CN205787462U - 真空贴合设备 - Google Patents
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Abstract
一种真空贴合设备，包括第一承载台和第二承载台，第一承载台包括第一载台基板，第一载台基板具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设有定位元件；第一载台基板还设有多个贯通第一表面和第二表面的通孔；第一承载台还包括粘附装置，粘附装置包括推动部、弹性元件和粘性元件，推动部设置在第一载台基板的第二表面一侧，粘性元件设置在通孔内并可沿通孔的轴向移动，粘性元件通过一弹性元件连接至推动部。本实用新型提供的真空贴合设备具有改良的承载台结构，可降低设备成本和设备维护成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空贴合设备，属于生产设备技术领域。
背景技术
在显示设备的制备过程中，例如在制备液晶模块、有机发光二极管模块等的制备过程中，通常需要将各种不同类型的板件利用粘胶贴合在一起，例如在基板上设置触控传感器、组立上下两块不同功能的基板等。
为了避免贴合胶在贴合过程中产生气泡，一般是通过真空贴合设备来完成贴合制程。现有的真空贴合设备包括用于固定两块待贴合板件的上载台和下载台，上、下载台均设有真空吸附孔。以下以上载台为例说明，下载台的结构可参考上载台。如图1所示，上载台10包括静电吸盘11以及设置在静电吸盘11上的定位元件12和真空吸附孔13。对真空吸附孔13抽真空即可将待贴合的板件固定在上载台10上。在真空贴合设备的贴合过程中，先将待贴合的两块板件分别搬运至上载台10和下载台，待贴合的板件被静电吸盘11和真空吸附孔13固定住，之后对真空贴合设备内放置了待贴合板件的腔室抽直空，再将上载台10和下载台上的两个待贴合的板件抵靠并贴合在一起。
由上述可知，现有的真空贴合设备在贴合过程中要进行三次抽真空动作，对真空泵选型及流量的要求较高，真空泵占设备总成本的20％左右。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空贴合设备，其具有改良的承载台结构，可降低设备成本和设备维护成本。
本实用新型实施例提供一种真空贴合设备，包括第一承载台和第二承载台，第一承载台包括第一载台基板，第一载台基板具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设有定位元件；第一载台基板还设有多个贯通第一表面和第二表面的通孔；第一承载台还包括若干粘附装置，每一个粘附装置均包括推动部、弹性元件和粘性元件，推动部设置在第一载台基板的第二表面一侧，粘性元件设置在通孔内并可沿通孔的轴向移动，每一粘性元件通过一弹性元件连接至推动部。
进一步地，粘性元件的形状为圆柱形，粘性元件的数量与通孔的数量一致。
进一步地，每一粘性元件具有远离推动部的上表面，粘性元件靠近上表面的端部从第一表面所在的平面高出并且所有粘性元件的上表面均位于同一个平面，上表面至第一表面的距离为0.1mm至0.3mm。
进一步地，弹性元件的弹性延伸方向与通孔的轴向一致。
进一步地，弹性元件为橡胶金属螺旋复合弹簧。
进一步地，推动部被驱动着靠近或远离第一载台基板。
进一步地，定位元件的数量为多个，分别设置在第一载台基板的相邻的两侧，每相邻两个定位元件之间具有间隔距离。
进一步地，定位元件包括底座，底座上开设有滑槽，滑槽内设有定位滑块，位于第一载台基板的同一侧的定位元件的定位滑块的移动方向一致。
进一步地，通孔以矩阵排列的方式在第一载台基板上形成方格网状结构。
进一步地，第二承载台包括第二载台基板、设置在第二载台基板上的多个定位元件以及多个真空吸附孔。
本实用新型实施例提供的真空贴合设备包括第一承载台和第二承载台，第一承载台包括第一载台基板，第一载台基板具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设有定位元件；第一载台基板还设有多个贯通第一表面和第二表面的通孔；第一承载台还包括粘附装置，粘附装置包括推动部、弹性元件和粘性元件，推动部设置在第一载台基板的第二表面一侧，粘性元件设置在通孔内并可沿通孔的轴向移动，每一粘性元件通过一弹性元件连接至推动部。上述改良的承载台结构，无需使用真空泵对第一承载台抽真空，使得真空贴合设备的设备成本降低了20％左右，设备维护成本也降低10％左右。
附图说明
图1为现有的真空贴合设备的第一承载台的结构示意图。
图2为本实用新型的真空贴合设备的第一承上载台的结构示意图。
图3为图2的Ⅲ-Ⅲ线剖视图。
图4为本实用新型的真空贴合设备的第一承载台和第二承载台分别设有待贴合板件的贴合过程示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
图2为本实用新型的真空贴合设备的第一承上载台的结构示意图，图3为图2的Ⅲ-Ⅲ线剖视图，图4为本实用新型的真空贴合设备的第一承载台和第二承载台分别设有待贴合板件的贴合过程示意图，请一并参阅图2至图4，本实用新型提供的真空贴合设备300，包括相对设置的第一承载台100和第二承载台200(如图4所示)。第一承载台100例如为上侧承载台，用于固定其中一块待贴合的板件401，待贴合的板件401例如是触控传感器、彩膜基板等。第二承载台200例如为下侧承载台，用于固定另一块待贴合的板件402，待贴合的板件402例如是盖板、TFT基板等。
如图2所示，第一承载台100包括第一载台基板110，第一载台基板110大致为长方形板状结构。第一载台基板110具有相对的第一表面111和第二表面112，第一表面111是用于固定待贴合的板件401的表面，在贴合过程中第一表面112面向第二承载台200。
