CN205835425U - 具有冷却功能的基板搬运机器人 - Google Patents

具有冷却功能的基板搬运机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN205835425U
CN205835425U CN201620814813.9U CN201620814813U CN205835425U CN 205835425 U CN205835425 U CN 205835425U CN 201620814813 U CN201620814813 U CN 201620814813U CN 205835425 U CN205835425 U CN 205835425U
Authority
CN
China
Prior art keywords
fourchette
nozzle
temperature sensor
body supports
supports portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201620814813.9U
Other languages
English (en)
Inventor
汪金旺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Gaotong Machinery Technology Co Ltd
Original Assignee
Suzhou Gaotong Machinery Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Gaotong Machinery Technology Co Ltd filed Critical Suzhou Gaotong Machinery Technology Co Ltd
Priority to CN201620814813.9U priority Critical patent/CN205835425U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN205835425U publication Critical patent/CN205835425U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型提供了一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部,在所述主体支撑部上设置多个指叉,所述指叉表面嵌入设置温度传感器,所述温度传感器连接控制器,在所述主体支撑部与所述指叉连接处设置向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴,所述喷嘴的开关连接控制器。使用本实用新型时,将指叉置于玻璃基板下方,喷嘴喷射冷却流体,温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器,当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时,控制器控制机械手开始搬运基板,同时喷嘴不停止喷射冷却流体,完成搬运过程。本实用新型的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却,防止基板发生形变进而成为残次品。

Description

具有冷却功能的基板搬运机器人
技术领域
本实用新型涉及机器人技术领域,具体涉及一种具有冷却功能的基板搬运机器人。
背景技术
玻璃基板是平板显示产业的关键基础材料之一,随着IT行业的发展,市场对玻璃基板的需求越来越大,人们努力提高生产自动化水平。
玻璃基板常常需要进行加热处理,再进行下一步处理之前需要对其进行冷却;搬运机器人在搬运过程中常会进入不同的环境中,其中包括高温环境,机械手受热温度升高,传导至玻璃基板会使基板发生形变,所以需要搬运机器人具有冷却功能。
实用新型内容
本实用新型提供了一种具有冷却功能的基板搬运机器人,在搬运之前或搬运中对基板进行冷却,避免基板产生形变。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部1,在所述主体支撑部1上设置多个指叉2,所述指叉表面嵌入设置温度传感器3,所述温度传感器3连接控制器,在所述主体支撑部1与所述指叉2连接处设置能够向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴4,所述喷嘴4的开关连接控制器。
进一步的,在所述主体支撑部1与所述指叉连接处设置风扇5,通过所述风扇5将冷却流体吹向指叉另一端。
进一步的,所述喷嘴4设置于所述指叉2上方。
进一步的,所述风扇5设置于所述指叉2之间的间隔内。
进一步的,所述温度传感器3设置于所述指叉2上远离所述主体支撑部1的端部。
使用本实用新型时,将指叉置于玻璃基板下方,控制器控制喷嘴喷射冷却流体,温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器,当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时,控制器控制机械手开始搬运基板,同时喷嘴不停止喷射冷却流体,完成搬运过程。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的机械手在搬运玻璃基板之前以及搬运过程中持续释放冷却流体对玻璃基板进行冷却,防止基板发生形变进而成为残次品。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述:
图1是本实用新型的俯视图;
图2是本实用新型的立体图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述:
如图1图2所示:一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部(1),在所述主体支撑部(1)上设置多个指叉(2),所述指叉表面嵌入设置温度传感器(3),所述温度传感器(3)连接控制器,在所述主体支撑部(1)与所述指叉(2)连接处设置向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴(4),所述喷嘴(4)的开关连接控制器。
进一步的,在所述主体支撑部(1)与所述指叉连接处设置风扇(5),通过所述风扇(5)将冷却流体吹向指叉另一端。
进一步的,所述喷嘴(4)设置于所述指叉(2)上方。
进一步的,所述风扇(5)设置于所述指叉(2)之间的间隔内。
进一步的,所述温度传感器(3)设置于所述指叉(2)上远离所述主体支撑部(1)的端部。
使用本实用新型时,将指叉置于玻璃基板下方,喷嘴喷射冷却流体,温度传感器测试温度并将温度值传送到控制器,当温度传感器测试到的温度降为室温或者降为设定值时,控制器控制机械手开始搬运基板,同时喷嘴不停止喷射冷却流体,完成搬运过程。
以上所述的仅是本实用新型的实施例,应当指出,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本实用新型结构的前提下,还可以作出若干变形和改进,这些也应该视为本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种具有冷却功能的基板搬运机器人,包括主体支撑部(1),在所述主体支撑部(1)上设置多个指叉(2),其特征在于,所述指叉表面嵌入设置温度传感器(3),所述温度传感器(3)连接控制器,在所述主体支撑部(1)与所述指叉(2)连接处设置能够向指叉表面喷射冷却流体的喷嘴(4),所述喷嘴(4)的开关连接控制器。
2.根据权利要求1所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,在所述主体支撑部(1)与所述指叉连接处设置风扇(5),通过所述风扇(5)将冷却流体吹向指叉另一端。
3.根据权利要求1所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,所述喷嘴(4)设置于所述指叉(2)上方。
4.根据权利要求2所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,所述风扇(5)设置于所述指叉(2)之间的间隔内。
5.根据权利要求1所述的一种具有冷却功能的基板搬运机器人,其特征在于,所述温度传感器(3)设置于所述指叉(2)上远离所述主体支撑部(1)的端部。
CN201620814813.9U 2016-07-29 2016-07-29 具有冷却功能的基板搬运机器人 Expired - Fee Related CN205835425U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620814813.9U CN205835425U (zh) 2016-07-29 2016-07-29 具有冷却功能的基板搬运机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620814813.9U CN205835425U (zh) 2016-07-29 2016-07-29 具有冷却功能的基板搬运机器人

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN205835425U true CN205835425U (zh) 2016-12-28

Family

ID=57641388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201620814813.9U Expired - Fee Related CN205835425U (zh) 2016-07-29 2016-07-29 具有冷却功能的基板搬运机器人

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN205835425U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106078804A (zh) * 2016-07-29 2016-11-09 苏州高通机械科技有限公司 具有冷却功能的基板搬运机器人
CN106885476A (zh) * 2017-03-08 2017-06-23 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种基板加热炉温度监测系统及方法
CN110465961A (zh) * 2019-08-21 2019-11-19 绍兴市寅源智能科技有限公司 一种工业用智能机器人仿生机械手抓取设备
US11131504B2 (en) 2017-03-08 2021-09-28 Boe Technology Group Co., Ltd. Temperature monitoring system and method for a substrate heating furnace

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106078804A (zh) * 2016-07-29 2016-11-09 苏州高通机械科技有限公司 具有冷却功能的基板搬运机器人
CN106885476A (zh) * 2017-03-08 2017-06-23 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种基板加热炉温度监测系统及方法
CN106885476B (zh) * 2017-03-08 2019-08-27 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种基板加热炉温度监测系统及方法
US11131504B2 (en) 2017-03-08 2021-09-28 Boe Technology Group Co., Ltd. Temperature monitoring system and method for a substrate heating furnace
CN110465961A (zh) * 2019-08-21 2019-11-19 绍兴市寅源智能科技有限公司 一种工业用智能机器人仿生机械手抓取设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN205835425U (zh) 具有冷却功能的基板搬运机器人
WO2009099284A3 (en) Substrate supporting unit, substrate processing apparatus, and method of manufacturing substrate supporting unit
CN104889931A (zh) 一种电子设备拆卸装置及拆卸方法
CN106078804A (zh) 具有冷却功能的基板搬运机器人
CN106003096A (zh) 一种基板冷却搬运机器人
CN107459252A (zh) 一种玻璃瓶的应力退火方法及玻璃瓶的应力退火系统
CN104388863A (zh) 采用异形块进行大型钛合金框类零件热处理工艺
CN205870562U (zh) 一种基板冷却搬运机器人
CN213623831U (zh) 一种吊装式保温装置
CN207711183U (zh) 一种高分子材料连续挤压装置
CN206215238U (zh) 高低温冲击试验箱
CN207628986U (zh) 一种电辅助热渐进成形快换式刀具夹紧系统
CN208458468U (zh) 一种全自动电池干燥冷却系统
CN203185336U (zh) 一种贯流风叶周转架
CN106086359A (zh) 一种智能控温节能型铝合金时效炉
Gong et al. The optimization of reflow soldering temperature profile based on simulation
CN205835344U (zh) 具有自检功能的零部件抓取装置
CN206266436U (zh) 用于玻璃保温的设备
CN205687790U (zh) 一种平面玻璃退火装置
CN203779761U (zh) 一种热压装置
CN205274675U (zh) 一种传送带用搬运机器人
CN206740262U (zh) 热制程温度感测装置
CN204078882U (zh) Ps板拾取装置
CN206597166U (zh) 一种温控式锻药锅
CN204523863U (zh) 烧结坯件进行炉外矫直的装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20161228

Termination date: 20170729

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee