CN205438026U - 一种自修整磁流变柔性抛光砂轮 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种自修整磁流变柔性抛光砂轮，包括固定环、内齿轮、砂轮环、齿轮轴、同步旋转齿轮、行星齿轮、旋转轴和圆柱体永磁铁，旋转轴装设在砂轮环内，圆柱体永磁铁装设在旋转轴下端所设的通孔内，内齿轮装设在砂轮环的上部，固定环装设在内齿轮的顶部，固定环固定在机床上，砂轮接口装设在砂轮环及固定环的顶部，砂轮接口与砂轮环连接，砂轮接口上设有外齿轮，齿轮轴装设在砂轮接口上，行星齿轮装设在齿轮轴上，同步旋转齿轮装设在旋转轴上端，行星齿轮与砂轮接口所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮及行星齿轮与内齿轮啮合。本实用新型实现磨料更新自锐和砂轮块形状的实时恢复，适合光电子/微电子基片和光学元件的平面高效超光滑均匀磨削抛光加工。

Description

一种自修整磁流变柔性抛光砂轮

技术领域

本实用新型涉及一种自修整磁流变柔性抛光砂轮，特别适合于光电子/微电子半导体基片及光学元件的超精密磨抛加工，属于超精密加工技术领域。

背景技术

在LED领域，单晶硅(Si)、单晶锗(Ge)、砷化镓(GaAs)、单晶碳化硅（SiC）和蓝宝石（Al₂O₃）等作为半导体衬底材料，同样要求具有超平坦和超光滑的表面（粗糙度Ra达到0.3nm以下）才能满足外延膜生长的要求，并且要求无缺陷、无损伤。而光学元件作为光学器件的核心元件之一，要达到良好的光学性能，其表面精度需要达到超光滑程度（粗糙度Ra达到1nm以下），面形精度也有较高的要求（形状精度达到0.5微米以下）。可以看出无论是光学平面元件还是半导体基片，均需要进行平坦化加工，其传统工艺主要是高效研磨、超精密抛光、化学机械抛光、磁流变抛光和基于端面磨床的磨抛加工，其加工质量和精度直接决定了光学器件及半导体器件的性能。

自从1984年日本的MastulS.等人提出了工件自旋转磨削方法后，自旋转磨削原理的超精密磨床已成为半导体晶片特别是大直径晶片制造和背面减薄普遍采用的加工设备。在工件自旋转磨削中，除了对超精密磨床的精度和主轴刚度提出很高度要求之外，对配套采用的端面砂轮也有极高的要求，其中以具有抛光性能砂轮（Poligrind）要求最高，采用该砂轮能直接通过磨削方式获得机械抛光同等的表面质量，大大提高了加工效率。但是Poligrind的高性能造成了能生产此类砂轮的厂商极少，价格居高不下，进口价格在3万人民币左右，而且该类砂轮的齿高只有5～7mm高，加工过程中砂轮磨损非常快，因而只能用于少量工件的磨削，磨削成本极高。因而本实用新型提出一种自修整磁流变柔性抛光砂轮及其磨抛方法，采用动态磁场形成自修整流变柔性抛光砂轮块，实现对工件的恒压力柔性加工，并且能使磨料在加工过程中实时更新自锐，而且该砂轮永不磨损，能够以低廉的价格实现Poligrind的效果。

发明内容

本实用新型的目是针对Poligrind成本高、磨损快的问题提出一种自修整磁流变柔性抛光砂轮。本实用新型加工过程中砂轮块能实现磨料自动更新和砂轮块形状的实时恢复，砂轮块永不磨损，加工效率高，成本低，能获得无表面和亚表面损伤的工件，适合光电子/微电子基片和光学元件的平面高效率超光滑均匀磨削抛光加工。

本实用新型的技术方案是：本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮，包括有固定环、内齿轮、砂轮环、齿轮轴、同步旋转齿轮、行星齿轮、旋转轴和圆柱体永磁铁，其中旋转轴装设在砂轮环内，圆柱体永磁铁装设在旋转轴下端所设的通孔内，内齿轮装设在砂轮环的上部，固定环装设在内齿轮的顶部，且固定环固定在机床上，砂轮接口装设在砂轮环及固定环的顶部，砂轮接口与砂轮环连接，砂轮接口上设有外齿轮，齿轮轴装设在砂轮接口上，行星齿轮装设在齿轮轴上，同步旋转齿轮装设在旋转轴的上端，行星齿轮与砂轮接口所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮及行星齿轮与内齿轮啮合。

本实用新型的自修整磁流变柔性抛光砂轮，采用磁极旋转的方法使相邻的磁极磁力线发生实时变化，从而把静态磁场转变为动态磁场，可以迫使无修整磁流变砂轮块转变为自修整流变柔性抛光砂轮块而实现磨料的更新自锐和砂轮块形状的实时恢复，彻底解决了无修整磁流变砂轮块正衡间隙加工过程中由于磁流变液的黏性和磁性作用下变形而无法恢复从而失去对工件的加工压力的核心问题。本实用新型巧妙地采用砂轮的旋转运动直接驱动行星齿轮机构中的内齿轮旋转，并借助内齿轮的旋转驱动各磁极同步转动，并利用迷宫结构和梯形结构实现机械密封和相对滑动，从而获得了与传统砂轮相当的紧凑机构。本实用新型的另一优点采用动态磁场实现磁流变液的更新和磨料的更新自锐，不需要采用循环装置对磁流变液进行更新且加工过程中不需要更换磁流变液，自修整流变柔性抛光砂轮块中的磨料具有容末效应，能实现细小的磨料与工件优先接触，避免粗颗粒磨料对工件的损伤，并且自修整流变柔性抛光砂轮块的形状能实时恢复，不存在传统砂轮块的磨损问题和磨料粒度及气孔分布不均等关键问题。因而采用本实用新型的自修整磁流变柔性抛光砂轮能获得的工件表面一致性好且无表面和亚表面损伤的高质量工件，而且成本低，非常适合光电子/微电子基片和光学元件的平面高效率超光滑均匀磨削抛光加工。同时，本装置使用过程中工件不旋转时能加工出环带型无损区域，适合于研究光学平面材料的材料去除机理和亚表面损伤检测等试验研究。

附图说明

图1是本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮全剖主视图。

图2是本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮的局部放大视图。

图3为本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮A-A剖视图。

图4为本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮俯视图。

图5为本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮仰视图。

图6为本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮在端面磨床的安装示意图。

图7为本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮安装在端面磨床并形成流变柔性抛光砂轮块的示意图。

图8为本实用新型自修整磁流变柔性抛光砂轮的磨抛加工示意图。

图9为图8的B-B示意图。

图10为不具备本实用新型自修整功能的磁流变砂轮示意图。

图中：1.固定环，2.梯形止口，3.内齿轮，4.外螺母，5.内螺母，6.轴承隔套，7.圆锥滚子轴承，8.砂轮环，9.定位圆柱，10.迷宫止口，11.齿轮轴，12.安装螺纹孔，13.砂轮接口，14.安装止口，15.配合止口，16.紧固螺钉，17.同步旋转齿轮，18.行星齿轮，19.孔用弹性挡圈，20.深沟球轴承，21.轴用弹性挡圈，22.平键，23.梯形滑动面，24.凸台，25.旋转轴，26.圆柱体永磁铁，27.砂轮端面，28.端面磨床主轴，29.端面磨床床身，30.连接螺钉，31.固定连接环，32.自修整流变柔性抛光砂轮块，33.环形槽，34.磁流变液，35.工件主轴，36.工件，37.加工间隙，38.无修整磁流变砂轮块。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，但实际可实现的工艺不限于这些实施例：

实施例1：

如图1～图5所示，本实用新型的一种自修整磁流变柔性抛光砂轮，包括有固定环1、内齿轮3、砂轮环8、齿轮轴11、同步旋转齿轮17、行星齿轮18、旋转轴25和圆柱体永磁铁26，其中旋转轴25装设在砂轮环8内，圆柱体永磁铁26装设在旋转轴25下端所设的通孔内，内齿轮3装设在砂轮环8的上部，固定环1装设在内齿轮3的顶部，且固定环1固定在机床上，砂轮接口13装设在砂轮环8及固定环1的顶部，砂轮接口13与砂轮环8连接，砂轮接口13上设有外齿轮，齿轮轴11装设在砂轮接口13上，行星齿轮18装设在齿轮轴11上，同步旋转齿轮17装设在旋转轴25的上端，行星齿轮18与砂轮接口13所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮17及行星齿轮18与内齿轮3啮合。因因定环1固定，故行星齿轮18的轴线是固定的，砂轮接口13转动的时候，砂轮环8跟着转动，且通过砂轮接口13所设的外齿轮带动行星齿轮18转动，行星齿轮18的转动会带动内齿轮3转动，内齿轮3的转动进而带动同步旋转齿轮17转动。上述砂轮接口13上设有的外齿轮与砂轮接口13一体做出，或外齿轮单独做出，再与砂轮接口13固定连接。

