CN205398463U - 一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，涉及石英玻璃冲洗设备技术领域，包括并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，所述支撑架架设在所述浸泡池和冲洗池的上方，所述支撑架上设有滑道，所述滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，所述第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，所述第一滑动装置上还设有拉钩装置，所述第二滑动装置上设有喷头装置，本实用新型结构简单，使用方便，可以对大口径石英玻璃管进行高效清洗。

Description

一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备

技术领域

本实用新型涉及石英玻璃冲洗设备技术领域，具体涉及一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备。

背景技术

在集成电路制造产业，大口径石英管及其配套制品是一种不可替代的消耗性材料，它有一定使用寿命，随着硅晶片及芯片生产量的曾江，高纯度高精度大口径的石英管需求随之上升，目前我国大口径高品质是石英管生产技术与国外存在20年的差距。

对于石英管的清洗是生产制造中的重要一步，而目前对于石英管的清洗通常采用人工清洗，清洗质量不够高，效率非常低，且容易发生安全问题，所以，目前亟需对这一部分进行改进。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，结构简单，成本低，自动化程度高，冲洗效率大大提高。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，包括并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，所述支撑架架设在所述浸泡池和冲洗池的上方，所述支撑架上设有滑道，所述滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，所述第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，所述第一滑动装置上还设有拉钩装置，所述第二滑动装置上设有喷头装置。

进一步的，所述拉钩装置包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动。

进一步的，还包括井水池，所述喷头装置通过进水管接入所述井水池中。

进一步的，还包括气缸和推杆，所述气缸安装在所述支撑架上，气缸通过推杆连接在所述第二滑动装置上。

进一步的，还包括控制器，所述控制器分别与所述喷头装置和气缸连接，控制器为PLC控制器，控制所述喷头装置和气缸的启闭。

进一步的，还包括污水池，所述浸泡池和冲洗池底部均设有出水管，所述出水管均接入所述污水池，所述出水管上还设有水泵装置。

进一步的，所述出水管上均设有控制阀。

本实用新型提供了一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，通过并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，支撑架架设在浸泡池和冲洗池的上方，支撑架上设有滑道，滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，第一滑动装置上还设有拉钩装置，第二滑动装置上设有喷头装置，使得大口径石英玻璃管先在充满氟化氢的浸泡池内浸泡，再通过拉钩装置拉出放入冲洗池内，通过喷头装置进行冲洗，对大口径石英玻璃管进行充分清洗，效率非常高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图。

其中：1、浸泡池；2、冲洗池；3、支撑架；4、滑道；5、第一滑动装置；6、第二滑动装置；7、拉钩装置；8、喷头装置；9、井水池；10、进水管；11、气缸；12、推杆；13、污水池；14、出水管；15、控制阀。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：

一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，包括并排设置的浸泡池1和冲洗池2，还设有支撑架3，所述支撑架3架设在所述浸泡池1和冲洗池2的上方，所述支撑架3上设有滑道4，所述滑道4内左右两侧分别设有第一滑动装置5和第二滑动装置6，所述第一滑动装置5和第二滑动装置6在所述滑道4内滑动，所述第一滑动装置5上还设有拉钩装置7，拉钩装置7包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动，所述第二滑动装置6上设有喷头装置8，还包括井水池9，所述喷头装置8通过进水管10接入所述井水池9中，可以进行抽水后进入喷头装置8喷出清洗，还包括气缸11和推杆12，所述气缸11安装在所述支撑架3上，气缸11通过推杆12连接在所述第二滑动装置6上，还包括污水池13，所述浸泡池1和冲洗池2底部均设有出水管14，所述出水管14均接入所述污水池13，所述出水管14上还设有水泵装置，出水管14上均设有控制阀15。

实施例2：

一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，包括并排设置的浸泡池1和冲洗池2，还设有支撑架3，所述支撑架3架设在所述浸泡池1和冲洗池2的上方，所述支撑架3上设有滑道4，所述滑道4内左右两侧分别设有第一滑动装置5和第二滑动装置6，所述第一滑动装置5和第二滑动装置6在所述滑道4内滑动，所述第一滑动装置5上还设有拉钩装置7，拉钩装置7包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动，所述第二滑动装置6上设有喷头装置8，还包括井水池9，所述喷头装置8通过进水管10接入所述井水池9中，可以进行抽水后进入喷头装置8喷出清洗，还包括气缸11和推杆12，所述气缸11安装在所述支撑架3上，气缸11通过推杆12连接在所述第二滑动装置6上，还包括污水池13，所述浸泡池1和冲洗池2底部均设有出水管14，所述出水管14均接入所述污水池13，所述出水管14上还设有水泵装置，出水管14上均设有控制阀15；

进一步的优选的，还包括控制器，所述控制器分别与所述喷头装置8和气缸连接11，控制器为PLC控制器，控制喷头装置8和气缸11的启闭。

本实用新型提供了一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，通过并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，支撑架架设在浸泡池和冲洗池的上方，支撑架上设有滑道，滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，第一滑动装置上还设有拉钩装置，第二滑动装置上设有喷头装置，使得大口径石英玻璃管先在充满氟化氢的浸泡池内浸泡，再通过拉钩装置拉出放入冲洗池内，通过喷头装置进行冲洗，对大口径石英玻璃管进行充分清洗，效率非常高。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，包括并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，所述支撑架架设在所述浸泡池和冲洗池的上方，所述支撑架上设有滑道，所述滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，所述第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，所述第一滑动装置上还设有拉钩装置，所述第二滑动装置上设有喷头装置。

2.如权利要求1所述的一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，所述拉钩装置包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动。

3.如权利要求1所述的一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，还包括井水池，所述喷头装置通过进水管接入所述井水池中。

4.如权利要求1所述的一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，还包括气缸和推杆，所述气缸安装在所述支撑架上，气缸通过推杆连接在所述第二滑动装置上。

5.如权利要求4所述的一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述喷头装置和气缸连接，控制器为PLC控制器，控制所述喷头装置和气缸的启闭。

6.如权利要求1所述的一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，还包括污水池，所述浸泡池和冲洗池底部均设有出水管，所述出水管均接入所述污水池，所述出水管上还设有水泵装置。

7.如权利要求6所述的一种大口径石英玻璃管自动冲洗设备，其特征在于，所述出水管上均设有控制阀。