CN205693985U - 一种蚀刻机之吸液机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蚀刻机之吸液机构，包括：吸液刀组、与所述吸液刀组依次连接的射流器和射流供液泵浦，所述吸液刀组包括复数个吸液刀，所述吸液刀包括吸液刀本体，所述吸液刀本体的底端面设置有多个吸液孔，所述吸液刀本体上还设置有一腔体，所述腔体的两端口分别与该些吸液孔以及所述射流器相连通，所述吸液刀本体的至少一侧面设置有一转轮，所述转轮的至少局部超出所述吸液刀本体的底端面，当该吸液机构的吸液孔在吸取药水时，所述转轮与基板的上板面接触，并在基板的上板面转动。本实用新型通过吸液机构可以及时的排除上板面的残留药水，避免水池效应，提高上板面蚀刻的均匀性，提高上板面线路蚀刻因子，提高整体的蚀刻速率。

Description

一种蚀刻机之吸液机构

技术领域

本实用新型涉及一种蚀刻机，特别涉及一种蚀刻机之吸液机构，属于湿制程设备工艺技术领域。

背景技术

蚀刻机被广泛应用于PCB的生产加工中,其主要目的在于将基板上不需要的铜,以化学反应方式予以除去,以形成所需要的电路图形。

现有的蚀刻机存在以下缺点:在蚀刻过程中喷洒到基板的上板面的药水不能及时排走,影响蚀刻速率,每个位置的积水存在不同,对上喷的阻挡程度也会存在差异,导致整个基板的上板面的蚀刻不均匀，因上喷洒在基板上的残留药水不能及时排走,会阻碍新喷洒的药水直接喷洒在基板上，导致增加线路侧蚀量,降低线路的蚀刻因子。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于一种蚀刻机之吸液机构，能够及时吸除基板上的药水，克服了现有技术的不足。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种蚀刻机之吸液机构，所述蚀刻机至少包括用于对基板喷洒药水的喷淋机构和为所述喷淋机构提供药水的药水槽，所述吸液机构用于吸取基板的上板面上的残留药水，其包括：吸液刀组、与所述吸液刀组依次连接的射流器和射流供液泵浦，

其中，所述吸液刀组包括复数个沿水平方向依次排列的吸液刀，所述吸液刀包括吸液刀本体，所述吸液刀本体的底端面设置有多个吸液孔，所述吸液刀本体上还设置有一腔体，所述腔体的两端口分别与该些吸液孔以及所述射流器相连通，所述吸液刀本体的至少一侧面设置有一转轮，所述转轮的至少局部超出所述吸液刀本体的底端面，当该吸液机构的吸液孔在吸取药水时，所述转轮与基板的上板面接触，并在基板的上板面转动。

优选的，所述吸液刀本体的至少一侧设置有安装架，所述安装架包括固设于所述吸液刀本体的侧面上的间隔设置的第一架体和第二架体，所述第一架体和第二架体上均开设有一安装槽，所述安装槽内设置有一转轴，所述转轮套设有于所述转轴上，并位于所述第一架体和第二架体之间形成的容纳空间内。

进一步的，所述第一架体和第二架体上还至少开设有一辅助槽，所述辅助槽与所述安装槽间隔设置，且两槽体之间至少形成两个槽体共同的槽壁，所述槽壁具有设定的厚度，并具有一定弹性以及产生弹性压缩，用于方便所述转轴压入安装于所述安装槽内。

优选的，复数个吸液刀一体设置而形成所述吸液刀组。

进一步的，复数个吸液刀本体的顶端面水平设置有一根吸液管道，所述吸液管道上设置有与所述腔体连通的孔洞，所述腔体通过所述吸液管道和连接管道与所述射流器连通。

更进一步的，所述吸液刀本体的顶端面设置有一与所述吸液管道相匹配的凹槽，所述吸液管道水平嵌设于所述凹槽内。

优选的，所述射流供液泵浦的另一端口与所述药水槽连接。

优选的，所述腔体内设置有加强筋。

优选的，所述吸液刀本体的两侧面均设置有一所述转轮。

进一步的，该蚀刻机上设有用于输送基板的输送机构，所述输送机构包括复数个均布的上输送滚轮和下输送滚轮，该些上输送滚轮的两端均分别设置于输送轴套一中，所述吸液刀组设置复数组，均沿所述上输送滚轮的轴向设置，且每个吸液刀组均分布于相邻的两个上输送滚轮之间，所述吸液管道两端分别固设一固定滑块，所述固定滑块嵌设于位于相邻的两个输送轴套一之间的输送轴套二中。