本实施例中，上述砂轮接口13与砂轮环8通过紧固螺钉16连接。

本实施例中，上述旋转轴25通过两对圆锥滚子轴承7支承在砂轮环8；上述旋转轴25在两对圆锥滚子轴承7之间套装有轴承隔套6。上述旋转轴25在圆锥滚子轴承7的端部装设有外螺母4及内螺母5。

本实施例中，上述旋转轴25的上端通过平键22安装同步旋转齿轮17；上述行星齿轮18通过深沟球轴承20支承在齿轮轴11上。

本实施例中，上述砂轮接口13下端具有安装止口14，砂轮环8上端与砂轮接口13下端贴合并通过安装止口14实现定位；上述内齿轮3与砂轮环8通过内齿轮3下端面的梯形滑动面23配合安装，固定环1与内齿轮3通过内齿轮3上端面的梯形止口2配合安装，固定环1内上侧的凸环嵌套在砂轮接口13左下端，齿轮轴11上端通过螺纹连接固定于固定环1上，行星齿轮18的端部通过孔用弹性挡圈19和轴用弹性挡圈21固定于齿轮轴11上。

本实施例中，上述固定环1上端具有多个定位圆柱9，固定环1可以相对砂轮接口13发生转动，固定环1与砂轮接口13之间存在防水结构迷宫止口10，内齿轮3可以相对固定环1和砂轮环8发生转动，内齿轮3上端面的梯形止口2和内齿轮3下端面的梯形滑动面23具有耐磨擦材料涂层，实现自修整磁流变柔性抛光砂轮的机械密封与滑动摩擦。

本实施例中，上述圆柱体永磁铁26的端面磁场强度大于1000Gs，相邻同磁极或者相邻反磁极安装于砂轮环8的垂直阵列孔内，圆柱体永磁铁26下端面与砂轮环8的垂直阵列孔存在着间隙且间隙相等，砂轮环8的垂直阵列孔与旋转轴25间隙配合，圆柱体永磁铁26均匀紧密圆周分布。

本实施例中，上述砂轮环8下端具有凸台24，凸台表面为平面或者十字槽面，凸台表面距离圆柱体永磁铁26下端面的距离为0.5mm～5mm。

本实施例中，上述砂轮环8和旋转轴25采用不锈钢，或硬铝合金，或铜合金，或陶瓷等抗磁材料制作。

如图6所示，本实用新型的自修整磁流变柔性抛光砂轮的磨抛方法，包括如下步骤：

1）根据LapmasterSFTCorp.的DMG-6011V立式单轴超精密精密端面磨床机床的结构，设计如图1～图5适配的自修整磁流变柔性抛光砂轮结构；

2）根据4英寸单晶SiC基片的特点，选择的磁场强度为5200Gs的圆柱体永磁铁26相邻同磁极安装于自修整磁流变柔性抛光砂轮内，调整旋转轴（25）使圆柱体永磁铁26下端面到砂轮端面27的距离一致，并完成自修整磁流变柔性抛光砂轮的整体安装；

3）将自修整磁流变柔性抛光砂轮通过砂轮接口13和连接螺钉30安装于端面磨床主轴28上，将固定环1通过固定环1上的定位圆柱9和固定连接环31固定于端面磨床床身29上；

4）将工件36通过真空吸装夹于工件主轴35上，使工件圆心在圆柱体永磁铁26圆心形成的轨迹圆附近，调整端面磨床主轴28使砂轮端面27到工件上表面的加工间隙37为0.8mm；

5）通过在去离子水中加入浓度为5%的粒径为5微米的金刚石磨料、浓度为3%的粒径为0.5微米的金刚石磨料磨料，及去离子水中加入浓度为3%的粒径为0.5微米的羰基铁粉及浓度为10%的粒径为3.5微米的羰基铁粉，及加入浓度为5%的分散剂、浓度为3%的防锈剂和浓度为3%的稳定剂，充分搅拌后通过超声波震动10分钟，形成磁流变液34；

