CN205576282U - 一种刻蚀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种刻蚀机，包括机体及真空室，所述机体内有六条气管连通至真空室，其中两条气管连通至高压气泵，另外四条气管连通至真空泵；所述气管上均设有电磁阀，连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。本实用新型的刻蚀机，采用六路气管，两路气管连通高压气泵，起到清洗气路的作用，另外四路用来抽真空，效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种刻蚀机。
背景技术
现有的刻蚀机，都是只有一条气路，效率低下，且时间长了之后，会沾染灰层，影响刻蚀效果。
发明内容
本实用新型的目的在于：提供一种效率高，且能清洗气路方便的刻蚀机。
本实用新型是通过以下技术方案实现的： 一种刻蚀机，包括机体及真空室，所述机体内有六条气管连通至真空室，其中两条气管连通至高压气泵，另外四条气管连通至真空泵；所述气管上均设有电磁阀，连通至真空泵的四条气管上还设有电磁流量计。
进一步的，所述气管为合金气管。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：
本实用新型的刻蚀机，采用六路气管，两路气管连通高压气泵，起到清洗气路的作用，另外四路用来抽真空，效率高。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1所示， 1、一种刻蚀机，包括机体1及真空室2，所述机体1内有六条气管3连通至真空室2，其中两条气管3连通至高压气泵4，另外四条气管3连通至真空泵5；所述气管3上均设有电磁阀6，连通至真空泵5的四条气管3上还设有电磁流量计7。所述气管3为合金气管。
Claims (2)
1.一种刻蚀机，包括机体（1）及真空室（2），其特征在于：所述机体（1）内有六条气管（3）连通至真空室（2），其中两条气管（3）连通至高压气泵（4），另外四条气管（3）连通至真空泵（5）；所述气管（3）上均设有电磁阀（6），连通至真空泵（5）的四条气管（3）上还设有电磁流量计（7）。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机，其特征在于：所述气管（3）为合金气管。
Priority Applications (1)
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| CN201620388912.5U CN205576282U (zh) | 2016-05-04 | 2016-05-04 | 一种刻蚀机 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN205576282U true CN205576282U (zh) | 2016-09-14 |
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN205576282U (zh) |
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2016
- 2016-05-04 CN CN201620388912.5U patent/CN205576282U/zh not_active Expired - Fee Related
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20160914 Termination date: 20210504 |
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