CN205420152U - 一种吸附加工治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种吸附加工治具，包括基座、腔体管和吸气管，基座内表面与石英板表面相吻合并贴合石英板表面，基座背面设有容置腔体管端部的接口，基座内表面上设有若干吸气孔或吸气槽，腔体管通过接口与吸气孔或吸气槽相通，腔体管另一端与吸气管相通，吸气管另一端与真空装置相接，本实用新型在石英产品制作时，采用真空吸附方法来夹持石英板，使得石英板在高温焊接时不会受压变形，而腔体管的设计，则可以形成一个稳压空间，使基座内表面的吸气孔或吸气槽的吸力更加均匀和稳定，保证吸附可靠和安全，同时也有利于焊接时的旋盘夹持。

Description

一种吸附加工治具

技术领域

本实用新型涉及到石英产品加工技术领域，尤其涉及到一种能提高石英管加工效率、降低加工成本的吸附加工治具。

背景技术

石英产品属于半导体设备中的必要产品。在高温情况下，石英产品作为反应腔体，与外部金属隔离，防止金属离子的污染，现有技术是采用石英管在加热熔融状态下，用工具从中间压下来，使其一分为二，并在熔融状态下，利用离心作用使其圆封而成，这种加工技术存在的缺点是：整体效率低，能耗较大，质量不稳定，石英管表面会产生皱褶，生产成本很高，而且作业人员长时间在高温中工作，对身体伤害很大。

实用新型内容

本实用新型主要解决现有石英管加工中存在的技术问题；提供了一种能提高石英管加工效率、降低加工成本的吸附式加工治具。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型主要是采用下述技术方案：

本实用新型的一种吸附加工治具，用于对石英板进行吸附，所述治具包括基座、腔体管和吸气管，所述基座内表面与所述石英板表面相吻合并贴合石英板表面，所述基座背面设有与所述腔体管端部相吻合且容置腔体管端部的接口，基座内表面上设有若干吸气孔或吸气槽，所述吸气孔或吸气槽与所述接口连通，腔体管通过接口与吸气孔或吸气槽相通，腔体管的另一端与所述吸气管相通，吸气管的另一端与外部真空装置相接，在石英产品制作时，采用真空吸附方法来夹持石英板，使得石英板在高温焊接时不会受热变形，而腔体管的设计，则可以形成一个稳压空间，使基座内表面的吸气孔或吸气槽的吸力更加均匀和稳定，保证吸附可靠和安全，同时也有利于焊接时的旋盘夹持。

作为优选，所述基座内表面呈平面形并与石英板表面贴合，基座内表面设有多个吸气孔，所述吸气孔沿基座内表面中心环状均匀分布，根据不同的产品结构特点，通过多个吸气孔的设计，分散吸附压力，在高温下不会造成石英板的变形，同时，也能保证石英板产品获得较好的吸附。

作为优选，所述基座表面呈内凹弧面形结构，所述弧面形结构与所述石英板表面的外凸曲面相吻合并贴合外凸曲面，基座内表面上设有多条吸气槽，弧面状的基座内表面可以对应球面状的石英板产品，多条吸气槽均匀分布在弧形面上，吸附力均匀，可有效吸附石英板，保证产品加工时的可靠性和安全性。

作为优选，所述基座材质为高纯度石墨材料，所述腔体管材质为不锈钢材料，石墨材料和不锈钢材料不会对石英产品造成污染及表面划伤，同时在高温下不会变形，提高产品的加工质量。

本实用新型的有益效果是：在石英产品制作时，采用真空吸附方法来夹持石英板，使得石英板在高温焊接时不会受热变形，而腔体管的设计，则可以形成一个稳压空间，使基座内表面的吸气孔或吸气槽的吸力更加均匀和稳定，保证吸附可靠和安全，同时也有利于焊接时的旋盘夹持。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

图2是图1基座的一种结构示意图。

图3是图2结构的侧视示意图。

图4是图1基座的另一种结构示意图。

图5是图4结构的侧视示意图。

图中1.石英板，2.基座，3.腔体管，4.吸气管，5.吸气孔，6.吸气槽，7.石英圆管。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例1：本实施例1的一种吸附加工治具，用于对石英板1进行吸附夹持，如图1所示，治具包括基座2、腔体管3和吸气管4，基座由高纯度石墨材料制成，如图2和图3所示，基座表面呈内凹弧面形结构，弧面形结构与石英板表面的外凸曲面相吻合并贴合外凸曲面，基座内表面上设有多条吸气槽6，吸气槽与接口相通，腔体管由不锈钢材料制成，腔体管一侧端部嵌设于接口中并与接口相通，腔体管的另一端与吸气管相通并通过吸气管与真空装置相接。

治具装配时，先将腔体管一端嵌设于接基座背面的接口中，腔体管另一端连接吸气管并通过吸气管连接至真空泵上。

加工时，将石英圆管7夹持在加工机床的一端旋盘上，使石英圆管端部位于焊接位上，然后，打开真空泵，将装配好治具的基座内表面贴合石英板并吸附石英板，再将吸附有石英板的治具通过另一侧旋盘夹持在加工机床上，使石英板与圆管对准贴合，最后，旋盘转动，开始进行石英圆管与石英板接触区的焊接。

实施例2：本实施例2的一种吸附加工治具，用于对石英板进行吸附夹持，治具包括基座、腔体管和吸气管，如图4和图5所示，基座内表面呈平面形并与石英板表面贴合，基座内表面设计有多个吸气孔5，吸气孔沿基座内表面中心呈环状均匀分布，本实施例2的其它部分均与实施例1的相应部分类同，本文不再赘述。

在本实用新型的描述中，技术术语“上”、“下”、“前”、“后”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本实用新型的技术方案，以上说明并非对本实用新型作了限制，本实用新型也不仅限于上述说明的举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种吸附加工治具，用于对石英板（1）进行吸附夹持，其特征在于：所述治具包括基座（2）、腔体管（3）和吸气管（4），所述基座内表面与所述石英板表面相吻合并贴合石英板表面，所述基座背面设有与所述腔体管端部相吻合且容置腔体管端部的接口，基座内表面上设有若干吸气孔（5）或吸气槽（6），所述吸气孔或吸气槽与所述接口连通，腔体管通过接口与吸气孔或吸气槽相通，腔体管的另一端与所述吸气管相通，吸气管的另一端与外接真空装置相接。

2.根据权利要求1所述的一种吸附加工治具，其特征在于：所述基座（2）内表面呈平面形并与石英板（1）表面贴合，基座内表面设有多个吸气孔（5），所述吸气孔沿基座内表面中心环状均匀分布。

3.根据权利要求1所述的一种吸附加工治具，其特征在于：所述基座（2）表面呈内凹弧面形结构，所述弧面形结构与所述石英板（1）表面的外凸曲面相吻合并贴合外凸曲面，基座内表面上设有多条吸气槽（6）。

4.根据权利要求2或3所述的一种吸附加工治具，其特征在于：所述基座（2）材质为高纯度石墨材料，所述腔体管（3）材质为不锈钢材料。