5）如图7～图9所示，将磁流变液34倒入环形槽33内，磁流变液在圆柱体永磁铁26的磁流变效应下形成无修整磁流变砂轮块38；

6）启动端面磨床主轴28和工件主轴35，端面磨床主轴28带动自修整磁流变柔性抛光砂轮以1000rpm速度旋转，在行星齿轮18与砂轮接口13上所设的外齿轮的作用下驱动内齿轮3转动，内齿轮3通过同步旋转齿轮17带动旋转轴25和圆柱体永磁铁26转动，同步转动的圆柱体永磁铁26使端面磁场实时变化，使无修整磁流变砂轮块38形成自修整流变柔性抛光砂轮块32，工件主轴35带动工件36以200rpm速度转动；

7）工件36表面材料在自修整流变柔性抛光砂轮块32的恒压剪切作用和工件36自身的转动下实现磨抛去除，经过25分钟磨抛加工，获得Ra0.2nm的超光滑无亚表面损伤表面。

实施例2：

如图1～图5所示，本实用新型的一种自修整磁流变柔性抛光砂轮与实施例1相同。

如图6所示，本实用新型的自修整磁流变柔性抛光砂轮的磨抛方法，包括如下步骤：

1）根据Okamoto公司生产的VG401MKII磨床的结构，设计如图1～图5适配的自修整磁流变柔性抛光砂轮结构；

2）根据6英寸单晶Si基片的特点，选择的磁场强度为3800Gs的圆柱体永磁铁26相邻同磁极安装于自修整磁流变柔性抛光砂轮内，调整旋转轴25使圆柱体永磁铁26下端面到砂轮端面27的距离一致，并完成自修整磁流变柔性抛光砂轮的整体安装；

3）将自修整磁流变柔性抛光砂轮通过砂轮接口13和连接螺钉30安装于端面磨床主轴28上，将固定环1通过固定环1上的定位圆柱9和固定连接环31固定于端面磨床床身29上；

4）将工件36通过真空吸装夹于工件主轴35上，使工件圆心在圆柱体永磁铁26圆心形成的轨迹圆附近，调整端面磨床主轴28使砂轮端面27到工件上表面的加工间隙37为1mm；

5）通过在去离子水中加入浓度为6%的粒径为5微米的氧化铝磨料、浓度为3%的粒径为0.5微米的氧化铈磨料磨料及浓度为1%的粒径为2微米的氧化铝磨料磨料，及去离子水中加入浓度为5%的粒径为0.3微米的羰基铁粉及浓度为10%的粒径为3.5微米的羰基铁粉，及加入浓度为4%的分散剂、浓度为3%的防锈剂和浓度为4%的稳定剂，充分搅拌后通过超声波震动15分钟，形成磁流变液34；

5）如图7～图9所示，将磁流变液34倒入环形槽33内，磁流变液在圆柱体永磁铁26的磁流变效应下形成无修整磁流变砂轮块38；

6）启动端面磨床主轴28和工件主轴35，端面磨床主轴28带动自修整磁流变柔性抛光砂轮以1500rpm速度旋转，在行星齿轮18与砂轮接口13的外齿轮的作用下驱动内齿轮3转动，内齿轮3通过同步旋转齿轮17带动旋转轴25和圆柱体永磁铁26转动，同步转动的圆柱体永磁铁26使端面磁场实时变化，使无修整磁流变砂轮块38形成自修整流变柔性抛光砂轮块32，工件主轴35带动工件36以250rpm速度转动；

7）工件36表面材料在自修整流变柔性抛光砂轮块32的恒压剪切作用和工件36自身的转动下实现磨抛去除，经过20分钟磨抛加工，获得Ra0.28nm的超光滑无亚表面损伤表面。

实施例3：

如图1～图5所示，本实用新型的一种自修整磁流变柔性抛光砂轮与实施例1相同。

如图6所示，本实用新型的自修整磁流变柔性抛光砂轮的磨抛方法，包括如下步骤：

1）根据LapmasterSFTCorp.的DMG-6011V立式单轴超精密精密端面磨床机床的结构，设计如图1～图5适配的自修整磁流变柔性抛光砂轮结构；

2）根据4英寸单晶蓝宝石基片的特点，选择的磁场强度为4500Gs的圆柱体永磁铁26相邻同磁极安装于自修整磁流变柔性抛光砂轮内，调整旋转轴25使圆柱体永磁铁26下端面到砂轮端面27的距离一致，并完成自修整磁流变柔性抛光砂轮的整体安装；

