CN105598097A - 一种大口径石英管清洗工艺 - Google Patents
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 52
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- 235000020681 well water Nutrition 0.000 claims abstract description 18
- 239000002349 well water Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 17
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract 2
- 239000003708 ampul Substances 0.000 claims description 43
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims description 21
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 13
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 claims description 9
- 238000000855 fermentation Methods 0.000 claims description 7
- 230000004151 fermentation Effects 0.000 claims description 7
- 238000001802 infusion Methods 0.000 claims description 5
- 239000006210 lotion Substances 0.000 claims description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 2
- JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N h2o hydrate Chemical compound O.O JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 3
- 238000002791 soaking Methods 0.000 abstract 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 1
- 101100372509 Mus musculus Vat1 gene Proteins 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000009991 scouring Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/023—Cleaning the external surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/02—Cleaning pipes or tubes or systems of pipes or tubes
- B08B9/027—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages
- B08B9/032—Cleaning the internal surfaces; Removal of blockages by the mechanical action of a moving fluid, e.g. by flushing
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Abstract
本发明公布了一种大口径石英管清洗工艺，包括地面浸泡系统，井水净化系统、喷淋系统，所述的井水净化系统，由前向后依次包括调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池；所述调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池之间通过水道相互连通；所述调节池入口与矿井水的排出口连通；筛网固定在调节池与沉淀池之间的水道上，筛网用于过滤水中的悬浮物，筛网为20层过滤层结构；电渗析器位于过滤池与蓄水池之间，电渗析器驱动水中离子做定向运动，通过从井中取水进行净化，除去杂质，便于洁净水冲洗管子内壁。本发改造后通过现场观察，只要1人就可轻松进行管子内壁冲洗，而且管子内壁洁净度十分高。
Description
技术领域
本发明涉及石英管加工技术领域，具体涉及一种大口径石英管清洗工艺。
背景技术
在集成电路制造产业，大口径石英管及其配套制品是一种不可替代的消耗性材料，它有一定使用寿命，随着硅晶片及芯片生产量的曾江，高纯度高精度大口径的石英管需求随之上升，目前我国大口径高品质是石英管生产技术与国外存在20年的差距。行业最大的问题是冲洗自动化水平低，通常需要耗费3～5人工，而且管子长度大时，需要人站在梯子上对内壁进行人工冲洗，十分危险，改造后通过现场观察，只要1人就可轻松进行管子内壁冲洗，而且管子内壁洁净度十分高。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供一种大口径石英管清洗工艺，克服了现有技术的不足，改造后通过现场观察，只要1人就可轻松进行管子内壁冲洗，而且管子内壁洁净度十分高，在保证石英管的良好性能的前提下提高清洗质量。
