CN205844742U - 一种回收光刻胶过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种回收光刻胶过滤装置，包括胶罐、过滤装置、控制器；过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器内的第二过滤网的网孔，第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器内的第三过滤网的网孔；第一过滤器的进口通过胶管与回收胶瓶相连接，第一过滤器的出口通过第一阀门与第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；第二过滤器的出口通过第三阀门与第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接。本实用新型对回收光刻胶进行过滤处理，以保证过滤后得到的光刻胶干净清洁。

Description

一种回收光刻胶过滤装置

技术领域

本实用新型涉及一种回收光刻胶过滤装置。

背景技术

光掩膜版是集成电路制造工艺中的一个重要环节，它是一种在曝光中能把设计的图形转移到整个硅片中(或另一张光掩模版上)的工具。由于在制作过程中存在一定的设备或工艺局限，光掩膜版上的图形并不可能与设计图形完全一致，如尘埃颗粒、气泡在光掩膜版上可造成掩膜版图形出现针孔、断线等缺陷，这些缺陷会伴随着后续的光刻工艺被引入到芯片制造进程。因此，光掩膜板的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。

匀胶铬版是一种硬面光掩模材料，属于光掩膜基版，即还未制作光刻图案的光掩膜版。匀胶铬版的涂胶工艺中，任何混入铬版光刻胶层的缺陷都会被光刻工艺转移到下游产品。因此，尘埃颗粒、气泡等缺陷需严格控制。纯净的供胶系统是获得无缺陷光刻胶层的基本前提条件之一。涂胶过程中，受胶瓶容量限制，需要频繁的更换光刻胶。此外，滴胶嘴附近的光刻胶容易凝固形成颗粒。这些因素易使供胶系统造成污染，在匀胶时颗粒被带至匀胶铬版表面，从而影响良品率。因此，一般换胶后或是匀胶前会进行少量的滴胶，以便将供胶系统内的颗粒或杂质等排掉。但是，这种预滴胶的方式会形成大量的含有杂质的光刻胶(即回收光刻胶)。由于光刻胶价格昂贵，因此光刻胶会回收以进一步利用，一般为在收集满一瓶后都会继续用于生产。如专利号201110382142.5公开的一种光刻胶回收系统，包括基板底盘及其上盖、位于基板底盘上的基板旋转盘、位于基板旋转盘上用于放置基板的基板卡槽以及用于接收基板旋转盘旋转过程中从基板上甩出的光刻胶的甩胶储槽，所述基板底盘的上盖在基板旋转盘旋转过程中处于关闭状态，能够遮盖基板以及甩胶储槽，所述光刻胶回收系统还包括：与所述甩胶储槽相连接的过滤装置，通过设置有阀门的管道与所述甩胶储槽连通，用于对从所述甩胶储槽流出并通过所述管道流入的光刻胶进行过滤；清洗装置，用于对所述甩胶储槽进行清洗；控制装置，用于在光刻胶回收阶段控制所述阀门导通，并控制所述清洗装置停止清洗甩胶储槽；在清洗阶段控制所述阀门关闭，并控制所述清洗装置清洗甩胶储槽。其实现了光刻胶的回收利用。

然而回收光刻胶含有较多杂质，易对供胶系统形成二次污染，导致良率有较大波动。因此，在回收光刻胶使用之前，需提供一种回收光刻胶过滤装置，先对其进行过滤处理，避免回收光刻胶造成二次污染，从而有利于保持良率的稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于克服现有技术的不足，提供了一种回收光刻胶过滤装置，本实用新型有效对回收光刻胶进行过滤处理，以保证过滤后得到的光刻胶干净清洁，以实现光刻胶回收利用于生产后保证生产稳定性以及产品良率，同时本实用新型根据回收光刻胶污染程度，以合理利用各过滤器，提高过滤速率。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种回收光刻胶过滤装置，包括胶罐、过滤装置、控制器，所述胶罐内设置有回收胶瓶，所述胶罐上设置有进气管，所述进气管上设置有进气阀；所述过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于所述第二过滤器内的第二过滤网的网孔，所述第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于所述第三过滤器内的第三过滤网的网孔；所述第一过滤器的进口通过胶管与所述回收胶瓶相连接，所述第一过滤器的出口通过第一阀门与所述第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；所述第二过滤器的出口通过第三阀门与所述第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；所述第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接；所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶的瓶口分别设置有第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器；所述控制器分别与所述进气阀、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器相连接。

进一步的，所述胶罐上设置有气压表。

进一步的，所述进气阀、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门均为电磁阀。

进一步的，所述胶管的进胶端插入所述回收胶瓶内，且所述进胶端位于所述回收胶瓶的瓶底。

进一步的，所述胶罐的底部设置有主电子秤。

进一步的，所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶的底部分别设置有第一电子秤、第二电子秤和第三电子秤。

进一步的，所述回收光刻胶过滤装置还包括平台，所述胶罐通过所述主电子秤放置于所述平台上；所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶分别通过所述第一电子秤、第二电子秤和第三电子秤放置于所述平台上。

本实用新型过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，且第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器内的第二过滤网的网孔，第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器内的第三过滤网的网孔，以实现了本实用新型的多级过滤设计，本实用新型根据回收光刻胶的污染程度以自行选择回收光刻胶经过几级过滤，以合理利用各过滤器，提高过滤速率。

当回收胶瓶内收集的回收光刻胶来源于正常换胶后进行的预滴胶时，只需经过一级过滤即可。此时控制器自动打开进气阀、第二阀门，而第一阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门均处于关闭状态。气体(优选地采用氮气)从进气管进入胶罐内，胶罐内气体压力增大，以将回收胶瓶内的回收光刻胶通过胶管输出至第一过滤器内，经第一过滤器内的第一过滤网一级过滤后得到的干净光刻胶流入第一光刻胶胶瓶内。其中第一光刻胶胶瓶底部的第一电子秤用于测量第一光刻胶胶瓶内的干净光刻胶的重量。通过第一光刻胶胶瓶瓶口的第一液位传感器用于监测第一光刻胶胶瓶内的最高液位，并将监测的液位值发送给控制器，当第一液位传感器监测到第一光刻胶胶瓶内的液位到达最高液位时，控制器随即关闭进气阀和第二阀门，以实现收集完一瓶干净光刻胶后的自动关闭功能，自动化程度高，节省人力管理。其中主电子秤用于测量回收胶瓶内的回收光刻胶的重量，当回收胶瓶内的回收光刻胶还剩少量时，如0.2kg时就要停止过滤，以防止氮气进入胶管或者各过滤器内部，因为光刻胶遇到空气(氮气)易凝固。若是胶管或者胶罐内有空气，光刻胶易凝固形成小颗粒，成为污染源。

当回收胶瓶内收集的回收光刻胶来源于基版胶层因少量小颗粒而进行的预滴胶时，需经过二级过滤。此时控制器自动打开进气阀、第一阀门和第四阀门，而第二阀门、第三阀门、第五阀门处于关闭状态。气体从进气管进入胶罐内，胶罐内气体压力增大，以将回收胶瓶内的回收光刻胶通过胶管输出至第一过滤器内，经第一过滤器内的第一过滤网一级过滤后得到的一级过滤光刻胶经第一阀门后流入至第二过滤器，经第二过滤器内的第二过滤网二级过滤后得到的干净光刻胶流入至第二光刻胶胶瓶内。其中第二光刻胶胶瓶底部的第二电子秤用于测量第二光刻胶胶瓶内的干净光刻胶的重量。通过第二光刻胶胶瓶瓶口的第二液位传感器用于监测第二光刻胶胶瓶内的最高液位，并将监测的液位值发送给控制器，当第二液位传感器监测到第二光刻胶胶瓶内的液位到达最高液位时，控制器随即关闭进气阀、第一阀门和第四阀门，以实现收集完一瓶干净光刻胶后的自动关闭功能，自动化程度高，节省人力管理。

当回收胶瓶内收集的回收光刻胶来源于基版胶层因大量小颗粒而进行的预滴胶时，需经过三级过滤。此时控制器自动打开进气阀、第一阀门、第三阀门和第五阀门，而第二阀门和第四阀门处于关闭状态。气体从进气管进入胶罐内，胶罐内气体压力增大，以将回收胶瓶内的回收光刻胶通过胶管输出至第一过滤器内，经第一过滤器内的第一过滤网一级过滤后得到的一级过滤光刻胶经第一阀门后流入至第二过滤器，经第二过滤器内的第二过滤网二级过滤后得到的二级过滤光刻胶经第三阀门后流入至第三过滤器，经第三过滤器内的第三过滤网三级过滤后得到的干净光刻胶流入至第三光刻胶胶瓶内。其中第三光刻胶胶瓶底部的第三电子秤用于测量第三光刻胶胶瓶内的干净光刻胶的重量。通过第三光刻胶胶瓶瓶口的第三液位传感器用于监测第三光刻胶胶瓶内的最高液位，并将监测的液位值发送给控制器，当第三液位传感器监测到第三光刻胶胶瓶内的液位到达最高液位时，控制器随即关闭进气阀、第一阀门、第三阀门和第五阀门，以实现收集完一瓶干净光刻胶后的自动关闭功能，自动化程度高，节省人力管理。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，且第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器内的第二过滤网的网孔，第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器内的第三过滤网的网孔，以实现了本实用新型的多级过滤设计，本实用新型能够根据回收光刻胶的污染程度以自行选择回收光刻胶经过几级过滤，以合理利用各过滤器，提高过滤速率。通过控制器自动开启各阀门以合理选用各过滤器，自动化程度高，可控制性强，节省人力。

2、本实用新型的气压表用于检测胶罐内的气体压力，以实时测量胶罐内的气体压力值，直观清晰。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的结构示意图。

上述附图标记：

1进气阀，2胶罐，3回收胶瓶，4主电子秤，5平台，6气压表，7第一过滤器，8第二过滤器，9第三过滤器，10第一阀门，11第三阀门，12第五阀门，13第二阀门，14第四阀门，15第一液位传感器，16第二液位传感器，17第三液位传感器，18第一光刻胶胶瓶，19第一电子秤，20第二光刻胶胶瓶，21第二电子秤，22第三光刻胶胶瓶，23第三电子秤，24胶管。

具体实施方式

下面结合附图对实用新型进一步说明，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例

如图1所示，本实用新型提供的一种回收光刻胶过滤装置，包括胶罐2、过滤装置、控制器，所述胶罐2内设置有回收胶瓶3，所述胶罐2上设置有进气管，所述进气管上设置有进气阀1；所述过滤装置包括第一过滤器7、第二过滤器8和第三过滤器9，所述第一过滤器7内的第一过滤网的网孔大于所述第二过滤器8内的第二过滤网的网孔，所述第二过滤器8内的第二过滤网的网孔大于所述第三过滤器9内的第三过滤网的网孔；所述第一过滤器7的进口通过胶管24与所述回收胶瓶3相连接，所述第一过滤器7的出口通过第一阀门10与所述第二过滤器8的进口相连接，且通过第二阀门13与第一光刻胶胶瓶18相连接；所述第二过滤器8的出口通过第三阀门11与所述第三过滤器9的进口相连接，且通过第四阀门14与第二光刻胶胶瓶20相连接；所述第三过滤器9的出口通过第五阀门12与第三光刻胶胶瓶22相连接；所述第一光刻胶胶瓶18、第二光刻胶胶瓶20和第三光刻胶胶瓶22的瓶口分别设置有第一液位传感器15、第二液位传感器16和第三液位传感器17；所述控制器分别与所述进气阀1、第一阀门10、第二阀门13、第三阀门11、第四阀门14、第五阀门12、第一液位传感器15、第二液位传感器16和第三液位传感器17相连接。

本实用新型的所述胶罐2上设置有气压表6。通过气压表6以实时测量胶罐2内的气体压力值，直观清晰。

本实用新型的所述进气阀1、第一阀门10、第二阀门13、第三阀门11、第四阀门14和第五阀门12均为电磁阀。

本实用新型的所述胶管24的进胶端插入所述回收胶瓶3内，且所述进胶端位于所述回收胶瓶3的瓶底。

本实用新型的所述胶罐2的底部设置有主电子秤4。其中主电子秤4用于测量回收胶瓶3内的回收光刻胶的重量。

本实用新型的所述第一光刻胶胶瓶18、第二光刻胶胶瓶20和第三光刻胶胶瓶22的底部分别设置有第一电子秤19、第二电子秤21和第三电子秤23。

本实用新型的所述回收光刻胶过滤装置还包括平台5，所述胶罐2通过所述主电子秤4放置于所述平台5上；所述第一光刻胶胶瓶18、第二光刻胶胶瓶20和第三光刻胶胶瓶22分别通过所述第一电子秤19、第二电子秤21和第三电子秤23放置于所述平台5上。

本实用新型过滤装置包括第一过滤器7、第二过滤器8和第三过滤器9，且第一过滤器7内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器8内的第二过滤网的网孔，第二过滤器8内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器9内的第三过滤网的网孔，以实现了本实用新型的多级过滤设计，本实用新型根据回收光刻胶的污染程度以自行选择回收光刻胶经过几级过滤，以合理利用各过滤器，提高过滤速率。

当回收胶瓶3内收集的回收光刻胶来源于正常换胶后进行的预滴胶时，只需经过一级过滤即可。此时控制器自动打开进气阀1、第二阀门13，而第一阀门10、第三阀门11、第四阀门14和第五阀门12均处于关闭状态。气体(优选地采用氮气)从进气管进入胶罐2内，胶罐2内气体压力增大，以将回收胶瓶3内的回收光刻胶通过胶管24输出至第一过滤器7内，经第一过滤器7内的第一过滤网一级过滤后得到的干净光刻胶流入第一光刻胶胶瓶18内。其中第一光刻胶胶瓶18底部的第一电子秤19用于测量第一光刻胶胶瓶18内的干净光刻胶的重量。通过第一光刻胶胶瓶18瓶口的第一液位传感器15用于监测第一光刻胶胶瓶18内的最高液位，并将监测的液位值发送给控制器，当第一液位传感器15监测到第一光刻胶胶瓶18内的液位到达最高液位时，控制器随即关闭进气阀1和第二阀门13，以实现收集完一瓶干净光刻胶后的自动关闭功能，自动化程度高，节省人力管理。其中主电子秤4用于测量回收胶瓶3内的回收光刻胶的重量，当回收胶瓶3内的回收光刻胶还剩少量时，如0.2kg时就要停止过滤，以防止氮气进入胶管24或者各过滤器内部，因为光刻胶遇到空气(氮气)易凝固。若是胶管24或者胶罐2内有空气，光刻胶易凝固形成小颗粒，成为污染源。

当回收胶瓶3内收集的回收光刻胶来源于基版胶层因少量小颗粒而进行的预滴胶时，需经过二级过滤。此时控制器自动打开进气阀1、第一阀门10和第四阀门14，而第二阀门13、第三阀门11、第五阀门12处于关闭状态。气体从进气管进入胶罐2内，胶罐2内气体压力增大，以将回收胶瓶3内的回收光刻胶通过胶管输出至第一过滤器7内，经第一过滤器7内的第一过滤网一级过滤后得到的一级过滤光刻胶经第一阀门10后流入至第二过滤器8，经第二过滤器8内的第二过滤网二级过滤后得到的干净光刻胶流入至第二光刻胶胶瓶20内。其中第二光刻胶胶瓶20底部的第二电子秤21用于测量第二光刻胶胶瓶20内的干净光刻胶的重量。通过第二光刻胶胶瓶20瓶口的第二液位传感器16用于监测第二光刻胶胶瓶20内的最高液位，并将监测的液位值发送给控制器，当第二液位传感器16监测到第二光刻胶胶瓶20内的液位到达最高液位时，控制器随即关闭进气阀1、第一阀门10和第四阀门14，以实现收集完一瓶干净光刻胶后的自动关闭功能，自动化程度高，节省人力管理。

当回收胶瓶3内收集的回收光刻胶来源于基版胶层因大量小颗粒而进行的预滴胶时，需经过三级过滤。此时控制器自动打开进气阀1、第一阀门10、第三阀门11和第五阀门12，而第二阀门13和第四阀门14处于关闭状态。气体从进气管进入胶罐2内，胶罐2内气体压力增大，以将回收胶瓶3内的回收光刻胶通过胶管输出至第一过滤器7内，经第一过滤器7内的第一过滤网一级过滤后得到的一级过滤光刻胶经第一阀门10后流入至第二过滤器8，经第二过滤器8内的第二过滤网二级过滤后得到的二级过滤光刻胶经第三阀门11后流入至第三过滤器9，经第三过滤器9内的第三过滤网三级过滤后得到的干净光刻胶流入至第三光刻胶胶瓶22内。其中第三光刻胶胶瓶22底部的第三电子秤23用于测量第三光刻胶胶瓶22内的干净光刻胶的重量。通过第三光刻胶胶瓶22瓶口的第三液位传感器17用于监测第三光刻胶胶瓶22内的最高液位，并将监测的液位值发送给控制器，当第三液位传感器17监测到第三光刻胶胶瓶22内的液位到达最高液位时，控制器随即关闭进气阀1、第一阀门10、第三阀门11和第五阀门12，以实现收集完一瓶干净光刻胶后的自动关闭功能，自动化程度高，节省人力管理。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (7)

1.一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：包括胶罐、过滤装置、控制器，所述胶罐内设置有回收胶瓶，所述胶罐上设置有进气管，所述进气管上设置有进气阀；

所述过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于所述第二过滤器内的第二过滤网的网孔，所述第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于所述第三过滤器内的第三过滤网的网孔；

所述第一过滤器的进口通过胶管与所述回收胶瓶相连接，所述第一过滤器的出口通过第一阀门与所述第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；所述第二过滤器的出口通过第三阀门与所述第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；所述第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接；

所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶的瓶口分别设置有第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器；

所述控制器分别与所述进气阀、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器相连接。

2.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于，所述胶罐上设置有气压表。

3.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于，所述进气阀、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门均为电磁阀。

4.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于，所述胶管的进胶端插入所述回收胶瓶内，且所述进胶端位于所述回收胶瓶的瓶底。

5.根据权利要求1所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于，所述胶罐的底部设置有主电子秤。

6.根据权利要求5所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于，所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶的底部分别设置有第一电子秤、第二电子秤和第三电子秤。

7.根据权利要求6所述的一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于，所述回收光刻胶过滤装置还包括平台，所述胶罐通过所述主电子秤放置于所述平台上；所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶分别通过所述第一电子秤、第二电子秤和第三电子秤放置于所述平台上。