3）将自修整磁流变柔性抛光砂轮通过砂轮接口13和连接螺钉30安装于端面磨床主轴28上，将固定环1通过固定环1上的定位圆柱9和固定连接环31固定于端面磨床床身29上；

4）将工件36通过真空吸装夹于工件主轴35上，使工件圆心在圆柱体永磁铁26圆心形成的轨迹圆附近，调整端面磨床主轴28使砂轮端面27到工件上表面的加工间隙37为0.8mm；

5）通过在去离子水中加入浓度为5%的粒径为5微米的金刚石磨料、浓度为3%的粒径为0.5微米的金刚石磨料磨料和浓度为1%的粒径为3微米的金刚石磨料磨料，及去离子水中加入浓度为5%的粒径为0.3微米的羰基铁粉及浓度为12%的粒径为5微米的羰基铁粉，及加入浓度为3%的分散剂、浓度为3%的防锈剂和浓度为4%的稳定剂，充分搅拌后通过超声波震动10分钟，形成磁流变液34；

5）如图7～图9所示，将磁流变液34倒入环形槽33内，磁流变液在圆柱体永磁铁26的磁流变效应下形成无修整磁流变砂轮块38；

6）启动端面磨床主轴28和工件主轴35，端面磨床主轴28带动自修整磁流变柔性抛光砂轮以1500rpm速度旋转，在行星齿轮18与砂轮接口13的外齿轮的作用下驱动内齿轮3转动，内齿轮3通过同步旋转齿轮17带动旋转轴25和圆柱体永磁铁26转动，同步转动的圆柱体永磁铁26使端面磁场实时变化，使无修整磁流变砂轮块38形成自修整流变柔性抛光砂轮块32，工件主轴35带动工件36以0rpm速度转动；

7）工件36表面材料在自修整流变柔性抛光砂轮块32的恒压剪切作用和工件36自身的转动下实现磨抛去除，经过40分钟磨抛加工，获得Ra0.2nm的超光滑无亚表面损伤弧形带状表面，对抛光后形成的带环进行光学显微镜检测和材料去除率检测，建立单晶蓝宝石材料的去除模型。

从上述实施例可以看出，本实用新型的一种自修整磁流变柔性抛光砂轮，采用磁极旋转的方法使相邻的磁极磁力线发生实时变化，从而把静态磁场转变为动态磁场，可以迫使无修整磁流变砂轮块转变为自修整流变柔性抛光砂轮块而实现磨料的更新自锐和砂轮块形状的实时恢复，彻底解决了无修整磁流变砂轮块正衡间隙加工过程中由于磁流变液的黏性和磁性作用下变形而无法恢复从而失去对工件的加工压力的核心问题（图10所示）。本实用新型巧妙地采用砂轮的旋转运动直接驱动行星齿轮机构中的内齿轮旋转，并借助内齿轮的旋转驱动各磁极同步转动，并利用迷宫结构和梯形结构实现机械密封和相对滑动，从而获得了与传统砂轮相当的紧凑机构。本实用新型的另一优点采用动态磁场实现磁流变液的更新和磨料的更新自锐，不需要采用循环装置对磁流变液进行更新且加工过程中不需要更换磁流变液，自修整流变柔性抛光砂轮块中的磨料具有容末效应，能实现细小的磨料与工件优先接触，避免粗颗粒磨料对工件的损伤，并且自修整流变柔性抛光砂轮块的形状能实时恢复，不存在传统砂轮块的磨损问题和磨料粒度及气孔分布不均等关键问题。因而采用本实用新型的自修整磁流变柔性抛光砂轮能获得的工件表面一致性好且无表面和亚表面损伤的高质量工件，而且成本低，非常适合光电子/微电子基片和光学元件的平面高效率超光滑均匀磨削抛光加工。同时，本装置使用过程中工件不旋转时能加工出环带型无损区域，适合于研究光学平面材料的材料去除机理和亚表面损伤检测等试验研究。可见，本实用新型构思巧妙，使用方便，加工效率高，加工效果好，而且该砂轮永不磨损，能够以低廉的价格实现Poligrind的效果,是一种具有革命性的半导体基片/光学元件高效超精密加工方法。

