CN205821515U - 精准称重的蓝宝石导膜炉 - Google Patents
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Abstract
一种精准称重的蓝宝石导膜炉，包括：水冷籽晶外杆，在所述水冷籽晶外杆顶部设有称重传感器；籽晶内杆，所述籽晶内杆设置在所述水冷籽晶外杆内，所述籽晶内杆的一端与所述称重传感器连接；定位机构，所述籽晶内杆的另一端通过所述定位机构与所述水冷籽晶外杆的底部连接。本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉通过精准的称重结构来实现主要生长阶段的全自动生长也就是半自动生长，来排除人为因素对蓝宝石生长带来的影响，从而使产业化生产标准化，达到稳定生产提高产能，提高成品率的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及物理领域，尤其涉及半导体材料，特别涉及蓝宝石应用材料的生长技术，具体的是一种精准称重的蓝宝石导膜炉。
背景技术
目前市场蓝宝石生长炉主要分为:蓝宝石泡生炉、蓝宝石导膜炉、蓝宝石热交换炉、火焰法蓝宝石炉。其中针对现有市场蓝宝石泡AGV小车生炉和蓝宝石导膜炉各自占有其特定市场的优势。而随着市场对蓝宝石窗口片的需求不断变化，蓝宝石导膜炉生长大尺寸窗口片的优势渐渐被市场所重视，片数从原来的1片、3片、5片到现在的16片、23片、30片，宽度从原来的40毫米发展到现在80毫米甚至于110毫米。
目前市场上对蓝宝石窗口片的应用相当广泛,随着市场的发展需求量也越来越大,大多数蓝宝石窗口片的生产厂家在蓝宝石产业化生产的时候还是主要依赖操作工的经验来生产,一旦生长环境有变化或是人员流失都会导致大批量停产或成品率大幅降低。所以蓝宝石的自动生长成了长期以来生产厂家迫切想实现的状态。而目前设备的技术水平由于光谱技术应用的局限性还无法实现蓝宝石窗口片的全自动生长。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种能提高效能的精准称重的蓝宝石导膜炉。
为解决上述技术问题，本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉，包括：水冷籽晶外杆，在所述水冷籽晶外杆顶部设有称重传感器；籽晶内杆，所述籽晶内杆设置在所述水冷籽晶外杆内，所述籽晶内杆的一端与所述称重传感器连接；定位机构，所述籽晶内杆的另一端通过所述定位机构与所述水冷籽晶外杆的底部连接。
所述定位机构包括：球面定位套，所述球面定位套套设在所述籽晶内杆的外侧；陶瓷定位套，所述陶瓷定位套套设在所述球面定位套的外侧；不锈钢定位套，所述不锈钢定位套套设在所述陶瓷定位套的外侧。
在所述不锈钢定位套的外侧还设有锁紧螺母。
本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉通过精准的称重结构来实现主要生长阶段的全自动生长也就是半自动生长，来排除人为因素对蓝宝石生长带来的影响，从而使产业化生产标准化，达到稳定生产提高产能，提高成品率的目的。
附图说明
图1为本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉结构示意图；
图2为图1的局部放大图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉作进一步详细说明。
如图1、图2所示，本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉是的籽晶内杆3直接连接称重传感器1，与水冷籽晶外杆2通过不锈钢定位套5、陶瓷定位套6和球面定位套7进行径向定位，并通过锁紧螺母4进行固定。籽晶内杆3与籽晶相连，通过加工精度保证使籽晶内杆3和水冷籽晶外杆2保持平行并通过调整整机水平保证垂直水平面，水冷籽晶外杆2起到冷却籽晶内杆3的作用，只有在当前条件下晶体在向上生长的过程中实际重量的变化会通过称重传感器1有效地反馈出来而且此时水冷籽晶外杆2、籽晶内杆3之间的摩擦对称重传感器监测出的重量信号的干扰降至最低。通过调整环节使籽晶内杆3和水冷籽晶外杆2保持平行并垂直水平面，水冷籽晶外杆2起到冷却籽晶内杆的作用，只有在当前条件下晶体在向上生长的过程中实际重量的变化会通过称重传感器1有效地反馈出来而且此时水冷籽晶外杆2和籽晶内杆3之间的摩擦对称重传感器1监测出的重量信号的干扰降至最低。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请的范围内。
Claims (3)
1.一种精准称重的蓝宝石导膜炉，其特征在于，包括：水冷籽晶外杆，在所述水冷籽晶外杆顶部设有称重传感器；籽晶内杆，所述籽晶内杆设置在所述水冷籽晶外杆内，所述籽晶内杆的一端与所述称重传感器连接；定位机构，所述籽晶内杆的另一端通过所述定位机构与所述水冷籽晶外杆的底部连接。
2.根据权利要求1所述的精准称重的蓝宝石导膜炉，其特征在于，所述定位机构包括：
球面定位套，所述球面定位套套设在所述籽晶内杆的外侧；
陶瓷定位套，所述陶瓷定位套套设在所述球面定位套的外侧；
不锈钢定位套，所述不锈钢定位套套设在所述陶瓷定位套的外侧。
3.根据权利要求2所述的精准称重的蓝宝石导膜炉，其特征在于，在所述不锈钢定位套的外侧还设有锁紧螺母。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620726450.3U CN205821515U (zh) | 2016-07-11 | 2016-07-11 | 精准称重的蓝宝石导膜炉 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620726450.3U CN205821515U (zh) | 2016-07-11 | 2016-07-11 | 精准称重的蓝宝石导膜炉 |
Publications (1)
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| CN205821515U true CN205821515U (zh) | 2016-12-21 |
Family
ID=57565419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620726450.3U Expired - Fee Related CN205821515U (zh) | 2016-07-11 | 2016-07-11 | 精准称重的蓝宝石导膜炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205821515U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108570707A (zh) * | 2017-03-09 | 2018-09-25 | 中科钢研节能科技有限公司 | 导模法蓝宝石长晶系统 |
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2016
- 2016-07-11 CN CN201620726450.3U patent/CN205821515U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
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Granted publication date: 20161221 Termination date: 20180711 |