CN205741261U - 电镀用阴极夹具的磁铁模组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种电镀用阴极夹具的磁铁模组,包括上固定板、下固定板及设置于上固定板、下固定板之间的磁铁模组本体,所述上固定板、下固定板均由非导磁材料制成,所述磁铁模组本体由平行布置的多块磁铁构成,相邻磁铁的端面磁极的极性相同。所述电镀用阴极夹具的磁铁模组的相邻磁铁端面磁极的极性相同,使得单个磁铁的S、N极在工件内部构成回路,且相邻工件之间无法构成回路,从而限制了工件表面的磁性,此外,通过采用非导磁材料制成的上固定板、下固定板,进一步削弱了工件顶面的磁性,结构简单、易于实现。
Description
技术领域
本实用新型涉及电镀领域,尤其涉及一种电镀用阴极夹具的磁铁模组。
背景技术
目前,市场上电镀用阴极夹具的磁铁模组的磁力线几乎可以无衰减的直达工件的顶面,使工件表面拥有强磁性,由于反刻过程中会剥离大量导磁物质落入槽液内,这些导磁物质在镀液中成游离状态,随槽液流动而流动,当接近电镀工件表面时,由于工件表面带有较强的磁性,导磁物质会吸附在工件表面并呈磁力线状态快速生长,同时随镀膜的增厚导磁物质也增大,电镀完成后,工件表面形成大量颗粒或线状物质,这些颗粒在可显微镜下观察到明显悬浮在镀层表面,造成工件不合格。现有做法是在电镀完成后进行抛光或打磨,然而,此种方式只适合用于一般电镀中,对于精密电镀中,此种缺陷是不合格的,由此,急需解决。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对上述问题,提供一种电镀用阴极夹具的磁铁模组,以解决现有电镀用阴极夹具的磁铁模组的磁力线几乎可以无衰减的直达工件的顶面,使工件表面拥有强磁性,电镀过程中,导磁物质会吸附在工件表面形成颗粒或线状物质,造成工件不合格的问题。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现:
一种电镀用阴极夹具的磁铁模组,包括上固定板、下固定板及设置于上固定板、下固定板之间的磁铁模组本体,所述上固定板、下固定板均由非导磁材料制成,所述磁铁模组本体由平行布置的多块磁铁构成,相邻磁铁的端面磁极的极性相同。
作为本实用新型的一种优选方案,所述上固定板、下固定板均由钛合金材料制成;不仅提高了整体的抗腐蚀性能,且导磁性能差,可有效削弱工件表面的磁性。
作为本实用新型的一种优选方案,所述磁铁的左、右两侧均布置有防护板,所述防护板由铁材料制成;采用铁材料制成的防护板,不仅可以起到抗腐蚀的作用,同时,可修正磁力线方向,使得磁力线沿工件布置方向。
作为本实用新型的一种优选方案,所述磁铁模组本体由平行布置的7块磁铁构成。
本实用新型的有益效果为,所述电镀用阴极夹具的磁铁模组的相邻磁铁端面磁极的极性相同,使得单个磁铁的S、N极在工件内部构成回路,且相邻工件之间无法构成回路,从而限制了工件表面的磁性,此外,通过采用非导磁材料制成的上固定板、下固定板,进一步削弱了工件顶面的磁性,结构简单、易于实现。
附图说明
图1为本实用新型电镀用阴极夹具的磁铁模组的结构示意图。
图中:
1、上固定板;2、下固定板;3、磁铁;4、防护板;5、工件。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是,此处所描述的实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。
请参照图1所示,图1为本实用新型电镀用阴极夹具的磁铁模组的结构示意图。
于本实施例中,一种电镀用阴极夹具的磁铁模组,包括上固定板1、下固定板2及设置于上固定板1、下固定板2之间的磁铁模组本体,所述上固定板1、下固定板2均由钛合金材料制成,所述磁铁模组本体由平行布置的7块磁铁3构成,相邻磁铁3的端面磁极的极性相同,每块磁铁3的左、右两侧均布置有防护板4,所述防护板4由铁材料制成。
值得一提的是,虽然本实施例中,磁铁模组本体由平行布置的7块磁铁3构成,但是本实用新型不限于此,磁铁3的数量可根据需要增多或减少,其是根据一次性所需电镀工件5的数量而定。
上述一种电镀用阴极夹具的磁铁模组,可以实现工件5底部150-250高斯的磁性,而工件5顶部小于15高斯的磁性,观察工件5顶部磁力线极其微弱,从大规模生产实践来看,在没有采用本实用新型时,工件表面存在大量可见颗粒,并严重影响表面镀层质量与粗糙度,而采用本实用新型时,工件5表面无异常生长颗粒,在最容易形成磁力线的锐角、边缘处异常颗粒出现概率1%左右,同时颗粒大小已缩小为10um以下。
实际电镀过程中,由于相邻磁铁3的端面磁极的极性相同,使得磁条回路排布成阵列,同时由于阵列边缘磁力线容易产生偏向,因此,最外侧1-2组的磁铁3上部不建议吸附工件5,工件5应吸附于中间磁铁3的上部。
以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性,本实用新型不受上述实施例限制,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。
Claims (4)
1.一种电镀用阴极夹具的磁铁模组,其特征在于:包括上固定板、下固定板及设置于上固定板、下固定板之间的磁铁模组本体,所述上固定板、下固定板均由非导磁材料制成,所述磁铁模组本体由平行布置的多块磁铁构成,相邻磁铁的端面磁极的极性相同。
2.根据权利要求1所述的电镀用阴极夹具的磁铁模组,其特征在于:所述上固定板、下固定板均由钛合金材料制成。
3.根据权利要求1所述的电镀用阴极夹具的磁铁模组,其特征在于:所述磁铁的左、右两侧均布置有防护板,所述防护板由铁材料制成。
4.根据权利要求1所述的电镀用阴极夹具的磁铁模组,其特征在于:所述磁铁模组本体由平行布置的7块磁铁构成。
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CN201620427499.9U CN205741261U (zh) | 2016-05-12 | 2016-05-12 | 电镀用阴极夹具的磁铁模组 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201620427499.9U CN205741261U (zh) | 2016-05-12 | 2016-05-12 | 电镀用阴极夹具的磁铁模组 |
Publications (1)
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CN205741261U true CN205741261U (zh) | 2016-11-30 |
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Family Applications (1)
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CN201620427499.9U Active CN205741261U (zh) | 2016-05-12 | 2016-05-12 | 电镀用阴极夹具的磁铁模组 |
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CN (1) | CN205741261U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108588802A (zh) * | 2018-05-29 | 2018-09-28 | 李涵 | 一种半导体晶圆电镀设备 |
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2016
- 2016-05-12 CN CN201620427499.9U patent/CN205741261U/zh active Active
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