CN205690082U - 一种减薄机真空管路的排水装置 - Google Patents
一种减薄机真空管路的排水装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205690082U CN205690082U CN201620534237.2U CN201620534237U CN205690082U CN 205690082 U CN205690082 U CN 205690082U CN 201620534237 U CN201620534237 U CN 201620534237U CN 205690082 U CN205690082 U CN 205690082U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- thinning machine
- water tank
- pump housing
- coolant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本实用新型涉及电子行业减薄机真空管路排水设备,具体为一种减薄机真空管路的排水装置。其包括真空储水罐(1),所述的真空储水罐(1)一侧上端连接有真空泵体(2)、下端连接有排水泵体(3),且排水泵体(3)为螺杆泵体;另一侧连接有减薄机真空管道(4),减薄机真空管道(4)自由端设有真空腔体(5),且真空腔体(5)上方设有吸盘(6),吸盘(6)上设有磨削片子(7)。其有益效果在于:结构简单、操作方便,其将冷却液和空气分开,防止磨削过程中冷却液进入真空管路,导致真空泵被损坏的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子行业减薄机真空管路排水设备的技术领域,具体为一种减薄机真空管路的排水装置。
背景技术
减薄机加工是用各种型号砂轮对各种片子磨削进行减薄的,减薄是片子在加工工艺过程中的一种必要。在进行减薄磨削的过程中,由于产生了摩擦热,就会对片子的化学性能、机械性能、组织结构产生影响,因此必须加冷却液(如水或其他液体)进行冷却。然而产生的摩擦热,冷却的越快越好。有人采用加大冷却液流量、有人采用了液体中加入了其他物体改变了液体的冷却性能,均是为了快速冷却热点;但其加工成本高、冷却液中加的物质有时会对环境造成污染。
一般电子行业的减薄机在磨削时会应用水作冷却液,以此及时散热,有利于被磨片子的质量;这样冷却液就会进入减薄机的真空管路,且取下片子供水浮起片子也会有水进入减薄机的真空管路,但真空泵的真空管路又不允许水进入,否则会损坏真空泵,因此必须在真空状态下将水与空气分离开,使水排出、空气进入真空泵。因此针对上述问题我们研制了一种结构简单、操作方便的减薄机真空管路的排水装置,其将冷却液和空气分开,防止磨削过程中冷却液进入真空管路,导致真空泵被损坏的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对以上所述的现有技术中存在的问题,提供一种结构简单、操作方便的减薄机真空管路的排水装置,其将冷却液和空气分开,防止磨削过程中冷却液进入真空管路,导致真空泵被损坏的问题。
为了实现所述目的,本实用新型采用的具体实施方案如下:
一种减薄机真空管路的排水装置,其包括真空储水罐1,其特征在于:所述的真空储水罐1一侧上端连接有真空泵体2、下端连接有排水泵体3,且排水泵体3为螺杆泵体;另一侧连接有减薄机真空管道4,减薄机真空管道4自由端设有真空腔体5,且真空腔体5上方设有吸盘6,吸盘6上设有磨削片子7。
所述的真空储水罐1下方设有排水口8,且排水口8上设有防护盖体9。
所述的真空储水罐1下方设有支撑架体10,内部设有感应液体测位装置或外侧壁面设有可视液体测位装置。
本实用新型一种减薄机真空管路的排水装置,所述的真空储水罐1一侧上端连接有真空泵体2、下端连接有排水泵体3,且排水泵体3为螺杆泵体,其使进入减薄机真空管道4的冷却液被真空储水罐1分成上下两层,即空气在上方、冷却液在真空储水罐1的下方,然后通过螺杆本体将冷却液排出,使冷却液不会进入真空泵体2内,防止了冷却液对真空泵体2的损坏,延长了真空泵体2的使用寿命。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:螺杆泵体使进入真空管道4的冷却液被真空储水罐1分成上下两层,即空气在上方、冷却液在真空储水罐1的下方,然后通过螺杆本体将冷却液排出,使冷却液不会进入真空泵体2内,防止了冷却液对真空泵体2的损坏,延长了真空泵体2的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中:真空储水罐 1,真空泵体 2,排水泵体 3,减薄机真空管道 4,真空腔体 5,吸盘 6,磨削片子 7,排水口 8,防护盖体 9,支撑架体 10。
具体实施方式
以下结合附图1对本实用新型的结构及其有益效果进一步说明。
实施例1
一种减薄机真空管路的排水装置,如图1所示,其包括真空储水罐1,所述的真空储水罐1一侧上端连接有真空泵体2、下端连接有排水泵体3,且排水泵体3为螺杆泵体;另一侧连接有减薄机真空管道4,减薄机真空管道4自由端设有真空腔体5,且真空腔体5上方设有吸盘6,吸盘6上设有磨削片子7。
所述的真空储水罐1下方设有排水口8,且排水口8上设有防护盖体9。
所述的真空储水罐1下方设有支撑架体10,内部设有感应液体测位装置或外侧壁面设有可视液体测位装置,其在工作过程中,当液体测位装置监测到真空储水罐1内的液体达到真空储水罐1的三分之二时,排水泵体3会自动打开,将真空储水罐1内的液体排出,如果真空储水罐1内的液体未达到真空储水罐1的三分之二时,排水泵泵体3关闭,其节省电能、使用方便。
所述的真空储水罐1一侧上端连接有真空泵体2、下端连接有排水泵体3,且排水泵体3为螺杆泵体,其使进入减薄机真空管道4的冷却液被真空储水罐1分成上下两层,即空气在上方、冷却液在真空储水罐1的下方,然后通过螺杆本体将冷却液排出,使冷却液不会进入真空泵体2内,防止了冷却液对真空泵体2的损坏,延长了真空泵体2的使用寿命。
工作时,打开排水泵体3,然后由于磨削过程中冷却液从片子与吸盘的间隙处进入到了真空腔体5,然后进入到减薄机真空管道4内,然后通过排水泵体3,即螺杆泵体将真空储水罐1内的冷却液分成两个区域,然后通过排水口8排出,防止了冷却液进入真空泵体2内,防止了冷却液对真空泵体2的损坏,延长了真空泵体2的使用寿命。