第一载台基板110的第一表面111设有定位元件120。定位元件120的数量为多个，分别设置在第一载台基板110的相邻的两侧，每相邻两个定位元件120之间具有间隔距离。本实施例中，长方形的第一载台基板110的较长一侧设有两个定位元件120、较短一侧设有一个定位元件120，相邻的两个定位元件120之间具一定的间隔距离。
定位元件120包括底座121，底座121上开设有滑槽122，滑槽122内设有定位滑块123，定位滑块123可沿定位槽122滑动并固定在某一位置。位于第一载台基板110的同一侧的定位元件120的定位槽122的延伸方向一致，因此定位滑块123在定位槽122内的来回移动的方向也一致。
如图3所示，第一载台基板110还设有多个贯通第一表面111和第二表面112的通孔130，通孔130例如为圆形通孔，其轴向垂直于第一载台基板110。本实施例中，通孔130以矩阵排列的方式在第一载台基板110上形成方格网状结构。
第一承载台100还包括若干粘附装置140。本实施例中，每一个所述粘附装置140均包括推动部141、弹性元件142和粘性元件143。
推动部141为比通孔130所形成方格网状结构面积略大的板状结构，位于第一承载基板110的第二表面112一侧，推动部141与第一载台基板110平行设置。推动部141被驱动着靠近或远离第一载台基板110，驱动推动部141靠近或远离第一载台基板110的方法在此不作限定，例如可设置与其相连的气缸，控制气缸的伸缩即可控制推动部141移动。
粘性元件143设置在通孔130内，粘性元件143的形状例如为圆柱形，其直径小于通孔130的内径，粘性元件143轴向与通孔130轴向一致并可沿通孔130的轴向来回移动。
粘性元件143具有远离推动部141的上表面144，粘性元件143靠近上表面144的端部从第一表面111所在的平面高出，所有粘性元件143的上表面144均位于同一个平面，优选地，上表面144至第一表面111的距离H为0.1mm至0.3mm。
本实施例中，粘性元件143的数量与通孔130的数量一致。每一个粘性元件143均通过一个弹性元件142连接至推动部141，即每一个弹性元件142的其中一端均固定在推动部141上、另一端连接一个粘性元件143。
弹性元件142例如为橡胶金属螺旋复合弹簧。弹性元件142的弹性延伸方向也与通孔130的轴向一致。
如图4所示，第二承载台200包括第二载台基板210、设置在第二载台基板210上的多个定位元件220以及多个真空吸附孔230。
第二载台基板210例如是静电吸盘结构。第二载台基板210具有第三表面211，第三表面211面向第一承载台100。多个定位元件220设置在第三表面211相邻的两侧边，第二载台基板210上定位元件220与第一载台基板110上的定位元件120结构相同且位置呈镜像对称，具体结构可参考第一载台基板110上的定位元件120，在此不再赘述。
第二载台基板210还设有从个真空吸附孔230，真空吸附孔230例如为圆形通孔，真空吸附孔230以矩阵排列的方式在第二承载台200上形成方格网状结构。第二载台基板210内设有管道(图未绘示)，每一个真空吸附孔230均通过管道与真空泵相连。
请再参阅图4，在真空贴合设备300的贴合过程中，先将待贴合的两块板件分别搬运至第一承载台100和第二承载台200上；通过控制粘附装置140的推动部141移动，位于第一承载台100上的待贴合的板件401被粘性元件143粘住，而位于第二承载台200上的待贴合的板件402被第二载台基板210的静电和真空吸附孔230固定住；之后将第一承载台100和第二承载台200对置，对真空贴合设备300内放置了待贴合的板件401、402所在的腔室抽直空，抽直空抽到一定数值后，通过给推动部141一个压力进行贴合，此时贴合的板件401就与粘性元件143分离，完成贴合动作。
本实用新型的真空贴合设备包括第一承载台和第二承载台，第一承载台包括第一载台基板，第一载台基板具有相对的第一表面和第二表面，第一表面设有定位元件；第一载台基板还设有多个贯通第一表面和第二表面的通孔；第一承载台还包括粘附装置，粘附装置包括推动部、弹性元件和粘性元件，推动部设置在第一载台基板的第二表面一侧，粘性元件设置在通孔内并可沿通孔的轴向移动，每一粘性元件通过一弹性元件连接至推动部。上述改良的承载台结构，无需使用真空泵对第一承载台抽真空，使得真空贴合设备的设备成本降低了20％左右，设备维护成本也降低10％左右。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (10)
1.一种真空贴合设备，包括第一承载台(100)和第二承载台(200)，其特征在于，所述第一承载台(100)包括第一载台基板(110)，所述第一载台基板(110)具有相对的第一表面(111)和第二表面(112)，所述第一表面(111)设有定位元件(120)；所述第一载台基板(110)还设有多个贯通所述第一表面(111)和所述第二表面(112)的通孔(130)；所述第一承载台(100)还包括若干粘附装置(140)，每一个所述粘附装置(140)均包括推动部(141)、弹性元件(142)和粘性元件(143)，所述推动部(141)设置在所述第一载台基板(110)的第二表面(112)一侧，所述粘性元件(143)设置在所述通孔(130)内并可沿所述通孔(130)的轴向移动，每一所述粘性元件(143)通过一所述弹性元件(142)连接至所述推动部(141)。
2.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述粘性元件(143)的形状为圆柱形，所述粘性元件(143)的数量与所述通孔(130)的数量一致。
