CN205449915U - 多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置 - Google Patents
多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205449915U CN205449915U CN201521101626.8U CN201521101626U CN205449915U CN 205449915 U CN205449915 U CN 205449915U CN 201521101626 U CN201521101626 U CN 201521101626U CN 205449915 U CN205449915 U CN 205449915U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tube
- foreign gas
- detection device
- staving
- circulating hydrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 44
- 239000007789 gas Substances 0.000 title claims abstract description 41
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 21
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 17
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 claims description 14
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 claims description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003556 assay Methods 0.000 abstract 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其包括冷凝桶、中空的U形管和U形管固定板，冷凝桶包括桶体和设置在桶体顶部的两个桶盖。本实用新型的优点在于，可以对多晶硅生产中循环氢气杂质气体进行富集，辅助气相色谱分析仪器进行循环氢气的分析，极大地提高了循环氢气中微量杂质气体的色谱检测响应值，最终达到提高循环氢气中微量杂质气体气相色谱检测分析准确度的目的。
Description
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅生产领域，特别涉及一种多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置。
背景技术：
在西门子法多晶硅生产的过程中，循环氢气的质量直接影响着多晶硅的质量，在多晶硅生产过程中，由于设备原因或者工艺控制过程的变化，常常会引起的循环氢气质量的变化，造成多晶硅质量的持续波动，因此对于各个工序的循环氢气质量的监控十分重要，为了监控循环氢气的质量，通常采用气体色谱分析仪器对循环氢气的质量进行检测。
但在实际检测操作的过程中，由于循环氢气中含有微量的杂质气体，造成引进的、高成本的在线高纯气体色谱分析仪器有时不能很好的检测出循环氢气中含有微量的杂质气体，导致循环氢气中微量杂质气体气相色谱检测分析不准确，目前没有很好的办法解决此问题。
实用新型内容：
本实用新型的目的在于提供一种极大地提高微量杂质气体的色谱检测响应值、提高循环氢气气相色谱分析准确度的多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置。
本实用新型由如下技术方案实施：多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其包括冷凝桶、中空的U形管和U形管固定板，所述冷凝桶包括桶体和设置在所述桶体顶部的两个桶盖；
在所述桶体内壁及所述桶盖底部设有均保温材料；所述桶体内水平固定设有环形架板，所述U形管固定板活动置于所述环形架板顶部并覆盖环形架板的中心孔；所述U形管的两端穿过所述U形管固定板并置于所述U形管固定板上方；在所述U形管的两端分别设有一个多孔压板，两所述多孔压板之间的所述U形管内填充有活性炭；
在所述U形管的两端分别设有进气管和出气管；所述进气管和所述出气管的外端均从两个所述桶盖之间穿过，置于所述桶体外侧，在所述桶体外侧的所述进气管上沿进气方向依次设有流量计和进气阀；在所述桶体外侧的所述出气管上沿出气方向依次设有压力表和出气阀。
进一步的，所述保温材料为耐低温保温材料。
进一步的，所述保温材料为聚氨酯。
进一步的，所述进气管和所述出气管均为内壁经过抛光处理的金属管。
进一步的，所述进气管和所述出气管均为内壁经过抛光处理的铜管。
进一步的，所述的流量计为气体流量计。
本实用新型的优点：可以对多晶硅生产中循环氢气杂质气体进行富集，辅助气相色谱分析仪器进行循环氢气的分析，极大地提高了循环氢气中微量杂质气体的色谱检测响应值，最终达到提高循环氢气中微量杂质气体气相色谱检测分析准确度的目的。
附图说明：
图1为本实用新型整体结构示意图。
图2为冷凝桶的桶盖整体结构示意图。
图3为冷凝桶的桶体俯视图。
冷凝桶1，U形管2，U形管固定板3，桶体4，桶盖5，保温材料6，环形架板7，多孔压板8，活性炭9，进气管10，出气管11，流量计12，进气阀13，出气阀14，压力表15。
具体实施方式：
如图1-3所示，多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其包括冷凝桶1、中空的U形管2和U形管固定板3，冷凝桶1包括桶体4和设置在桶体4顶部的两个桶盖5，桶盖5为两个下翻边的、形状尺寸相同的半圆形盖体拼接形成的一个圆形的桶盖5；在桶体4内壁及桶盖5底部设有均保温材料6，保温材料6可保持桶内的温度稳定，保温材料6为耐低温保温材料，如聚氨酯；
桶体4内水平固定设有环形架板7，U形管固定板3活动置于环形架板7顶部并覆盖环形架板7的中心孔；U形管2的两端穿过U形管固定板3并置于U形管固定板3上方；在U形管2的两端分别设有一个多孔压板8，两多孔压板8之间的U形管2内填充有活性炭9，一方面多孔压板8可保持U形管2内的活性炭9位置固定，另一方面多孔压板8保证U形管2内的气体流通顺畅；
在U形管2的两端分别设有进气管10和出气管11，进气管10和出气管11均为内壁经过抛光处理的金属管，如内壁经过抛光处理的铜管，避免冷凝液化的杂质气体粘附与管壁上；进气管10和出气管11的外端均从两个桶盖5之间穿过，置于桶体4外侧，在桶体4外侧的进气管10上沿进气方向依次设有流量计12和进气阀13，流量计12为气体流量计，用于记录导入U形管2内的循环氢气的流量；在桶体4外侧的出气管11上沿出气方向依次设有压力表15和出气阀14，压力表15用于指示U形管2内的压力。
使用方法：
使用时，向环形架板7下方的桶体4内注入液氮，并将U形管2放入桶体4中，桶体4内的保温材料6与环形架板7、U形管固定板3形成一个密闭空间，可防止液氮逸散；向进气管10内通入循环氢气，打开进气阀13和出气阀14，循环氢气通过进气管10导入U形管2内，当循环氢气经过浸没在液氮中的、填充有活性炭9的U形管2时，循环氢气中的杂质气体被冷凝并被活性炭9吸附，氢气因不能被冷凝而从出气管11排出，当流量计12所示的循环氢气流量达到一定数值时，先关闭出气阀14，再关闭进气阀13，记录下循环氢气的流量；将U形管2从桶体4中取出，并放置于室温环境中，此时，被活性炭9吸附的杂质气体解吸附，通过压力表15观察U形管2内的压力值的变化，当压力表15示数不再升高时，记录此时的压力表15示数，将出气管11与高纯气体色谱分析仪器的进样口连通，打开出气阀14，通过高纯气体色谱分析仪器对循环氢气中的杂质气体的分析；这样通过杂质气体分析结果与流量表所示的循环氢气流量进行对比，即可得出循环氢气中微量杂质气体的气相色谱检测分析结果。
这样，先对多晶硅生产中循环氢气杂质气体进行富集，再通过高纯气体色谱分析仪器对循环氢气中的杂质气体的分析，极大地提高了循环氢气中微量杂质气体的色谱检测响应值，最终达到提高循环氢气中微量杂质气体气相色谱检测分析准确度的目的。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其特征在于，其包括冷凝桶、中空的U形管和U形管固定板，所述冷凝桶包括桶体和设置在所述桶体顶部的两个桶盖；
在所述桶体内壁及所述桶盖底部设有均保温材料；所述桶体内水平固定设有环形架板，所述U形管固定板活动置于所述环形架板顶部并覆盖环形架板的中心孔；所述U形管的两端穿过所述U形管固定板并置于所述U形管固定板上方；在所述U形管的两端分别设有一个多孔压板，两所述多孔压板之间的所述U形管内填充有活性炭；
在所述U形管的两端分别设有进气管和出气管；所述进气管和所述出气管的外端均从两个所述桶盖之间穿过，置于所述桶体外侧，在所述桶体外侧的所述进气管上沿进气方向依次设有流量计和进气阀；在所述桶体外侧的所述出气管上沿出气方向依次设有压力表和出气阀。
2.根据权利要求1所述的多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其特征在于，所述保温材料为耐低温保温材料。
3.根据权利要求1或2任一所述的多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其特征在于，所述保温材料为聚氨酯。
4.根据权利要求1所述的多晶硅循环氢气杂质气体质富集辅助检测装置，其特征在于，所述进气管和所述出气管均为内壁经过抛光处理的金属管。
5.根据权利要求1或4任一所述的多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其特征在于，所述进气管和所述出气管均为内壁经过抛光处理的铜管。
6.根据权利要求1所述的多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置，其特征在于，所述的流量计为气体流量计。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201521101626.8U CN205449915U (zh) | 2015-12-25 | 2015-12-25 | 多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201521101626.8U CN205449915U (zh) | 2015-12-25 | 2015-12-25 | 多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205449915U true CN205449915U (zh) | 2016-08-10 |
Family
ID=56578558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201521101626.8U Expired - Fee Related CN205449915U (zh) | 2015-12-25 | 2015-12-25 | 多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205449915U (zh) |
-
2015
- 2015-12-25 CN CN201521101626.8U patent/CN205449915U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101806695B (zh) | 吸附气含量测量仪及其实验方法 | |
| CN108020612B (zh) | 氢同位素气和/或氦气中微量杂质含量的分析装置和方法 | |
| CN102650623A (zh) | 一种检测海水中低浓度氟利昂装置及其制作方法 | |
| CN202676680U (zh) | 一种检测海水中低浓度氟利昂装置 | |
| CN105092350A (zh) | 用于水中溶解氦氖的测定的前处理装置及其方法 | |
| CN204314248U (zh) | 一种程序升温吸附脱附系统及其反应装置 | |
| CN103675080A (zh) | 一种顶空进样器与离子迁移谱联用的系统 | |
| CN102539279A (zh) | 包芯钙线中单质钙的分析方法 | |
| CN202008464U (zh) | 一种水中挥发性物质的检测装置 | |
| CN109633056B (zh) | 一种用于液氯微量杂质分析的在线分析系统 | |
| CN103149122A (zh) | 炼钢用钙系助剂中活性钙分析仪 | |
| CN205449915U (zh) | 多晶硅循环氢气杂质气体富集辅助检测装置 | |
| CN205749410U (zh) | 一种气相色谱仪 | |
| CN203337628U (zh) | 脱氧催化剂检测装置 | |
| CN201397320Y (zh) | 解吸醇胺溶液中h2s和co2的实验装置 | |
| CN103760004A (zh) | 一种溶剂解吸装置及方法 | |
| CN110763774A (zh) | 一种油膏析氢吸氢性能测试装置及方法 | |
| CN108061631B (zh) | 一种测量篦齿密封结构泄露量的试验方法 | |
| CN102081038B (zh) | 一种水中挥发性物质的检测装置及其用于检测的方法 | |
| CN206440675U (zh) | 水中挥发性有机物在线监测的前处理装置 | |
| Matěcha et al. | Testing of analytical and purification methods for HTR helium coolant | |
| CN202497812U (zh) | 一种气体干燥装置 | |
| CN204833816U (zh) | 一种教学用色谱仪 | |
| CN104483397A (zh) | 一种用于苯酚精制过程中树脂吸附性能的评价方法 | |
| CN204065040U (zh) | 一种液相色谱流动相预警装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160810 |