CN205765840U - 一种用于激光晶化装置的紧固扳手 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的用于激光晶化装置的紧固扳手,包括圆管状的握持手柄和紧固环,所述紧固环套接固定所述握持手柄,当握持手柄插入镜片基座时,所述紧固环与镜片基座配合连接。可以利用紧固调节环与镜片基座形成相对稳定的连接结构,使得紧固扳手即使受力方向把握不住,也不会从固定凹槽中滑脱,碰伤镜片。进而可以对紧固调节环和紧固扳手进行微调以适应不同厚度的镜片,减少了工具的种类,有利于日常维护。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种紧固装置,具体涉及一种回转体部件的紧固装置。
背景技术
用于制备多晶硅的ELA设备会定期的进行维护保养,其中激光管的两端的起密封作用的镜片是ELA设备较频繁的保养项目之一。
保养时须将达到保养时间的较脏污的镜片拆卸下来,擦拭干净后再次装到Mount(镜片基座)里,或者直接将新的镜片装进Mount里。如图1所示,在镜片基座01的内壁上设置有环形凸台11,镜片12通过两侧缓冲垫片13安置于环形凸台上,环形的紧固固定环外壁14与镜片基座内壁设置有配合的螺纹,紧固固定环旋入镜片基座到位后,扣紧镜片保持密封。沿直径方向在紧固固定环14的顶部设置对称的固定凹槽15,圆管状的紧固扳手20底部设有对应的沿直径方向设置的固定凸台21(矩形条状金属)。
在拆卸或者装载的过程中紧固扳手的固定凸台嵌入紧固固定环的固定凹槽,用较大力量旋转紧固扳手紧固镜片到位或松脱镜片。
在紧固或松脱时,容易因紧固扳手滑动造成对镜片的损伤(划伤、磕碰等),从而造成镜片报废,无法使用,造成维护保养成本上升。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供一种用于激光晶化装置的紧固扳手,解决紧固扳手在受力过大时易于滑动,损伤镜片的技术问题。
本实用新型的用于激光晶化装置的紧固扳手,包括圆管状的握持手柄和紧固环,所述紧固环套接固定所述握持手柄,当握持手柄插入镜片基座时,所述紧固环与镜片基座配合连接。
所述紧固环的内壁上设置内螺纹,所述握持手柄的外壁下部设置相应的外螺纹,通过螺纹配合紧固环套接在握持手柄的底部。
所述紧固环的侧壁上开设定位通孔,还包括紧固手柄,与定位通孔配合,抵接握持手柄的侧壁。
所述紧固手柄,与定位通孔螺纹配合。
所述紧固手柄和紧固环通过弹簧连接。
所述紧固手柄的抵接顶端涂覆弹性材料。
所述紧固手柄外壁和紧固环内壁上设置对应的弹性定位销和定位凹槽。
所述紧固环的侧壁厚度等于或小于握持手柄外径与镜片基座内壁的间隙。
所述紧固环的底端内侧边缘,设置第一环形凸台,第一环形凸台的厚度等于或小于握持手柄外径与镜片基座内壁的间隙。
所述紧固环的底端外侧边缘,设置第二环形凸台,第二环形凸台的内环直径等于或大于镜片基座顶部的外径。
本实用新型提供的用于激光晶化装置的紧固扳手,可以利用紧固调节环与镜片基座形成相对稳定的连接结构,使得紧固扳手即使受力方向把握不住,也不会从固定凹槽中滑脱,碰伤镜片。进而可以对紧固调节环和紧固扳手进行微调以适应不同厚度的镜片,减少了工具的种类,有利于日常维护。
附图说明
图1为现有技术中紧固扳手与镜片基座固定镜片时的配合关系示意图;
图2为本实用新型用于激光晶化装置的紧固扳手的一实施例的装配示意图;
图3本实用新型用于激光晶化装置的紧固扳手的另一实施例的装配示意图;
图4本实用新型用于激光晶化装置的紧固扳手的再一实施例的装配示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图2所示,本实施例的用于激光晶化装置的紧固扳手,包括握持手柄30和固定凸台21,握持手柄30为一圆管,固定凸台21为一矩形截面的柱体,固定凸台21的长度与握持手柄30的外径相同,固定凸台21沿直径方向固定在握持手柄30的底端。
还包括一个紧固环31,紧固环31为一圆管,紧固环31的高度小于握持手柄30的高度,紧固环31的内径等于握持手柄30的外径,在紧固环31的内壁上设置内螺纹,在握持手柄30的外壁下部设置相应的外螺纹,通过螺纹配合紧固环31套接在握持手柄30的底部。
在紧固环31的侧壁上开设定位通孔32。
还包括紧固手柄40,用于与定位通孔32配合,抵接握持手柄30的侧壁,固定紧固环31在握持手柄30的位置。
紧固手柄40与定位通孔32配合的连接结构包括但不限于以下连接实施例:
一个实施例,通过螺纹配合,紧固手柄40旋入定位通孔32,端部抵接握持手柄30的侧壁。
另一个实施例,通过弹簧41两端分别连接紧固手柄40和紧固环31,紧固手柄40插入定位通孔32,受弹簧弹力,端部抵接握持手柄30的侧壁。
紧固手柄40为一端固定手柄的圆柱,圆柱的另一端(抵接的顶端)涂覆弹性材料。
紧固环31的侧壁厚度等于或小于握持手柄30外径与镜片基座01内壁的间隙。
实际应用中,拔动紧固手柄40松开对握持手柄30的径向固定,通过螺纹配合调整紧固环31套接在握持手柄30底部的位置,使得握持手柄30底端超出紧固环31的高度适应镜片的厚度,松开紧固手柄40恢复对握持手柄30的径向固定。在握持手柄30插入镜片基座01基本旋转到位时紧固环31的底端插入握持手柄30外径与镜片基座01内壁的间隙,形成局部连接关系,可以避免在进一步用力旋转时握持手柄30意外晃动,造成对镜片的伤害。
在本实施例的用于激光晶化装置的紧固扳手20中,省略紧固手柄40与定位通孔32,在紧固手柄40外壁和紧固环31内壁上设置对应的弹性定位销和定位凹槽,也可以实现紧固手柄40外壁和紧固环31的位置固定。
通过改变紧固环31与镜片基座01结合时的连接结构,可以适应镜片基座01的形状特点,更有利于握持手柄30试驾更大力量的可靠转动。
如图3所示,本实施例的用于激光晶化装置的紧固扳手20,在紧固环31的底端内侧边缘,设置第一环形凸台33,第一环形凸台33的截面为矩形。
第一环形凸台33的厚度等于或小于握持手柄30外径与镜片基座01内壁的间隙。必然的紧固环31的侧壁厚度大于握持手柄30外径与镜片基座01内壁的间隙。这样更有利于紧固环31与镜片基座01中的间隙配合。
如图4所示,本实施例的用于激光晶化装置的紧固扳手20,在紧固环31的底端外侧边缘,设置第二环形凸台34,第二环形凸台34的截面为矩形。
第二环形凸台34的内环直径等于或大于镜片基座01顶部的外径。这样更有利于紧固环31与镜片基座01本身的结合。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种用于激光晶化装置的紧固扳手,包括圆管状的握持手柄(30)和紧固环(31),所述紧固环(31)套接固定所述握持手柄(30),当握持手柄(30)插入镜片基座时,所述紧固环(31)与镜片基座配合连接。
2.如权利要求1所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固环(31)的内壁上设置内螺纹,所述握持手柄(30)的外壁下部设置相应的外螺纹,通过螺纹配合紧固环(31)套接在握持手柄(30)的底部。
3.如权利要求1所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固环(31)的侧壁上开设定位通孔(32),还包括紧固手柄(40),与定位通孔(32)配合,抵接握持手柄(30)的侧壁。
4.如权利要求3所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固手柄(40),与定位通孔(32)螺纹配合。
5.如权利要求3所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固手柄(40)和紧固环(31)通过弹簧(41)连接。
6.如权利要求3所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固手柄(40)的抵接顶端涂覆弹性材料。
7.如权利要求1所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固手柄(40)外壁和紧固环(31)内壁上设置对应的弹性定位销和定位凹槽。
8.如权利要求1至6任一所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固环(31)的侧壁厚度等于或小于握持手柄(30)外径与镜片基座(01)内壁的间隙。
9.如权利要求1至6任一所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固环(31)的底端内侧边缘,设置第一环形凸台(33),第一环形凸台(33)的厚度等于或小于握持手柄(30)外径与镜片基座(01)内壁的间隙。
10.如权利要求1至6任一所述的用于激光晶化装置的紧固扳手,其特征在于:所述紧固环(31)的底端外侧边缘,设置第二环形凸台(34),第二环形凸台(34)的内环直径等于或大于镜片基座(01)顶部的外径。
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