本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来是实现:
一种大口径石英管清洗工艺，包括地面浸泡系统，井水净化系统、喷淋系统，所述的井水净化系统，由前向后依次包括调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池；所述调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池之间通过水道相互连通；所述调节池入口与矿井水的排出口连通；所述筛网固定在调节池与沉淀池之间的水道上，筛网用于过滤水中的悬浮物，所述的筛网为20层过滤层结构；所述电渗析器位于过滤池与蓄水池之间，电渗析器驱动水中离子做定向运动，通过从井中取水进行净化，除去杂质，便于洁净水冲洗管子内壁。
所述地面浸泡系统包括第一步，在地面挖出槽，在槽中加入氟化氢清洗液浓度为10％～15％；第二步，将待清洗的石英管放入氟化氢中浸泡12～16分钟；第三步，将第二步浸泡完的石英管取出晾干；同时调节槽中氟化氢浓度到7％～9％；第四步，再将石英管放入槽中浸泡16～18分钟。
所述喷淋系统采用石英玻璃管自动冲洗设备，所述的设备包括并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，所述支撑架架设在所述浸泡池和冲洗池的上方，所述支撑架上设有滑道，所述滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，所述第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，所述第一滑动装置上还设有拉钩装置，所述第二滑动装置上设有喷头装置，使用时将石英管从槽中取出吊起，竖立放置再喷头系统下方，同时在石英管上方设置喷头，所述的喷头有两个进水通道之间设有换向阀控制；其中一个进水通道连接井水或自来水，另一个进水通道连接去，通过喷头喷井水和去离子水来回交替冲洗。
所述的喷头的喷水压力为0.2～0.4MPa；所述的喷头的喷孔直径为2～4mm，冲洗18～25分钟后。
所述拉钩装置包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动。
还包括井水池，所述喷头装置通过进水管接入所述井水池中。
还包括气缸和推杆，所述气缸安装在所述支撑架上，气缸通过推杆连接在所述第二滑动装置上。
还包括控制器，所述控制器分别与所述喷头装置和气缸连接，控制器为PLC控制器，控制所述喷头装置和气缸的启闭。
还包括污水池，所述浸泡池和冲洗池底部均设有出水管，所述出水管均接入所述污水池，所述出水管上还设有水泵装置。
所述的第一步氟化氢清洗液浓度为12％；所述的第三步氟化氢清洗液浓度为8％。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明通过对石英管实行分步清洗，使得石英管内壁上的杂质浸泡彻底，方便后期的冲洗，多次酸泡使得杂质容易脱落；通过设水平滑道和滑块，可实现往复冲洗，冲洗范围大；设上喷头和侧喷头，上喷头负责来回冲洗石英管的内壁，侧喷头负责来回冲洗石英管的外壁，不存在清洗死角，保证了石英管的全面清洗；设多通连接头，可连接多个上喷头，实现一次对多组石英管的清洗，提高清洗效率；该装置的用水量少，节省了水资源，还获得了良好的清洗效果。与现有技术相比，其设计合理，使用方便，节省资源，保证了良好的清洗效果，提高了清洗效率。
附图说明
图1为本发明石英玻璃管自动冲洗设备结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
一种大口径石英管清洗工艺，包括地面浸泡系统，井水净化系统、喷淋系统，所述的井水净化系统，由前向后依次包括调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池；所述调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池之间通过水道相互连通；所述调节池入口与矿井水的排出口连通；所述筛网固定在调节池与沉淀池之间的水道上，筛网用于过滤水中的悬浮物，所述的筛网为20层过滤层结构；所述电渗析器位于过滤池与蓄水池之间，电渗析器驱动水中离子做定向运动，通过从井中取水进行净化，除去杂质，便于洁净水冲洗管子内壁。
所述地面浸泡系统包括第一步，在地面挖出槽，在槽中加入氟化氢清洗液浓度为10％～15％；第二步，将待清洗的石英管放入氟化氢中浸泡12～16分钟；第三步，将第二步浸泡完的石英管取出晾干；同时调节槽中氟化氢浓度到7％～9％；第四步，再将石英管放入槽中浸泡16～18分钟；所述的第一步氟化氢清洗液最佳浓度为12％；所述的第三步氟化氢清洗最佳液浓度为8％。
所述喷淋系统采用石英玻璃管自动冲洗设备，所述的设备包括并排设置的浸泡池1和冲洗池2，还设有支撑架3，所述支撑架3架设在所述浸泡池1和冲洗池2的上方，所述支撑架3上设有滑道4，所述滑道4内左右两侧分别设有第一滑动装置5和第二滑动装置6，所述第一滑动装置5和第二滑动装置6在所述滑道4内滑动，所述第一滑动装置5上还设有拉钩装置7，拉钩装置7包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动，所述第二滑动装置6上设有喷头装置8，还包括井水池9，所述喷头装置8通过进水管10接入所述井水池9中，可以进行抽水后进入喷头装置8喷出清洗，还包括气缸11和推杆12，所述气缸11安装在所述支撑架3上，气缸11通过推杆12连接在所述第二滑动装置6上，还包括污水池13，所述浸泡池1和冲洗池2底部均设有出水管14，所述出水管14均接入所述污水池13，所述出水管14上还设有水泵装置，出水管14上均设有控制阀15，使用时将石英管从槽中取出吊起，竖立放置再喷头系统下方，同时在石英管上方设置喷头，所述的喷头有两个进水通道之间设有换向阀控制；其中一个进水通道连接井水或自来水，另一个进水通道连接去，通过喷头喷井水和去离子水来回交替冲洗；所述的喷头的喷水压力为0.2～0.4MPa；所述的喷头的喷孔直径为2～4mm，冲洗18～25分钟后。通过对石英管实行分步清洗，使得石英管内壁上的杂质浸泡彻底，方便后期的冲洗，多次酸泡使得杂质容易脱落；通过设水平滑道和滑块，可实现往复冲洗，冲洗范围大；设上喷头和侧喷头，上喷头负责来回冲洗石英管的内壁，侧喷头负责来回冲洗石英管的外壁，不存在清洗死角，保证了石英管的全面清洗；设多通连接头，可连接多个上喷头，实现一次对多组石英管的清洗，提高清洗效率；该装置的用水量少，节省了水资源，还获得了良好的清洗效果。与现有技术相比，其设计合理，使用方便，节省资源，保证了良好的清洗效果，提高了清洗效率。
