CN205786991U - 一种led晶圆片测试系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种LED晶圆片测试系统，包括载片盘、探针盘、控制系统和积分球采集系统；所述探针盘上具有矩阵排列的控制电路和矩阵排列且可伸缩的探针；所述控制电路用于控制探针的伸缩，同时使探针按测试间隔排列并向其输入设置的电流或电压；所述控制系统用于控制矩阵排列的控制电路、设置LED晶圆片的测试间隔及测试电流或电压。采用本测试系统，不必移动载片盘或探针或采集系统，可以快速完成LED晶圆片的抽测或全测，同时测试间隔可根据需要任意调节，由此可以显著缩短LED晶圆片的抽测时间、以及全测时间，提高LED测试系统的测试效率和产能。尤其适用于抽测，在快速完成抽测后可以及时判定LED晶圆片的光电等级后进入后道制程，缩短LED生产周期。
Description
技术领域
本实用新型属于LED测试技术领域，具体涉及一种LED晶圆片测试系统。
背景技术
随着发光二极管（LED）应用的越来越广泛，LED的产量和需求也日益增加，由此也给传统的LED测试系统带来了压力。传统的LED晶圆片测试系统，是将LED晶圆片放置在测试机的载片盘上，通过驱动机构控制载片盘沿X轴或Y轴或Z轴的移动，从而使一对测试探针去点测每一颗LED芯粒，其中载片盘的移动时间远大于测试探针的点测时间，而每片LED晶圆片上有成千上万颗LED芯粒，因此，不管是抽测还是全测都造成测试时间偏长，造成测试机台效率偏低，影响测试机台产能。因此，有必要设计一种新型的LED晶圆片测试系统来避免以上问题。
发明内容
本实用新型的目的为：解决传统LED晶圆片测试系统测试时间偏长、测试机台效率偏低、产能低而设计了一种新型的LED晶圆片测试系统。
本实用新型的技术方案为：一种LED晶圆片测试系统，用于测试LED 晶圆片，包括载片盘、探针盘、控制系统和积分球采集系统，所述探针盘上具有矩阵排列的控制电路和矩阵排列且可伸缩的探针，所述控制系统连接并控制所述控制电路，所述控制电路控制所述探针的伸缩及按设置的测试间隔排列，并向所述探针输入设置的测试电流或电压，所述积分球采集系统包围待测LED晶圆片。
进一步，所述载片盘为透明载片盘。
进一步，所述控制电路用于控制所述探针的伸缩，同时使探针按设置的测试间隔排列并向其输入设置的测试电流或电压。
进一步，所述控制系统用于控制矩阵排列的控制电路、设置LED晶圆片的测试间隔及测试电流或电压。
进一步，所述积分球采集系统用于采集经探针盘所测试LED晶圆片的光电参数。
进一步，所述积分球采集系统包围LED晶圆片。
本实用新型所述LED晶圆片测试系统的有益效果为：不必移动载片盘或探针或采集系统，可以快速完成LED晶圆片的抽测或全测，同时测试间隔可根据需要任意调节，由此可以显著缩短LED晶圆片的抽测时间及全测时间，提高LED测试系统的测试效率和测试产能。尤其适用于LED晶圆片的抽测，在快速完成抽测后可以及时判定LED晶圆片的光电等级，及时进入后道制程，缩短LED的生产周期。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。此外，附图是描述概要，不是按比例绘制。
图1为实施例所提供的LED晶圆片测试系统的示意图。
图2为实施例所提供的LED晶圆片测试系统中探针盘及LED晶圆片的立体示意图。
图中标示：100：载片盘；101： LED晶圆片； 102：LED芯粒； 103：探针盘；104：控制电路；105：探针；106：控制系统；107：积分球采集系统；108：所抽测LED芯粒。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型公开的一种LED晶圆片测试系统的优选实施例进行更详细的描述。
如图1和图2所示，本实用新型所设计的LED晶圆片测试系统，用于测试LED 晶圆片101，包括载片盘100、探针盘103、控制系统106和积分球采集系统107，所述探针盘103上具有矩阵排列的控制电路104和矩阵排列且可伸缩的探针105。其中，所述载片盘100为透明载片盘；所述控制电路104用于控制所述探针105的伸缩，同时使探针105按设置的测试间隔排列并向其输入设置的测试电流或电压；所述可伸缩的探针105可以连接一电动伸缩杆，通过控制电路104控制其伸缩排列出设置的测试间隔；所述控制系统106用于控制矩阵排列的控制电路104、设置LED晶圆片101的测试间隔及测试电流或电压，所述控制系统106可以为单片机、可编程逻辑控制器；所述积分球采集系统107用于采集经探针盘103所测试LED晶圆片101的光电参数；所述积分球采集系统107包围LED晶圆片101。
本实用新型所设计的LED晶圆片测试系统，测试步骤包括：（1）将LED晶圆片101的出光面向下放置于透明载片盘100上；（2）通过控制系统106设置LED晶圆片101的测试间隔、测试电流或电压，并反馈信号给探针盘103的控制电路104；（3）通过探针盘103的控制电路104使探针105伸或缩排列出控制系统106所设置测试间隔的探针阵列；（4）开始测试，探针盘103的控制电路104依次给探针105阵列输入所设置的测试电流或电压，依次对LED晶圆片101中的LED芯粒102进行点测；（5）通过积分球采集系统107依次采集LED晶圆片101中LED芯粒102的光电参数；以上，完成LED晶圆片101的测试，可以为抽测或全测，或者测试间隔根据需要进行调节，图2中108所示为所抽测LED芯粒。
上述LED晶圆片测试系统，不必移动载片盘或探针或采集系统，可以快速完成LED晶圆片的抽测或全测，同时测试间隔可根据需要任意调节，由此可以显著缩短LED晶圆片的抽测时间及全测时间，提高LED测试系统的测试效率和测试产能。尤其适用于LED晶圆片的抽测，在快速完成抽测后可以及时判定LED晶圆片的光电等级，及时进入后道制程，缩短LED的生产周期。
以上表示了本实用新型的优选实施例，应该理解的是，本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，以上描述不作为对本实用新型的限制，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种LED晶圆片测试系统，其特征在于：包括载片盘、探针盘、控制系统和积分球采集系统，所述探针盘上具有矩阵排列的控制电路和矩阵排列且可伸缩的探针，所述控制系统连接并控制所述控制电路，所述控制电路控制所述探针的伸缩及按设置的测试间隔排列，并向所述探针输入设置的测试电流或电压，所述积分球采集系统包围待测LED晶圆片。
2.根据权利要求1所述的LED晶圆片测试系统，其特征在于：所述载片盘为透明载片盘。
3.根据权利要求1所述的LED晶圆片测试系统，其特征在于：所述控制系统用于控制矩阵排列的控制电路、设置LED晶圆片的测试间隔及测试电流或电压。
4.根据权利要求1所述的LED晶圆片测试系统，其特征在于：所述积分球采集系统用于采集经探针盘所测试LED晶圆片的光电参数。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620273270.4U CN205786991U (zh) | 2016-04-05 | 2016-04-05 | 一种led晶圆片测试系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620273270.4U CN205786991U (zh) | 2016-04-05 | 2016-04-05 | 一种led晶圆片测试系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205786991U true CN205786991U (zh) | 2016-12-07 |
Family
ID=57413877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620273270.4U Active CN205786991U (zh) | 2016-04-05 | 2016-04-05 | 一种led晶圆片测试系统 |
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|---|---|
| CN (1) | CN205786991U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112114238A (zh) * | 2019-06-19 | 2020-12-22 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 | 一种晶圆片测试系统 |
| CN112578307A (zh) * | 2019-09-29 | 2021-03-30 | 成都辰显光电有限公司 | 发光器件测试装置、系统及测试方法 |
| CN113324739A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-31 | 盐城东紫光电科技有限公司 | 一种带点对点多光通路光学部件的MiniLED检测设备的使用方法 |
| CN113390612A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-14 | 盐城东紫光电科技有限公司 | 一种带点对点多光通路光学部件的MiniLED检测设备 |
| CN116148623A (zh) * | 2023-03-23 | 2023-05-23 | 深圳市西渥智控科技有限公司 | 一种led智能测试装置及其测试方法 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112114238A (zh) * | 2019-06-19 | 2020-12-22 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 | 一种晶圆片测试系统 |
| CN112578307A (zh) * | 2019-09-29 | 2021-03-30 | 成都辰显光电有限公司 | 发光器件测试装置、系统及测试方法 |
| CN113324739A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-31 | 盐城东紫光电科技有限公司 | 一种带点对点多光通路光学部件的MiniLED检测设备的使用方法 |
| CN113390612A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-09-14 | 盐城东紫光电科技有限公司 | 一种带点对点多光通路光学部件的MiniLED检测设备 |
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