更进一步的，所述固定滑块通过焊接方式固定于所述吸液管道的端部。

与现有技术相比，本实用新型的优点至少在于：

1)射流器产生吸力，与射流器连接的吸液刀内产生吸力可以将基板上板面上的残留药水吸入其中，并通过吸液管道和其他连接管道输入至药水槽中进行回收。通过吸液机构可以及时的排除上板面的残留药水，避免水池效应，提高上板面蚀刻的均匀性，提高上板面线路蚀刻因子，提高整体的蚀刻速率。

2)转轮在吸液刀进行吸液时，与基板上板面接触，并在基板上板面上转动， 可以避免吸液刀的底端面与基板上板面直接接触，因而可有效避免板件因负压力而整面吸附于吸液刀刀面上导致的卡板问题，此外，通过转轮，基板通过吸液刀时由滑动摩擦转为滚动摩擦而避免刮伤板面。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型结构特征和技术要点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。

图1为本实用新型实施例所公开的一种蚀刻机的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的一种蚀刻机的侧视图；

图3为本实用新型实施例所公开的一种蚀刻机之吸液机构的结构示意图；

图4为本实用新型实施例所公开的一种蚀刻机之吸液机构的仰视图；

图5为图3在A处的放大示意图；

图6为图5的爆炸图；

图7为吸液刀的安装方式的示意图。

附图标记说明：药水槽1、射流供液泵浦2、吸液刀组3、吸液刀3、吸液孔312、转轮314、第一架体315、第二架体316、安装槽317、辅助槽318、转轴319、槽壁320、吸液管道321、喷淋机构4、输送机构5、上输送滚轮51、下输送滚轮52、射流器6、连接管道8、输送轴套一9、输送轴套二10、固定滑块11。

具体实施方式

下面将结合本实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。

参见图1-7所示，本实用新型实施例提供了一种蚀刻机之吸液机构，蚀刻机至少包括用于对基板喷洒药水的喷淋机构4和为喷淋机构4提供药水的药水槽1，吸液机构用于吸取基板的上板面上的残留药水，其包括：吸液刀组3、与吸液刀组3依次连接的射流器6和射流供液泵浦2，射流供液泵浦2的另一端口与药水槽1连接。

其中，吸液刀组3包括复数个沿水平方向依次排列的吸液刀31，吸液刀31包括吸液刀本体311，吸液刀本体311的底端面设置有多个吸液孔312，吸液刀本体311上还设置有一腔体，腔体的两端口分别与该些吸液孔以及射流器6相连通，吸液刀本体311的两侧面均设置有一转轮314，转轮314的至少局部超出吸液刀本体311的底端面，当该吸液机构的吸液孔312在吸取药水时，转轮314与基板的上板面接触，并在基板的上板面转动。

在此需要说明的是，可以在吸液刀本体311的一侧面设置一转轮314，也可以在吸液刀本体311的两侧面分别设置一转轮314，根据基板的厚度来决定转轮314设置个数。若，基板的厚度较厚时，吸液刀31产生的负压力对基板的影响力较小，因而可以采用一个转轮314的设计，若，基板的厚度较薄时，吸液刀31产生的负压力对基板的影响力较大，因而可以采用两个转轮314的设计，从而避免一个基板贴附于吸液刀31上而出现卡板现象。本实施例以两个转轮314的设计为例进行说明。

优选的，吸液刀本体311的至少一侧设置有安装架，安装架包括固设于吸液刀本体311的侧面上的间隔设置的第一架体315和第二架体316，第一架体315和第二架体316上均开设有一安装槽317，安装槽317内设置有一转轴319，转轮314套设有于转轴319上，并位于第一架体315和第二架体316之间形成的容纳空间内。

进一步的，第一架体315和第二架体316上还至少开设有一辅助槽318，辅助槽318与安装槽317间隔设置，且两槽体之间至少形成两个槽体共同的槽壁320，槽壁320具有设定的厚度，并具有一定弹性以及产生弹性压缩的能力，用于方便转轴319压入安装于安装槽317内。