需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种大口径石英管清洗工艺，其特征在于：包括地面浸泡系统，井水净化系统、喷淋系统，所述的井水净化系统，由前向后依次包括调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池；所述调节池、筛网、沉淀池、过滤池、电渗析器和蓄水池之间通过水道相互连通；所述调节池入口与矿井水的排出口连通；所述筛网固定在调节池与沉淀池之间的水道上，筛网用于过滤水中的悬浮物，所述的筛网为20层过滤层结构；所述电渗析器位于过滤池与蓄水池之间，电渗析器驱动水中离子做定向运动，通过从井中取水进行净化，除去杂质，便于洁净水冲洗管子内壁。
2.如权利要求1所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，所述地面浸泡系统包括第一步，在地面挖出槽，在槽中加入氟化氢清洗液浓度为10％～15％；第二步，将待清洗的石英管放入氟化氢中浸泡12～16分钟；第三步，将第二步浸泡完的石英管取出晾干；同时调节槽中氟化氢浓度到7％～9％；第四步，再将石英管放入槽中浸泡16～18分钟。
3.如权利要求1所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，所述喷淋系统采用石英玻璃管自动冲洗设备，所述的设备包括并排设置的浸泡池和冲洗池，还设有支撑架，所述支撑架架设在所述浸泡池和冲洗池的上方，所述支撑架上设有滑道，所述滑道内左右两侧分别设有第一滑动装置和第二滑动装置，所述第一滑动装置和第二滑动装置在所述滑道内滑动，所述第一滑动装置上还设有拉钩装置，所述第二滑动装置上设有喷头装置，使用时将石英管从槽中取出吊起，竖立放置再喷头系统下方，同时在石英管上方设置喷头，所述的喷头有两个进水通道之间设有换向阀控制；其中一个进水通道连接井水或自来水，另一个进水通道连接去，通过喷头喷井水和去离子水来回交替冲洗。
4.如权利要求3所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，所述的喷头的喷水压力为0.2～0.4MPa；所述的喷头的喷孔直径为2～4mm，冲洗18～25分钟后。
5.如权利要求3所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，所述拉钩装置包括电机、转轴和绕在转轴上的锁钩，所述电机带动转轴转动，拉动锁钩上下移动。
6.如权利要求3所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，还包括井水池，所述喷头装置通过进水管接入所述井水池中。
7.如权利要求3所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，还包括气缸和推杆，所述气缸安装在所述支撑架上，气缸通过推杆连接在所述第二滑动装置上。
8.如权利要求3所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，还包括控制器，所述控制器分别与所述喷头装置和气缸连接，控制器为PLC控制器，控制所述喷头装置和气缸的启闭。
9.如权利要求3所述的大口径石英管清洗工艺备，其特征在于，还包括污水池，所述浸泡池和冲洗池底部均设有出水管，所述出水管均接入所述污水池，所述出水管上还设有水泵装置。
10.如权利要求2所述的大口径石英管清洗工艺，其特征在于，所述的第一步氟化氢清洗液浓度为12％；所述的第三步氟化氢清洗液浓度为8％。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610125748.3A CN105598097A (zh) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 一种大口径石英管清洗工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610125748.3A CN105598097A (zh) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 一种大口径石英管清洗工艺 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105598097A true CN105598097A (zh) | 2016-05-25 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610125748.3A Pending CN105598097A (zh) | 2016-03-04 | 2016-03-04 | 一种大口径石英管清洗工艺 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |