的第一推送块和第二推送块，以及相对且间隔设置的第三推送块和第四推送块，所述第一推送块和所述第二推送块可沿第一方向推送并夹紧所述掩模板盒子，所述第三推送块和所述第四推送块可沿第二方向推送并夹紧所述掩模板盒子，所述第一方向和所述第二方向垂直。

可选的，所述承载平台上均匀镶嵌有多个滚球。

可选的，所述小车主体上还设有刹车装置，当所述小车主体停止时，所述刹车装置可阻止所述小车主体滑移。

可选的，所述小车主体上还设有供电装置，所述供电装置用于给所述搬运小车上的用电设备提供电量。

可选的，还包括控制器，所述控制器与所述机械手组件连接，所述控制器用于控制所述机械手移动，以抓取所述掩模板盒子内的掩模板。

本实用新型实施例提供的一种搬运装置，在将承载平台上掩模板盒子内的掩模板夹持于机械手组件上之后，可通过小车主体带动机械手组件移动，以将夹持于机械手组件上的掩模板运输至目的地，由此实现了掩模板的自动搬运，避免由于人为失误或其他人为因素造成掩模板在搬运过程中出现损伤，同时，通过本实用新型实施例搬运装置实现自动搬运，可节省人力，有利于提高搬运效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例搬运装置中小车主体与承载平台连接时的结构示意图；

图2为本实用新型实施例搬运装置中小车主体脱离承载平台时的结构示意图；

图3为本实用新型实施例搬运装置中搬运小车的结构示意图；

图4为本实用新型实施例搬运装置中抓取结构的剖视图；

图5为本实用新型实施例搬运装置中抓取结构的立体结构示意图；

图6a为图1所示搬运装置中区域A中凸起未伸入卡槽时的结构示意图；

图6b为图1所示搬运装置中区域A中凸起伸入卡槽后的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参照图1和图3，图1和图3为本实用新型实施例搬运装置的一个具体实施例，本实施例的搬运装置用于搬运掩模板盒子内的掩模板，包括：承载平台1，所述承载平台1用于承载掩模板盒子，所述掩模板盒子内放置有掩模板；搬运小车2，所述搬运小车2包括小车主体21以及设置于所述小车主体21上的机械手组件22，所述机械手组件22用于抓取并夹持所述掩模板盒子内的掩模板，所述小车主体21用于带动所述机械手组件22移动，以将夹持于所述机械手组件22上的掩模板运输至目的地。

本实用新型实施例提供的一种搬运装置，在将承载平台1上掩模板盒子内的掩模板夹持于机械手组件22上之后，可通过小车主体21带动机械手组件22移动，以将夹持于机械手组件22上的掩模板运输至目的地，由此实现了掩模板的自动搬运，避免由于人为失误或其他人为因素造成掩模板在搬运过程中出现损伤，同时，通过本实用新型实施例搬运装置实现自动搬运，可节省人力，有利于提高搬运效率。

在上述实施例中，承载平台1上能够放置的掩模板盒子数量可以为一个，也可以为多个，在此不做具体限定。当承载平台1上放置多个掩模板盒子时，此多个掩模板盒子可以堆叠放置于承载平台1上的某一处位置，也可以分散放置于承载平台1上的多处位置，在此不做具体限定，只要将掩模板盒子放置于承载平台1上即可。示例的，如图2所示，承载平台1上设置有两处用于放置掩模板盒子的位置(即图中所示的001和002)，多个掩模板盒子可分散放置于此两个位置上。

其中，小车主体21可以通过人手推动实现移动，也可以采用驱动结构驱动实现移动，在此不做具体限定。

另外，承载平台1可以为如图1或图2所示的“7”型平台，也可以为圆形平台，当然还可以为方形平台或三角形平台等等，在此不做具体限定。

为了抓取掩模板盒子内的掩模板，具体地，如图3所示，机械手组件22包括抓取结构221和移动装置222，抓取结构221用于抓取掩模板盒子内的掩模板，移动装置222用于带动抓取结构221移动，由此可通过移动装置222将抓取结构221带动至承载平台1上，并通过抓取结构221抓取承载平台1上的掩模板盒子。此结构简单，容易实现。

其中，抓取结构221可以为两爪结构，也可为三爪结构，当然，还可以为四爪结构等等，在此不做具体限定，但是，由于相比于三爪结构和四爪结构，两爪结构的结构通常简单而且容易控制，因此，优选抓取结构221为两爪结构，具体的，抓取结构221可以为如图4所示结构，即，抓取结构221包括第一机械爪2211、第二机械爪2212以及驱动装置2213，第一机械爪2211和第二机械爪2212相对设置，驱动装置2213用于驱动第一机械爪2211和第二机械爪2212向互相靠近或互相远离的方向移动，以夹紧或松开掩模板，由此通过驱动装置2213带动两个机械爪以抓取掩模板，相比于采用两个以上机械爪抓取掩模板的方案，本方案的结构简单，容易控制。

需要说明的是，如图3所示，抓取结构221除了包括上述第一机械爪2211、第二机械爪2212和驱动装置2213之外，还可以包括支撑件2214和支撑臂2215等，以对第一机械爪2211、第二机械爪2212和驱动装置2213起支撑作用。

为了使掩模板能够稳固地夹持于第一机械爪2211和第二机械爪2212之间，同时，为了减小第一机械爪2211和第二机械爪2212作用于掩模板相对两侧边沿的压强以避免损坏掩模板，第一机械爪2211和第二机械爪2212可以制作为如图5所示结构，即，第一机械爪2211由多个并排设置的第一爪22111依次连接而成，第二机械爪2212由多个并排设置的第二爪22121依次连接而成，由此在通过第一机械爪2211和第二机械爪2212夹持掩模板相对两侧边时，第一机械爪2211和第二机械爪2212对掩模板相对两侧边沿的支撑点较多，有利于将掩模板稳固地夹持于第一机械爪2211和第二机械爪2212之间，且能够减小第一机械爪2211和第二机械爪2212作用于掩模板相对两侧边沿的压强以避免损坏掩模板。

其中，第一机械爪2211包括的第一爪22111的数量可以为如图5所示的两个，也可以为三个，当然还可以为四个，在此不做具体限定。同理，第二机械爪2212包括的第二爪22121的数量可以为如图5所示的两个，也可以为三个，当然还可以为四个，在此不做具体限定。

为了带动第一机械爪2211和第二机械爪2212向互相靠近或互相远离的方向移动，驱动装置2213可以制作为如下结构，即，驱动装置2213包括第一驱动件22131、第一水平导轨(图中未示出)、以及设置于第一水平导轨内的双向丝杠22132，双向丝杠22132包括左旋螺纹段和右旋螺纹段，左旋螺纹段上配合设有第一螺母(图中未示出)，右旋螺纹段上配合设有第二螺母(图中未示出)，第一螺母和第二螺母均与第一水平导轨滑动连接，且第一螺母与第一机械爪2211固定连接，第二螺母与第二机械爪2212固定连接，第一驱动件22131用于驱动双向丝杠22132旋转，由此可使第一机械爪2211与第二机械爪2212向互相靠近或互相远离的方向移动，以夹紧或松开掩模板。此结构简单，容易实现，且通过丝杠螺母实现传动，能够提高第一机械爪2211和第二机械爪2212移动定位的准确性和传动的平稳性。

其中，第一驱动件22131可以为电机，也可以为电机和减速器组成的整体，在此不做具体限定。

具体的，移动装置222可以制作为如图3所示结构，即，移动装置222包括竖直移动装置2221和水平移动装置2222，竖直移动装置2221与抓取结构221相连，竖直移动装置2221用于驱动抓取结构221沿竖直方向移动，水平移动装置2222用于驱动抓取结构221和竖直移动装置2221沿水平方向移动，由此通过竖直移动装置2221和水平移动装置2222实现了抓取结构221的竖直驱动和水平驱动。相比于采用三轴驱动抓取结构221的方案，本方案采用水平方向和竖直方向的两轴驱动，结构简单，容易实现。

其中，竖直移动装置2221可以为气缸、液压缸、电动推杆，丝杠螺母结构等等，在此不做具体限定。但是，为了实现抓取结构221在竖直方向上的精确定位，优选竖直移动装置2221为丝杆螺母结构，具体的，竖直移动装置2221可以制作为如下结构，即，竖直移动装置2221包括第二驱动件(图中未示出)、竖直导轨(图中未示出)、设置于竖直导轨内的竖直丝杠(图中未示出)、以及与竖直丝杠配合的第三螺母(图中未示出)，第三螺母与竖直导轨滑动连接，第二驱动件可带动竖直丝杠转动，抓取结构221与第三螺母固定连接，由此通过丝杠螺母可实现抓取结构221的竖直驱动。此结构简单，容易实现，且相比于气缸、液压缸、电动推杆等结构，丝杠螺母配合具有定位准确，传动平稳等特点，由此可提高抓取结构221在竖直方向的定位准确性和传动的平稳性。

其中，第二驱动件可以为电机，也可以为电机和减速器组成的整体，在此不做具体限定。

同理，水平移动装置2222也可以为气缸、液压缸、电动推杆，丝杠螺母结构等等，在此不做具体限定。但是，为了实现抓取结构221在水平方向上的精确定位，优选水平移动装置2222为丝杆螺母结构，具体的，水平移动装置2222可以制作为如下结构，即，水平移动装置2222包括第三驱动件(图中未示出)、第二水平导轨(图中未示出)、设置于第二水平导轨内的水平丝杠(图中未示出)、以及与水平丝杠配合的第四螺母(图中未示出)，第四螺母与第二水平导轨滑动连接，第三驱动件可带动水平丝杠转动，竖直移动装置2221与第四螺母固定连接，由此通过丝杠螺母可实现抓取结构221和竖直移动装置2221的水平驱动。此结构简单，容易实现，且相比于气缸、液压缸、电动推杆等结构，丝杠螺母配合具有定位准确，传动平稳等特点，由此可提高抓取结构221和竖直移动装置2221在水平方向的定位准确性和传动平稳性。

其中，第三驱动件可以为电机，也可以为电机和减速器组成的整体，在此不做具体限定。

在采用机械手组件22抓取掩模板时，为了方便定位，通常防止小车主体21继续滑移，以方便固定承载平台1相对于小车主体21的位置坐标，利于确定机械手组件22的坐标零点，从而方便机械手组件22的控制，优选的，搬运装置还包括可拆卸连接结构3，小车主体21可通过可拆卸连接结构3与承载平台1连接，由此，在采用机械手组件22抓取掩模板之前，可通过可拆卸连接结构3将小车主体21与承载平台1连接，以防止小车主体21滑移而对机械手组件22的定位产生干扰，同时，将小车主体21与承载平台1相连，固定了承载平台1相对于小车主体21的位置坐标，有利于确定机械手组件22的坐标零点，从而方便机械手组件22的控制。在将掩模板夹持于机械手组件22上之后，可通过可拆卸连接结构3将小车主体21由承载平台1上拆卸出，使小车主体21能够带动机械手组件22移动，以将夹持于机械手组件22上的掩模板运输至目的地。

其中，可拆卸连接结构3可以为螺纹连接结构，也可以为卡接结构。当可拆卸连接结构3为螺纹连接结构时，由于螺纹连接操作复杂，耗时较长，因此拆卸安装效率较低。为了避免上述问题，优选的，可拆卸连接结构3为卡接结构，具体的，可拆卸连接结构3可以为如图1或图2所示的结构，即，可拆卸连接结构3包括凸起31和卡槽32，凸起31可卡接于卡槽32内，且凸起31和卡槽32中的一个设置于承载平台1上，凸起31和卡槽32中的另一个设置于小车主体21上，由此通过相互配合的凸起31和卡槽32实现了承载平台1和小车主体21之间的可拆卸连接，相比于螺纹连接操作，卡接操作过程简单，耗时较短，安装拆卸效率较高。

具体的，如图6a和图6b所示，卡槽32可以包括凹槽321以及设置于凹槽开口处的弹片322，凸起31可以包括支撑杆311以及铰接于支撑杆311上的滚轮312，滚轮312挤压弹片322，迫使弹片322变形，并伸入凹槽321内，当滚轮压入凹槽321内时，弹片322回弹抵住支撑杆311的侧壁，由此实现卡接。此结构简单，且滚轮312与弹片322之间产生滚动摩擦，相比于滑动摩擦，摩擦力较小，凸起31和卡槽32的寿命较长。

为了固定掩模板盒子在承载平台1上的位置，以利于机械手组件22的控制，优选的，如图1所示，搬运装置还包括位置调整装置4，位置调整装置4设置于承载平台1上，用于将掩模板盒子的位置调整至预设位置，由此可通过位置调整装置4将掩模板盒子在承载平台1上的位置调整至预设位置，以利于确定机械手组件22的坐标零点，从而方便机械手组件22的控制。

具体的，位置调整装置4可以制作为如图1所示结构，即，位置调整装置4包括相对且间隔设置的第一推送块41和第二推送块42，以及相对且间隔设置的第三推送块43和第四推送块44，第一推送块41和第二推送块42可沿第一方向推送并夹紧掩模板盒子，第三推送块43和第四推送块44可沿第二方向推送并夹紧掩模板盒子，第一方向和所述第二方向垂直，由此通过第一推送块41、第二推送块42、第三推送块43和第四推送块44，由两个相互垂直的方向推动并夹紧掩模板盒子，以将掩模板盒子推送至预设位置。此结构简单，容易实现，且通过四个推送块夹紧盒子可防止机械手组件22在夹取掩模板盒子内的掩模板时，将掩模板盒子带出。

为了减小掩模板盒子与承载平台1之间的摩擦力，防止磨损掩模板盒子，优选的，如图1所示，承载平台1上均匀镶嵌有多个滚球5，掩模板盒子的下表面与滚球5接触，移动过程中与滚球5之间产生滚动摩擦，相比于直接与承载平台1接触而产生的滑动摩擦力，滚动摩擦的摩擦力较小，可避免磨损掩模板盒子。

为了避免小车主体21停止时产生滑移，优选的，如图3所示，小车主体21上还设有刹车装置6，当小车主体21停止时，刹车装置6可阻止小车主体21滑移，由此通过刹车装置6防止小车主体21在停止时产生滑移。

为了便于远距离运输，优选的，如图3所示，小车主体21上还设有供电装置7，供电装置7用于给搬运小车2上的用电设备提供电量，由此通过在小车主体21上设置供电装置7，避免采用电源线外接电源，有利于实现远距离输送。

具体的，供电装置7可以为蓄电池，蓄电池为常用的供电装置，容易实现。

在图3所示的实施例中，机械手组件22的移动可以通过人手动进行控制，也可以通过控制器进行控制。当采用上述第一种方案时，手动控制通常耗时较长，机械手组件22移动抓取掩模板的效率较低。为了避免上述问题，优选采用控制器进行控制，具体地，搬运装置还包括控制器8，控制器8与机械手组件22连接，控制器8用于控制机械手移动，以抓取掩模板盒子内的掩模板，由此通过控制器8控制可实现机械手组件22的自动抓取，耗时较短，效率较高。

其中，控制器8可以为单片机、PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)、DSP(digital signal processor，数字信号处理器)等等，在此不做限定。

在本说明书的描述中，具体特征、结构或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (15)

1.一种搬运装置，用于搬运掩模板盒子内的掩模板，其特征在于，包括：

承载平台，所述承载平台用于承载掩模板盒子，所述掩模板盒子内放置有掩模板；

搬运小车，所述搬运小车包括小车主体以及设置于所述小车主体上的机械手组件，所述机械手组件用于抓取并夹持所述掩模板盒子内的掩模板，所述小车主体用于带动所述机械手组件移动，以将夹持于所述机械手组件上的掩模板运输至目的地。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述机械手组件包括抓取结构和移动装置，所述抓取结构用于抓取所述掩模板盒子内的掩模板，所述移动装置用于带动所述抓取结构移动。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述抓取结构包括第一机械爪、第二机械爪以及驱动装置，所述第一机械爪和所述第二机械爪相对设置，所述驱动装置用于驱动所述第一机械爪和所述第二机械爪向互相靠近或互相远离的方向移动，以夹紧或松开所述掩模板。

4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，所述驱动装置包括第一驱动件、第一水平导轨、以及设置于所述第一水平导轨内的双向丝杠，所述双向丝杠包括左旋螺纹段和右旋螺纹段，所述左旋螺纹段上配合设有第一螺母，所述右旋螺纹段上配合设有第二螺母，所述第一螺母和所述第二螺母均与所述第一水平导轨滑动连接，且所述第一螺母与所述第一机械爪固定连接，所述第二螺母与所述第二机械爪固定连接，所述第一驱动件用于驱动所述双向丝杠旋转。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述移动装置包括竖直移动装置和水平移动装置，所述竖直移动装置与所述抓取结构相连，所述竖直移动装置用于驱动所述抓取结构沿竖直方向移动，所述水平移动装置用于驱动所述抓取结构和所述竖直移动装置沿水平方向移动。

6.根据权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，所述竖直移动装置包括第二驱动件、竖直导轨、设置于所述竖直导轨内的竖直丝杠、以及与所述竖直丝杠配合的第三螺母，所述第三螺母与所述竖直导轨滑动连接，所述第二驱动件可带动所述竖直丝杠转动，所述抓取结构与所述第三螺母固定连接。

7.根据权利要求5或6所述的搬运装置，其特征在于，所述水平移动装置包括第三驱动件、第二水平导轨、设置于所述第二水平导轨内的水平丝杠、以及与所述水平丝杠配合的第四螺母，所述第四螺母与所述第二水平导轨滑动连接，所述第三驱动件可带动所述水平丝杠转动，所述竖直移动装置与所述第四螺母固定连接。

8.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，还包括可拆卸连接结构，所述小车主体可通过所述可拆卸连接结构与所述承载平台连接。

9.根据权利要求8所述的搬运装置，其特征在于，所述可拆卸连接结构包括凸起和卡槽，所述凸起可卡接于所述卡槽内，且所述凸起和所述卡槽中的一个设置于所述承载平台上，所述凸起和所述卡槽中的另一个设置于所述小车主体上。

10.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，还包括位置调整装置，所述位置调整装置设置于所述承载平台上，用于将所述掩模板盒子的位置调整至预设位置。

11.根据权利要求10所述的搬运装置，其特征在于，所述位置调整装置包括相对且间隔设置的第一推送块和第二推送块，以及相对且间隔设置的第三推送块和第四推送块，所述第一推送块和所述第二推送块可沿第一方向推送并夹紧所述掩模板盒子，所述第三推送块和所述第四推送块可沿第二方向推送并夹紧所述掩模板盒子，所述第一方向和所述第二方向垂直。

12.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述承载平台上均匀镶嵌有多个滚球。

13.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述小车主体上还设有刹车装置，当所述小车主体停止时，所述刹车装置可阻止所述小车主体滑移。

14.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述小车主体上还设有供电装置，所述供电装置用于给所述搬运小车上的用电设备提供电量。

15.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与所述机械手组件连接，所述控制器用于控制所述机械手移动，以抓取所述掩模板盒子内的掩模板。