应该指出，上述的具体实施方式只是针对本实用新型进行详细的说明，它不应是对本实用新型的限制。对于熟悉本领域的技术人员来说，在不偏离权利要求的宗旨和范围内，可以有多种形式和细节的变化。

Claims (10)

1.一种自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于包括有固定环（1）、内齿轮（3）、砂轮环（8）、齿轮轴（11）、同步旋转齿轮（17）、行星齿轮（18）、旋转轴（25）和圆柱体永磁铁（26），其中旋转轴（25）装设在砂轮环（8）内，圆柱体永磁铁（26）装设在旋转轴（25）下端所设的通孔内，内齿轮（3）装设在砂轮环（8）的上部，固定环（1）装设在内齿轮（3）的顶部，且固定环（1）固定在机床上，砂轮接口（13）装设在砂轮环（8）及固定环（1）的顶部，砂轮接口（13）与砂轮环（8）连接，砂轮接口（13）上设有外齿轮，齿轮轴（11）装设在砂轮接口（13）上，行星齿轮（18）装设在齿轮轴（11）上，同步旋转齿轮（17）装设在旋转轴（25）的上端，行星齿轮（18）与砂轮接口（13）所设的外齿轮啮合，同步旋转齿轮（17）及行星齿轮（18）与内齿轮（3）啮合。

2.根据权利要求1所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述砂轮接口（13）与砂轮环（8）通过紧固螺钉（16）连接。

3.根据权利要求1所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述旋转轴（25）通过两对圆锥滚子轴承（7）支承在砂轮环（8）；上述旋转轴（25）在两对圆锥滚子轴承（7）之间套装有轴承隔套（6），上述旋转轴（25）在圆锥滚子轴承（7）的端部装设有外螺母（4）及内螺母（5）。

4.根据权利要求1所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述旋转轴（25）的上端通过平键（22）安装同步旋转齿轮（17）；上述行星齿轮（18）通过深沟球轴承（20）支承在齿轮轴（11）上。

5.根据权利要求1所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述砂轮接口（13）下端具有安装止口（14），砂轮环（8）上端与砂轮接口（13）下端贴合并通过安装止口（14）实现定位；上述内齿轮（3）与砂轮环（8）通过内齿轮（3）下端面的梯形滑动面（23）配合安装，固定环（1）与内齿轮（3）通过内齿轮（3）上端面的梯形止口（2）配合安装，固定环（1）内上侧的凸环嵌套在砂轮接口（13）左下端，齿轮轴（11）上端通过螺纹连接固定于固定环（1）上，行星齿轮（18）的端部通过孔用弹性挡圈（19）和轴用弹性挡圈（21）固定于齿轮轴（11）上。

6.根据权利要求1至5任一项所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述固定环（1）上端具有多个定位圆柱（9），固定环（1）能相对砂轮接口（13）发生转动，固定环（1）与砂轮接口（13）之间存在防水结构迷宫止口（10），内齿轮（3）能相对固定环（1）和砂轮环（8）发生转动，内齿轮（3）上端面的梯形止口（2）和内齿轮（3）下端面的梯形滑动面（23）具有耐磨擦材料涂层，实现自修整磁流变柔性抛光砂轮的机械密封与滑动摩擦。

7.根据权利要求6所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述圆柱体永磁铁（26）的端面磁场强度大于1000Gs，相邻同磁极或者相邻反磁极安装于砂轮环（8）的垂直阵列孔内，圆柱体永磁铁（26）下端面与砂轮环（8）的垂直阵列孔存在着间隙且间隙相等，砂轮环（8）的垂直阵列孔与旋转轴（25）间隙配合，圆柱体永磁铁（26）均匀圆周分布。

8.根据权利要求6所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述砂轮环（8）下端具有凸台（24），凸台表面为平面或者十字槽面。

9.根据权利要求8所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述凸台表面距离圆柱体永磁铁（26）下端面的距离为0.5mm～5mm。

10.根据权利要求6所述的自修整磁流变柔性抛光砂轮，其特征在于上述砂轮环（8）和旋转轴（25）采用不锈钢，或硬铝合金，或铜合金，或陶瓷制作。