CN205590784U - 一种蒸镀装药装置及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蒸镀装药装置及蒸镀装置，属于蒸镀设备领域。所述蒸镀装药装置包括基体和刮板；所述刮板安装在所述基体上，所述刮板与所述基体形成十字结构；所述基体用于架在坩埚上，所述刮板用于伸入所述坩埚内部；通过所述基体在所述坩埚的上端面上往复运动，带动所述刮板刮平位于所述坩埚内部的有机材料。本实用新型通过基体架在坩埚上，刮板伸入坩埚内部，通过基体在坩埚的上端面上往复运动，带动刮板刮平位于坩埚内部的有机材料，刮平有机材料的过程中，只需往复推动基体即可通过刮板刮平有机材料，避免工作人员直接接触有机材料，提高蒸镀过程的安全性，保护工作人员的身体健康。

Description

一种蒸镀装药装置及蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，特别涉及一种蒸镀装药装置及蒸镀装置。

背景技术

在制造OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)时，需要使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。蒸镀开始前，先将有机材料置于坩埚内，而后对坩埚进行加热，使坩埚内的有机材料受热升华为气体，该气体由坩埚的上方逸出并在位于坩埚上方的OLED基板上发生凝华而形成OLED。由于有机材料通常为颗粒或粉末状，工作人员将有机材料倒入坩埚内部时无法保证有机材料在坩埚内部均匀分布，为了避免因有机材料在坩埚内部分布不均匀而影响制备OLED的效果，在蒸镀开始前工作人员通常会手工将有机材料刮平。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

由于大部分有机材料存在一定毒性，通过工作人员手工将有机材料刮平，安全性较低。

实用新型内容

为了解决现有技术中通过工作人员手工刮平坩埚内的有机材料，安全性较低的问题，本实用新型实施例提供了一种蒸镀装药装置及蒸镀装置。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种蒸镀装药装置，所述蒸镀装药装置包括基体和刮板；

所述刮板安装在所述基体上，所述刮板与所述基体形成十字结构；

所述基体用于架在坩埚上，所述刮板用于伸入所述坩埚内部；

通过所述基体在所述坩埚的上端面上往复运动，带动所述刮板刮平位于所述坩埚内部的有机材料。

进一步地，所述蒸镀装药装置还包括紧固螺栓，所述刮板上设有条形通槽，所述条形通槽的长度方向与所述基体的长度方向垂直交叉，所述紧固螺栓穿过所述条形通槽将所述刮板安装在所述基体上。

进一步地，所述蒸镀装药装置还包括刻度尺，所述刻度尺设置在所述刮板上。

进一步地，所述蒸镀装药装置还包括两块滑块，所述两块滑块分别固定在所述基体上与所述坩埚的上端面接触的位置。

具体地，所述两块滑块均为L型结构。

具体地，所述两块滑块分别通过螺钉固定在所述基体上。

进一步地，所述蒸镀装药装置还包括滚动部，所述基体包括第一部分和第二部分，且所述第一部分和所述第二部分固定连接为L形；

所述刮板设置在所述第一部分，且所述刮板与所述第一部分形成十字结构，所述第一部分架在所述坩埚上；

所述滚动部设置在所述第二部分朝向所述第一部分的一侧，所述滚动部与所述坩埚的外侧壁配合。

进一步地，所述滚动部包括支撑体、伸缩体和滚轮；

所述支撑体的一端固定在所述第二部分朝向所述第一部分的一侧，所述支撑体的另一端内部设有空腔；

所述伸缩体的一端设置在所述空腔内，所述伸缩体的另一端由所述空腔内伸出，且所述伸缩体可在所述空腔内运动；

所述滚轮安装在所述伸缩体伸出所述空腔的一端，且所述滚轮可在水平面内沿所述坩埚的侧壁滚动。

进一步体地，所述伸缩体包括弹簧和伸缩支架；

所述弹簧设置在所述空腔内，且所述弹簧的一端与所述支撑体固定连接；

所述伸缩支架的一端伸入所述空腔内与所述弹簧的另一端固定连接，所述伸缩支架的另一端由所述空腔内伸出；

所述滚轮安装在所述伸缩支架伸出所述空腔的一端。

具体地，所述蒸镀装药装置包括两个滚动部，且所述两个滚动部的滚轮的轴线相互平行且不重合。

具体地，所述蒸镀装药装置包括两个滚动部，所述两个滚动部的滚轮的横截面共面。

具体地，所述刮板的下端设有倒角。

另一方面，提供了一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括坩埚和所述蒸镀装药装置，所述蒸镀装药装置的基体架在所述坩埚的上端面上，且所述蒸镀装药装置的刮板伸入所述坩埚内部，通过所述基体在所述坩埚的上端面上往复运动，带动所述刮板刮平位于所述坩埚内部的有机材料。

本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本实用新型通过基体架在坩埚上，刮板伸入坩埚内部，通过基体在坩埚的上端面上往复运动，带动刮板刮平位于坩埚内部的有机材料，刮平有机材料的过程中，只需往复推动基体即可通过刮板刮平有机材料，避免工作人员直接接触有机材料，提高蒸镀过程的安全性，保护工作人员的身体健康。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一实施例提供的蒸镀装药装置的结构示意图；

图2是坩埚的横截面形状示意图；

图3是本实用新型又一实施例提供的刮板的结构示意图；

图4是本实用新型又一实施例提供的刮板刮平有机材料的状态示意图；

图5是长度刻度尺的结构示意图；

图6是本实用新型又一实施例提供的刻度尺的结构示意图；

图7是本实用新型又一实施例提供的滑块的结构示意图；

图8是本实用新型又一实施例提供的基体的结构示意图；

图9是本实用新型又一实施例提供的滚动部的结构示意图。

其中：

1基体，11第一部分，12第二部分，

2刮板，21条形通槽，22倒角边，

3紧固螺栓，

4刻度尺，41刻度，42通槽，

5滑块，

6滚动部，

61支撑体，611空腔，

62伸缩体，621弹簧，622伸缩支架，

63滚轮，

7坩埚，71坩埚的上端面，72坩埚的侧壁，

a有机材料，

L刮板的运动方向，

F有机材料的运动方向。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

实施例一

如图1所示，结合图2加以说明，本实用新型实施例提供了一种蒸镀装药装置，该蒸镀装药装置包括基体1和刮板2；

刮板2安装在基体1上，刮板2与基体1形成十字结构；

基体1用于架在坩埚7上，刮板2用于伸入坩埚7内部；

通过基体1在坩埚的上端面71上往复运动，带动刮板2刮平位于坩埚7内部的有机材料。

如图2所示，坩埚7的横截面形状一般为矩形，将本实用新型实施例提供的蒸镀装药装置用于刮平坩埚7内部的有机材料时，先将基体1架在坩埚的上端面71上，刮板2伸入坩埚7内部，工作人员沿着坩埚7的长度方向或宽度方向推动基体1，基体1在坩埚的上端面71上运动，从而带动刮板2相对坩埚7运动，刮板2运动的过程中将位于坩埚7内部的有机材料刮平。在本实用新型实施例中，优选地，刮板2的宽度略小于坩埚7内部的横截面宽度，如刮板2的宽度比坩埚7内部的横截面宽度小2毫米，工作人员沿着坩埚7的长度方向往复推动基体1，只需几次即可将坩埚7内部的有机材料刮平，在有机材料刮平状态，刮板2的下端面正好与有机材料形成的上端面接触。

当然，本领域技术人员可知，当坩埚7的横截面形状为圆形时，也可使刮板2的宽度略小于坩埚7的内部的横截面直径，刮板2设置在基体1上，刮平有机材料状态，往复转动基体1，基体1带动刮板2绕坩埚7的轴线转动，刮板2转动的过程中刮平坩埚7内部的有机材料。

本实用新型通过基体1架在坩埚7上，刮板2伸入坩埚7内部，通过基体1在坩埚的上端面71上往复运动，带动刮板2刮平位于坩埚7内部的有机材料，刮平有机材料的过程中，只需往复推动基体1即可通过刮板2刮平有机材料，避免工作人员直接接触有机材料，提高蒸镀过程的安全性，保护工作人员的身体健康。

如图1所示，在本实用新型实施例中，蒸镀装药装置还包括紧固螺栓3，刮板2上设有条形通槽21，条形通槽21的长度方向与基体1的长度方向垂直交叉，紧固螺栓3穿过条形通槽21将刮板2安装在基体1上。

在本实用新型实施例中，通过紧固螺栓3穿过条形通槽21将刮板2安装在基体1上，在紧固螺栓3未拧紧状态刮板2可通过条形通槽21相对基体1运动，使得将基体1架在坩埚的上端面上时，刮板2伸入坩埚内部的长度可以通过紧固螺栓3进行调节，从而使得工作人员可以根据坩埚内部的有机材料的量调节刮板2的长度，保证刮板2伸入坩埚内部的长度为当有机材料刮平后，刮板2的下端面与有机材料形成的上端面正好接触，刮板2伸入坩埚内部的长度预先设定，有机材料是否刮平无需依靠工作人员个人的主观判断，可保证有机材料在坩埚内均匀分布。

如图3所示，在本实用新型实施例中，刮板2的下端设有倒角，如图4所示，刮板2下端的倒角设置在刮板2做往复运动的过程中直接与有机材料a接触的两个面上，通过倒角的倒角边22对有机材料堆处的有机材料a施加一个斜向下的作用力，使得位于刮板的运动方向L上的有机材料的运动方向F变为斜向下而进入刮板2下方的空间内，便于快速刮平有机材料a。

如图1所示，在本实用新型实施例中，蒸镀装药装置还包括刻度尺4，该刻度尺4设置在刮板2上。

通过在刮板2上设置刻度尺4，便于工作人员直观地知道刮板2伸入坩埚内部的长度，对刮板2进行调节，其中，如图5所示，刻度尺4可以采用现有的长度刻度尺，该刻度尺4贴在刮板2表面且与刮板2固定，其一端与刮板2的下端面对齐，其刻度41所在的边与刮板2的平行于坩埚轴线的边对齐，且刻度尺4上设有与刮板2上的条形通槽21相配的通槽42，避免刻度尺4的设置影响紧固螺栓3的调节，工作人员通过计算获取刮板2伸入坩埚内部的长度，并依据此长度对对刮板2进行调节，结构简单，便于调节刮板2。

如图6所示，刻度尺4也可根据不同有机材料和坩埚的型号特制，该刻度尺4上的每一个刻度41与坩埚内部的有机材料的质量对应，其刻度41通过坩埚内部的横截面积及有机材料的密度进行设计计算，此时，刻度尺4上需标示与该刻度尺4对应的有机材料的名称。

当然，本领域技术人员可知，刻度尺4也可以直接形成在刮板2上，其中，刻度尺4的刻度41位于刮板2的平行于坩埚轴线的边上，优选地，刮板2与坩埚的轴线平行的两个表面上的与坩埚轴线平行的边上均设有刻度41，便于工作人员观察。

如图1所示，且结合图2，在本实用新型实施例中，蒸镀装药装置还包括两块滑块5，两块滑块5分别固定在基体1上与坩埚的上端面71接触的位置。

在本实用新型实施例中，刮板2固定在基体1的侧壁上，两块滑块5固定在基体1上与坩埚的上端面71接触的位置，避免在工作人员推动基体1相对坩埚的上端面71移动的过程中，坩埚的上端面71与基体1发生摩擦而损坏基体1，降低本实用新型的使用寿命。

如图7所示，在本实用新型实施例中，优选地，两块滑块5均为L型结构，且两块滑块5由与坩埚7内部的有机材料不反应的材料制成，当将基体1架在坩埚的上端面71上时，两块滑块5分别挂在坩埚的上端面71上，且每个滑块5的一个表面与坩埚的上端面71接触，而与该表面相邻的另一个表面与坩埚的侧壁72接触，由于两块滑块5均固定在基体1上，因此两个滑块5的与坩埚的侧壁72接触的表面之间的距离不会发生改变，在工作人员推动基体1沿坩埚的上端面71运动的过程中，两个滑块5可以防止基体1相对坩埚的上端面71偏转，保证刮板2沿一个固定的方向刮平有机材料，进而保证刮平有机材料的效率。

其中，优选地，两块滑块5分别通过螺钉固定在基体1上，便于在两块滑块5磨损严重时对两块滑块5进行更换。

如图1所示，且结合图2进行说明，在本实用新型实施例中，蒸镀装药装置还包括滚动部6，其中，如图8所示，基体1包括第一部分11和第二部分12，且第一部分11和第二部分12固定连接为L形，其中，第一部分11和第二部分12也可一体成型；

刮板2设置在第一部分11，且刮板2与第一部分11形成十字结构，第一部分11架在坩埚7上；

滚动部6设置在第二部分12朝向第一部分11的一侧，滚动部6与坩埚7的外侧壁配合。

通过在基体1的第二部分12朝向第一部分11的一侧设置滚动部6，且滚动部6与坩埚7的外侧壁配合，在工作人员推动基体1沿坩埚的上端面71运动的过程中，由于滚动摩擦力远小于滑动摩擦力，通过滚动部6在坩埚的侧壁72上滚动，可大大减小工作人员推动基体1沿坩埚的上端面71运动时所需要的力，减轻工作人员的劳动强度。

如图1所示，也可参见图9，并结合图2进行说明，在本实用新型实施例中，滚动部6包括支撑体61、伸缩体62和滚轮63；

支撑体61的一端固定在第二部分12朝向第一部分11的一侧，支撑体61的另一端内部设有空腔611；

伸缩体62的一端设置在空腔611内，伸缩体62的另一端由空腔611内伸出，且伸缩体62可在空腔611内做伸缩运动；

滚轮63安装在伸缩体62伸出空腔611的一端，且滚轮63可在水平面内沿坩埚的侧壁72滚动。

在本实用新型实施例中，当将基体1架在坩埚上时，滚轮63与坩埚的侧壁72接触，伸缩体62处于基体1和滚轮63的作用下的平衡状态，工作人员推动基体1沿坩埚的上端面71运动的过程中，若基体1相对于坩埚7发生了偏转，则伸缩体62的平衡状态被打破，伸缩体62随着基体1的偏转而伸缩，以保持滚轮63与坩埚的侧壁72接触，伸缩体62向基体1施加反作用力促进基体1复位，保证滚轮63始终能辅助带动基体1运动，以减小工作人员需要施加在基体1上的力，减轻工作人员的劳动强度，且避免基体1及刮板2运动过程中被卡住。

如图9所示，且结合图2进行说明，在本实用新型实施例中，伸缩体62包括弹簧621和伸缩支架622；

弹簧621设置在空腔611内，且弹簧621的一端与支撑体61固定连接；

伸缩支架622的一端伸入空腔611内与弹簧621的另一端固定连接，伸缩支架622的另一端由空腔611内伸出；

滚轮63安装在伸缩支架622伸出空腔611的一端。

在本实用新型实施例中，当将基体1架在坩埚7上时，滚轮63与坩埚的侧壁72接触，弹簧621处于滚轮63和基体1作用下的平衡状态，当工作人员推动基体1沿坩埚的上端面71运动的过程中，若基体1相对坩埚7发生偏转，则弹簧621伸长或缩短以保证滚轮63与坩埚的侧壁72之间保持接触，且当基体1向外偏转使得滚轮63有离开坩埚的侧壁72的趋势时，由于滚轮63的惯性，弹簧621被拉伸，会对基体1产生一个回拉的作用力以保证滚轮63与坩埚的侧壁72接触，而当弹簧621缩短时，会对基体1施加一个向外的作用力，使基体1的第二部分12与坩埚的侧壁72之间的距离增大，从而在保证滚轮63始终能辅助带动基体1运动以减小工作人员施加在基体1上的力，减轻工作人员的劳动强度，且避免基体1和刮板2运动过程中被卡住。

如图1所示，在本实用新型实施例中，优选地，蒸镀装药装置包括两个滚动部6，且两个滚动部6的滚轮63的轴线相互平行且不重合，两个滚动部6的滚轮63滚动的轨迹共面，通过两个滚动部6共同作用，在基体1相对坩埚发生偏转时辅助基体1复位，避免基体1及刮板2运动过程中被卡住，进而保证刮板2刮平有机材料时的运动方向不发生偏转，提高刮平效率。其中，优选地，两个滚动部6的滚轮63的横截面共面。

实施例二

参见图1，并结合图2，本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括坩埚7和实施例一中所述的蒸镀装药装置，蒸镀装药装置的基体1架在坩埚的上端面71上，且蒸镀装药装置的刮板2伸入坩埚7内部，通过基体1在坩埚的上端面71上往复运动，带动刮板2刮平位于坩埚7内部的有机材料。

本实用新型通过基体1架在坩埚7上，刮板2伸入坩埚7内部，通过基体1在坩埚的上端面71上往复运动，带动刮板2刮平位于坩埚7内部的有机材料，刮平有机材料的过程中，只需往复推动基体1即可通过刮板2刮平有机材料，避免工作人员直接接触有机材料，保护工作人员的身体健康。

上述本实用新型实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸镀装药装置，其特征在于，所述蒸镀装药装置包括基体和刮板；

所述刮板安装在所述基体上，所述刮板与所述基体形成十字结构；

所述基体用于架在坩埚上，所述刮板用于伸入所述坩埚内部；

通过所述基体在所述坩埚的上端面上往复运动，带动所述刮板刮平位于所述坩埚内部的有机材料。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述蒸镀装药装置还包括紧固螺栓，所述刮板上设有条形通槽，所述条形通槽的长度方向与所述基体的长度方向垂直交叉，所述紧固螺栓穿过所述条形通槽将所述刮板安装在所述基体上。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述蒸镀装药装置还包括刻度尺，所述刻度尺设置在所述刮板上。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述蒸镀装药装置还包括两块滑块，所述两块滑块分别固定在所述基体上与所述坩埚的上端面接触的位置。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述蒸镀装药装置还包括滚动部，所述基体包括第一部分和第二部分，且所述第一部分和所述第二部分固定连接为L形；

所述刮板设置在所述第一部分，且所述刮板与所述第一部分形成十字结构，所述第一部分架在所述坩埚上；

所述滚动部设置在所述第二部分朝向所述第一部分的一侧，所述滚动部与所述坩埚的外侧壁配合。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述滚动部包括支撑体、伸缩体和滚轮；

所述支撑体的一端固定在所述第二部分朝向所述第一部分的一侧，所述支撑体的另一端内部设有空腔；

所述伸缩体的一端设置在所述空腔内，所述伸缩体的另一端由所述空腔内伸出，且所述伸缩体可在所述空腔内运动；

所述滚轮安装在所述伸缩体伸出所述空腔的一端，且所述滚轮可在水平面内沿所述坩埚的侧壁滚动。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述伸缩体包括弹簧和伸缩支架；

所述弹簧设置在所述空腔内，且所述弹簧的一端与所述支撑体固定连接；

所述伸缩支架的一端伸入所述空腔内与所述弹簧的另一端固定连接，所述伸缩支架的另一端由所述空腔内伸出；

所述滚轮安装在所述伸缩支架伸出所述空腔的一端。

8.根据权利要求6所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述蒸镀装药装置包括两个滚动部，所述两个滚动部的滚轮的横截面共面。

9.根据权利要求1所述的蒸镀装药装置，其特征在于，所述刮板的下端设有倒角。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括坩埚和权利要求1-9任一项权利要求所述的蒸镀装药装置，所述蒸镀装药装置的基体架在所述坩埚的上端面上，且所述蒸镀装药装置的刮板伸入所述坩埚内部，通过所述基体在所述坩埚的上端面上往复运动，带动所述刮板刮平位于所述坩埚内部的有机材料。