优选的，复数个吸液刀31一体设置而形成吸液刀组3，复数个吸液刀31采用注塑一体成型，因而整个吸液刀组3的强度较佳，同时方便加工和组装。

进一步的，复数个吸液刀本体311的顶端面水平设置有一根吸液管道321，吸液管道321上设置有与腔体连通的孔洞，腔体通过吸液管道321和连接管道8与射流器6连通。

优选的，腔体内设置有加强筋，可以增加吸液刀本体311的强度。

优选的，该蚀刻机上设有用于输送基板的输送机构5，输送机构5包括复数个均布的上输送滚轮51和下输送滚轮52，该些上输送滚轮51的两端均分别设置于输送轴套一9中，吸液刀组设置复数组，均沿上输送滚轮51的轴向设置，且每个吸液刀组均分布于相邻的两个上输送滚轮51之间，吸液管道321两端分别固设一固定滑块11，固定滑块11嵌设于位于相邻的两个输送轴套一9之间的输送轴套二10中。进一步优选的，固定滑块11通过焊接方式固定于吸液管道321的端部。

综上所述，射流器6产生吸力，与射流器6连接的吸液刀31内产生吸力可以将基板上板面上的残留药水吸入其中，并通过射流供液泵浦2、吸液管道321和其他连接管道8输入至药水槽1中进行回收。通过吸液机构可以及时的排除上板面的残留药水，避免水池效应，提高基板上板面蚀刻的均匀性，提高上板面线路蚀刻因子，提高整体的蚀刻速率。

转轮314在吸液刀31进行吸液时，与基板上板面接触，并在基板上板面上转动，可以避免吸液刀31的底端面与基板上板面直接接触，因而可有效避免板件因负压力而整面吸附于吸液刀31刀面上导致的卡板问题，此外，通过转轮314，基板通过吸液刀31时由滑动摩擦转为滚动摩擦而避免刮伤板面。

上述具体实施方式，仅为说明本实用新型的技术构思和结构特征，目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施，但以上所述内容并不限制本实用新型的保护范围，凡是依据本实用新型的精神实质所作的任何等效变化或修饰，均应落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蚀刻机之吸液机构，所述蚀刻机至少包括用于对基板喷洒药水的喷淋机构和为所述喷淋机构提供药水的药水槽，其特征在于，所述吸液机构用于吸取基板的上板面上的残留药水，其包括：吸液刀组、与所述吸液刀组依次连接的射流器和射流供液泵浦，

其中，所述吸液刀组包括复数个沿水平方向依次排列的吸液刀，所述吸液刀包括吸液刀本体，所述吸液刀本体的底端面设置有多个吸液孔，所述吸液刀本体上还设置有一腔体，所述腔体的两端口分别与该些吸液孔以及所述射流器相连通，所述吸液刀本体的至少一侧面设置有一转轮，所述转轮的至少局部超出所述吸液刀本体的底端面，当该吸液机构的吸液孔在吸取药水时，所述转轮与基板的上板面接触，并在基板的上板面转动。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，所述吸液刀本体的至少一侧设置有安装架，所述安装架包括固设于所述吸液刀本体的侧面上的间隔设置的第一架体和第二架体，所述第一架体和第二架体上均开设有一安装槽，所述安装槽内设置有一转轴，所述转轮套设有于所述转轴上，并位于所述第一架体和第二架体之间形成的容纳空间内。

3.根据权利要求2所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，所述第一架体和第二架体上还至少开设有一辅助槽，所述辅助槽与所述安装槽间隔设置，且两槽体之间至少形成两个槽体共同的槽壁，所述槽壁具有设定的厚度，并具有一定弹性以及产生弹性压缩，用于方便所述转轴压入安装于所述安装槽内。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，复数个吸液刀一体设置而形成所述吸液刀组。

5.根据权利要求4所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，复数个吸液刀本体的顶端面水平设置有一根吸液管道，所述吸液管道上设置有与所述腔体连通的孔洞，所述腔体通过所述吸液管道以及连接管道与所述射流器连通。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，所述射流供液泵浦的另一端口与所述药水槽连接。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，所述腔体内设置有加强筋。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，所述吸液刀本体的两侧面均设置有一所述转轮。

9.根据权利要求5所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，该蚀刻机上设有用于输送基板的输送机构，所述输送机构包括复数个均布的上输送滚轮和下输送滚轮，该些上输送滚轮的两端均分别设置于输送轴套一中，所述吸液刀组设置复数组，均沿所述上输送滚轮的轴向设置，且每个吸液刀组均分布于相邻的两个上输送滚轮之间，所述吸液管道两端分别固设一固定滑块，所述固定滑块嵌设于位于相邻的两个输送轴套一之间的输送轴套二中。

10.根据权利要求6所述的一种蚀刻机之吸液机构，其特征在于，所述固定滑块通过焊接方式固定于所述吸液管道的端部。