3.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，每一所述粘性元件(143)具有远离所述推动部(141)的上表面(144)，所述粘性元件(143)靠近所述上表面(144)的端部从所述第一表面(111)所在的平面高出并且所有所述粘性元件(143)的上表面(144)均位于同一个平面，所述上表面(144)至所述第一表面(111)的距离(H)为0.1mm至0.3mm。
4.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述弹性元件(142)的弹性延伸方向与所述通孔(130)的轴向一致。
5.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述弹性元件(142)为橡胶金属螺旋复合弹簧。
6.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述推动部(141)被驱动着靠近或远离所述第一载台基板(110)。
7.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述定位元件(120)的数量为多个，分别设置在所述第一载台基板(110)的相邻的两侧，每相邻两个定位元件(120)之间具有间隔距离。
8.根据权利要求7所述的真空贴合设备，其特征在于，所述定位元件(120)包括底座(121)，所述底座(121)上开设有滑槽(122)，所述滑槽(122)内设有定位滑块(123)，位于所述第一载台基板(110)的同侧的定位元件(120)上的定位滑块(123)的移动方向一致。
9.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述通孔(130)以矩阵排列的方式在所述第一载台基板(110)上形成方格网状结构。
10.根据权利要求1所述的真空贴合设备，其特征在于，所述第二承载台(200)包括第二载台基板(210)、设置在所述第二载台基板(210)上的多个定位元件(220)以及多个真空吸附孔(230)。
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106950732A (zh) * | 2017-05-09 | 2017-07-14 | 惠科股份有限公司 | 定盘和真空贴合机 |
| CN108382858A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-08-10 | 昆山国显光电有限公司 | 一种玻璃基板的归正方法和装置 |
| CN108630569A (zh) * | 2017-03-24 | 2018-10-09 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置 |
| CN110014402A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-07-16 | 深圳市贵峰精密有限公司 | 一种方形轻薄物体定位设备及其操作方法 |
| CN110127340A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-08-16 | 深圳市贵峰精密有限公司 | 一种方形物体定位方法及其定位装置 |
| CN113753574A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-12-07 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种真空载台及采用该真空载台的输送台 |
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108630569A (zh) * | 2017-03-24 | 2018-10-09 | 株式会社斯库林集团 | 基板处理装置 |
| US11465167B2 (en) | 2017-03-24 | 2022-10-11 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate treatment apparatus |
| CN106950732A (zh) * | 2017-05-09 | 2017-07-14 | 惠科股份有限公司 | 定盘和真空贴合机 |
| CN108382858A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-08-10 | 昆山国显光电有限公司 | 一种玻璃基板的归正方法和装置 |
| CN108382858B (zh) * | 2018-03-22 | 2019-12-10 | 昆山国显光电有限公司 | 一种玻璃基板的归正方法和装置 |
| CN110014402A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-07-16 | 深圳市贵峰精密有限公司 | 一种方形轻薄物体定位设备及其操作方法 |
| CN110127340A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-08-16 | 深圳市贵峰精密有限公司 | 一种方形物体定位方法及其定位装置 |
| CN113753574A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-12-07 | 苏州天准科技股份有限公司 | 一种真空载台及采用该真空载台的输送台 |
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