本实用新型的描述中,术语“上”、“下”指示的方位基于附图所示的方位,仅是为了便于描述本实用新型而不是要求本实用新型必须以特定的方位操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种减薄机真空管路的排水装置,其包括真空储水罐(1),其特征在于:所述的真空储水罐(1)一侧上端连接有真空泵体(2)、下端连接有排水泵体(3),且排水泵体(3)为螺杆泵体;另一侧连接有减薄机真空管道(4),减薄机真空管道(4)自由端设有真空腔体(5),且真空腔体(5)上方设有吸盘(6),吸盘(6)上设有磨削片子(7)。
2.根据权利要求1所述一种减薄机真空管路的排水装置,其特征在于:所述的真空储水罐(1)下方设有排水口(8),且排水口(8)上设有防护盖体(9)。
3.根据权利要求1或2所述一种减薄机真空管路的排水装置,其特征在于:所述的真空储水罐(1)下方设有支撑架体(10),内部设有感应液体测位装置或外侧壁面设有可视液体测位装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201620534237.2U CN205690082U (zh) | 2016-06-02 | 2016-06-02 | 一种减薄机真空管路的排水装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201620534237.2U CN205690082U (zh) | 2016-06-02 | 2016-06-02 | 一种减薄机真空管路的排水装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN205690082U true CN205690082U (zh) | 2016-11-16 |
Family
ID=57259713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201620534237.2U Active CN205690082U (zh) | 2016-06-02 | 2016-06-02 | 一种减薄机真空管路的排水装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN205690082U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105889758A (zh) * | 2016-06-02 | 2016-08-24 | 平凉市老兵科技研发有限公司 | 一种减薄机真空管路的排水装置 |
CN106582127A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-04-26 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种减薄机的真空过滤系统及方法 |
-
2016
- 2016-06-02 CN CN201620534237.2U patent/CN205690082U/zh active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105889758A (zh) * | 2016-06-02 | 2016-08-24 | 平凉市老兵科技研发有限公司 | 一种减薄机真空管路的排水装置 |
CN106582127A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-04-26 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种减薄机的真空过滤系统及方法 |
CN106582127B (zh) * | 2016-12-13 | 2018-12-04 | 北京中电科电子装备有限公司 | 一种减薄机的真空过滤系统及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN205690082U (zh) | 一种减薄机真空管路的排水装置 | |
CN209503854U (zh) | 一种双面研磨设备水循环装置 | |
CN103223376B (zh) | 刃具加工设备的排屑装置 | |
CN105889758A (zh) | 一种减薄机真空管路的排水装置 | |
CN205718120U (zh) | 一种风冷式冷水机 | |
CN209157196U (zh) | 一种带有降温效果的防水管材钻孔设备 | |
CN206905390U (zh) | 粉末生产冷却系统 | |
CN105583191A (zh) | 一种超声波清洗机的机体结构 | |
CN212102580U (zh) | 一种玻璃纤维拉丝机冷却管道固定装置 | |
CN206329520U (zh) | 一种磁悬浮离心式鼓风机 | |
CN204591777U (zh) | 污水泵用的叶轮组件 | |
CN207810200U (zh) | 新型燃料电池热管理系统膨胀罐 | |
CN206830501U (zh) | 一种防噪音卧式离心泵 | |
CN205767095U (zh) | 用于冷却瓶盖加工设备的冷却水循环系统 | |
CN207403011U (zh) | 上机切片机切割液缸 | |
CN207913908U (zh) | 具有防堵结构的化工原料粉碎装置 | |
CN209867277U (zh) | 一种砂芯加工用具有废料收集回收结构的砂芯支架 | |
CN206221384U (zh) | 离心泵降温装置 | |
CN205817457U (zh) | 环保型冷却回水系统 | |
CN207308077U (zh) | 带有缺水保护装置的研磨机 | |
CN219572729U (zh) | 一种化学试剂生产用冷却塔 | |
CN202478715U (zh) | 一种应用于过滤器上的压盖 | |
CN210230124U (zh) | 一种水冷式磨粉机的冷却系统 | |
CN217565729U (zh) | 一种直饮机内胆双重泄压装置 | |
CN203874614U (zh) | 一种除尘系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |