CN205542814U - 一种基于砷化铟衬底的ii类超晶格结构 - Google Patents
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- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 55
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 23
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 abstract description 21
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 6
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种基于砷化铟衬底的II类超晶格结构。其结构自下而上依次为镓砷锑层和砷化铟层。与传统的II类超晶格结构相比，其特点在于：(1)原有的GaSb衬底被InAs衬底替代，使得超晶格生长温度大幅度提高，生长温度的提高有利于表面原子扩散长度的增加，因此更有利于材料的二维生长和材料缺陷密度的降低；(2)原有的四层结构生长模式(InAs/InSb/GaSb/InSb)被两层结构生长模式(InAs/GaAsSb)替代，结构更加简单,更有利于实现高质量超晶格的生长；(3)砷化铟层厚度的变化对InAs基II类超晶格的失配影响较小，极大地降低了长波、尤其是甚长波材料的生长难度，更易于提高材料的性能和质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种II类超晶格材料，特别涉及一种基于砷化铟衬底的新型II类超晶格结构及制备方法，它应用于长波、甚长波红外焦平面探测器。
背景技术
InAs/GaSb II类超晶格材料是第三代红外焦平面探测器的优选材料，近年来，美国、德国、日本等国都在大力发展基于该II类超晶格的红外探测技术。InAs/GaSb异质材料体系具有十分特殊的能带排列结构，InAs禁带宽度小于InAs/GaSb的价带偏移，因此InAs的导带底在GaSb的价带顶之下，构成II类超晶格。这就导致(1)电子和空穴在空间上是分离的，电子限制在InAs层中，而空穴限制在GaSb层中，其有效禁带宽度为电子微带至重空穴微带的能量差；(2)改变超晶格周期厚度，可有效地调节InAs/GaSb超晶格的有效禁带宽度。InAs/GaSb II类超晶格的优势还在于能吸收正入射光，具有高的量子效率、低的俄歇复合和漏电流，易于实现高的工作温度。此外，成熟的III-V族化合物的分子束外延生长技术为高性能II类超晶格的制备提供了技术支持，采用分子束外延技术制备超晶格可使得超晶格中各膜层材料的生长速率和组分高度可控。
目前GaSb基InAs/GaSb II类超晶格结构主要包含GaSb层、InAs-on-GaSb界面层、InAs层和GaSb-on-InAs界面层。其中As源和Sb源分别是由As带阀的裂解炉和Sb带阀的裂解炉提供的。但(1)由于InAs与衬底GaSb之间存在着0.6％的晶格失配，故需要晶格常数比GaSb大的InSb界面层进行应变补 偿，而InSb与GaSb之间的晶格失配高达6.3％，因此要生长厚的InSb界面层必会引起更多的缺陷和位错，从而降低材料的质量；(2)InAs/GaSb为应变超晶格,对于实现光学厚度的吸收层难度很大；(3)由于InAs和GaSb之间没有共同原子，故其界面处的互扩散现象比较严重；(4)Sb的蒸气压较低、迁移率较小，易于形成团簇，而Sb晶格空位又容易被Ga占据，形成双受主Ga反位(GaSb)缺陷。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种基于砷化铟衬底的新型InAs/GaAsSb II类超晶格结构，解决目前存在的以下技术问题：
1.由于InSb界面补偿层存在导致的超晶格生长温度低的问题；
2.砷化铟层厚度增加需要厚的InSb层进行补偿，而生长厚InSb界面层会引起较多缺陷和位错的问题；
3.成千上万个界面层极大增加了超晶格生长难度的问题；
4.各膜层界面处互扩散现象严重的技术问题。
如附图1所示，本实用新型的II类超晶格结构为：由InAs衬底自下而上依次为镓砷锑层1和砷化铟层2。其中：
所述的镓砷锑层1的厚度为2.1nm-3.6nm，组分x为0.0-0.5；
所述的砷化铟层2的厚度为2.1nm-10.5nm；
具体制备方法步骤如下：
1)将In炉和Ga炉调至所需生长温度；
2)将InAs衬底装入分子束外延真空系统；
3)将InAs衬底温度升至InAs/GaAsSb II类超晶格生长温度；
4)将As阀和Sb阀开至II类超晶格生长所用阀位；
5)采用分子束外延方法在InAs衬底上依次外延镓砷锑层1和砷化铟层2。
本实用新型的优点在于：(1)InAs衬底替代GaSb衬底使得超晶格的生长温度大幅度提高，生长温度的提高有利于表面原子扩散长度的提高，因此更有利于材料的二维生长和材料缺陷密度的降低；(2)InAs/GaAsSb两层超晶格结构替代InAs/InSb/GaSb/InSb四层超晶格结构，结构更加简单,更有利于实现高质量超晶格的生长；(3)InAs层厚度的变化对InAs基II类超晶格的失配没有影响，这一点极大地降低了长波、尤其是甚长波材料的生长难度；(4)GaAsSb与InAs衬底晶格匹配,因此InAs/GaAsSb是晶格匹配的超晶格结构,而目前通用的InAs/GaSb超晶格是应变材料,晶格匹配材料更易于提高材料的性能和质量；(5)As原子表面活性剂作用，增加了Sb原子的迁移率，降低了Sb团簇的形成几率，减少了材料本身的缺陷，提高了材料性能。
附图说明：
图1是基于InAs衬底的新型InAs/GaAsSb II类超晶格两层结构模型：(1)为镓砷锑层，(2)为砷化铟层。
图2是InAs基InAs/GaAsSb II类超晶格材料一个生长周期内快门开关示意图。如图2所示，在InAs/GaAsSb II类超晶格的一个生长周期内，第一步将Ga、Sb的快门打开，第二步将Ga、Sb快门关闭，将In、As快门打开。之后循环往复，直至材料生长结束。在整个超晶格生长过程中，As阀位不变，只有As快门的开关。故第一步形成了镓砷锑层，第二步形成了砷化铟层。
具体实施方式
实施例1
根据发明内容，我们制备了第一种II类超晶格材料，其具体结构为：
镓砷锑层1的厚度为2.1nm，组分x为0.0；
砷化铟层2的厚度为2.1nm；
实施例2
根据发明内容，我们制备了第二种II类超晶格材料，其具体结构为：
镓砷锑层1的厚度为2.7nm，组分x为0.2；
砷化铟层2的厚度为6.6nm；
实施例3
根据发明内容，我们制备了第三种II类超晶格材料，其具体结构为：
镓砷锑层1的厚度为3.6nm，组分x为0.5；
砷化铟层2的厚度为10.5nm。
Claims (1)
1.一种基于砷化铟衬底的II类超晶格结构，其结构自下而上依次为镓砷锑层(1)和砷化铟层(2)，其特征在于：
所述的镓砷锑层(1)的厚度为2.1nm-3.6nm；
所述的砷化铟层(2)的厚度为2.1nm-10.5nm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620028541.XU CN205542814U (zh) | 2016-01-13 | 2016-01-13 | 一种基于砷化铟衬底的ii类超晶格结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620028541.XU CN205542814U (zh) | 2016-01-13 | 2016-01-13 | 一种基于砷化铟衬底的ii类超晶格结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205542814U true CN205542814U (zh) | 2016-08-31 |
Family
ID=56764460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620028541.XU Active CN205542814U (zh) | 2016-01-13 | 2016-01-13 | 一种基于砷化铟衬底的ii类超晶格结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205542814U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107393982A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-11-24 | 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 | 提高铟砷/镓锑超晶格红外探测器材料截止波长的方法及铟砷/镓锑ⅱ类超晶格及其应用 |
| CN113646906A (zh) * | 2019-04-09 | 2021-11-12 | 杜鹏 | 用于探测器的超晶格吸收体 |
| CN117747714A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-03-22 | 长春理工大学 | InAs-InGaAsSbⅡ类超晶格及其制备方法和红外探测器 |
-
2016
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Cited By (5)
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| CN107393982A (zh) * | 2017-07-12 | 2017-11-24 | 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 | 提高铟砷/镓锑超晶格红外探测器材料截止波长的方法及铟砷/镓锑ⅱ类超晶格及其应用 |
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